ICS31200

L55.

中華人民共和國國家標準

GB/T34898—2017

微機電系統MEMS技術

()

MEMS諧振敏感元件非線性

振動測試方法

Microelectromechanicalsystemtechnology—Testmethodforthe

nonlinearvibrationoftheMEMSresonantsensitiveelement

2017-11-01發布2018-05-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T34898—2017

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

敏感元件非線性振動測試特性參數

4……………………1

測試方法及其選用原則

5…………………2

光學測試法

5.1…………………………2

電學測試法

5.2…………………………2

敏感元件非線性振動幅頻響應和相頻響應測試方法

6…………………2

光學測試方法

6.1………………………2

電學測試方法

6.2………………………3

敏感元件非線性振動頻率響應彎曲系數測試方法

7……………………4

敏感元件非線性跳躍振幅閾值測試方法

8………………5

非線性振動引起的敏感元件頻率偏移測試方法

9………5

自激閉環系統鎖相閉環系統和鎖幅閉環系統的頻率偏移

9.1、………5

間歇激勵閉環系統的頻率偏移

9.2……………………5

附錄規范性附錄敏感元件非線性振動數學模型和彎曲系數

A()……6

附錄規范性附錄敏感元件頻率響應非線性跳躍

B()…………………9

附錄規范性附錄非線性振動引起的敏感元件的頻率偏移

C()………10

GB/T34898—2017

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國微機電技術標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC336)。

本標準起草單位北京遙測技術研究所中機生產力促進中心

:、。

本標準主要起草人李慶豐金小鋒李海斌朱悅程紅兵

:、、、、。

Ⅰ

GB/T34898—2017

微機電系統MEMS技術

()

MEMS諧振敏感元件非線性

振動測試方法

1范圍

本標準規定了諧振式傳感器中諧振敏感元件以下簡稱敏感元件非線性振動特性參數的

MEMS()

測試方法

。

本標準適用于敏感元件在研制和生產過程中關于非線性振動特性和敏感元件閉環系統頻率偏移的

測試其他非敏感元件可參考使用

,MEMS。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

機械振動與沖擊術語

GB/T2298

微機電系統技術術語

GB/T26111(MEMS)

微機電系統技術微機械量評定總則

GB/T26112(MEMS)

3術語和定義

和界定的以及下列術語和定義適用于本文件

GB/T2298GB/T26111。

31

.

非線性振動non-linearvibration

隨著振動幅度的變化彈性恢復力與位移不成線性關系的振動

,。

32

.

非線性跳躍non-linearjump

當振動系統的振動幅度超過某一閾值時頻率響應曲線的跳躍現象

。

33

.

頻率偏移frequencydeviation

敏感元件閉環系統輸出的頻率相對于敏感元件固有振動頻率的偏移

。

4敏感元件非線性振動