ICS23160

J78.

中華人民共和國國家標準

GB/T35049—2018

真空技術四極質譜檢漏方法

Vacuumtechnology—Leaktestingmethodbyquadrupolemassspectrometer

2018-05-14發布2018-12-01實施

國家市場監督管理總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T35049—2018

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅱ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

一般要求

4…………………3

環境要求

4.1……………3

設備要求

4.2……………3

示蹤氣體純度

4.3………………………3

人員資格

4.4……………3

示蹤氣體選擇

4.5………………………3

質量數選擇

4.6…………………………3

儀器校準

4.7……………4

檢漏方法

5…………………4

噴吹法

5.1………………4

真空室法

5.2……………8

四極質譜非真空累積法

5.3……………11

吸槍法

5.4………………15

檢漏文件

6…………………18

檢漏記錄

6.1……………18

檢漏報告

6.2……………18

附錄規范性附錄四種檢漏方法適用的檢漏記錄

A()…………………19

附錄規范性附錄檢漏報告

B()…………23

GB/T35049—2018

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由中國機械工業聯合會提出

。

本標準由全國真空技術標準化技術委員會歸口

(SAC/TC18)。

本標準起草單位北京衛星環境工程研究所合肥智海光電技術有限公司安徽皖儀科技股份有限

:、、

公司沈陽真空技術研究所

、。

本標準主要起草人竇仁超孫立臣閆榮鑫洪曉鵬孟冬輝劉磊任國華馮琪史紀軍黃文平

:、、、、、、、、、、

陳然韓琰喻新發邵容平王健劉興悅張立偉王勇孫立志王玲玲

、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T35049—2018

引言

四極質譜儀具有檢測物質種類多檢漏靈敏度高測試結果穩定等優點而被廣泛應用在航天航空

、、、、

電子核電真空等領域中的泄漏檢測工作但目前基于四極質譜儀泄漏檢測沒有統一規范的漏率定

、、。、

量檢測方法和標準以致真空及其他行業中不同單位所使用的檢測方法和計算方法均不相同使其不能

,,

發揮完全發揮定性和定量檢測的優點同時各行業單位間的檢測結果不具有可比性因此四極質譜檢漏

,,

法在各行業中的應用受到較大的限制不利于四極質譜儀在各行業間的推廣和應用

,。

本標準的制定可以規范四極質譜儀在產品密封性能檢測過程中的方法選擇操作流程操作步驟和

、、

結果計算使得不同行業和領域間基于四極質譜檢漏結果具有可比性進而提高產品密封質量增加產

,,,

品的密封可靠性

。

Ⅱ

GB/T35049—2018

真空技術四極質譜檢漏方法

1范圍

本標準規定了四種常用的四極質譜檢漏方法實施的一般要求每種檢漏方法在應用對象系統組

,、

成檢漏程序等方面的要求以及對檢漏文件的要求

、。

本標準適用于真空行業以及其他行業中采用四極質譜儀進行的泄漏檢測工作適用于部組件級分

,、

系統級以及系統級產品的密封性能測試

。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

無損檢測人員資格鑒定與認證

GB/T9445

無損檢測術語泄漏檢測

GB/T12604.7

分析儀器術語

GB/T13966

3術語和定義

和中界定的以及下列術語和定義適用于本文件

GB/T12604.7GB/T13966。

31

.

響應時間responsetime

τ

從示蹤氣體施加到漏孔進氣端開始到質譜儀輸出指示扣除本底值達到最大變化值扣除本底值

,()(

后的漏氣信號值的時所經歷的時間

)63%。

注單位為秒

:(s)。

32

.

清除時間clear-uptime

從漏孔進氣端停止施加示蹤氣體開始到四極質譜儀輸出指示值扣除本底值下降至施加示蹤氣

,