ICS7104040

G04..

中華人民共和國國家標準

GB/T32996—2016/ISO/TS251382010

:

表面化學分析輝光放電發射光譜法

分析金屬氧化物膜

Surfacechemicalanalysis—Analysisofmetaloxidefilmsby

glow-dischargeopticalemissionspectrometry

(ISO/TS25138:2010,IDT)

2016-10-13發布2017-09-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T32996—2016/ISO/TS251382010

:

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

原理

3………………………1

儀器

4………………………1

調節輝光放電譜儀系統設置

5……………3

樣品處理

6…………………6

建立工作曲線

7……………7

測試樣品的分析

8…………………………11

分析結果的表示

9…………………………12

精密度

10…………………13

實驗報告

11………………13

附錄規范性附錄工作曲線常數的計算和深度剖析的定量評價

A()…………………14

附錄資料性附錄測定元素的建議譜線

B()……………22

附錄資料性附錄氧化物密度和相關量ρ的實例

C()0………………24

附錄資料性附錄金屬氧化物膜實驗室間試驗報告

D()………………25

參考文獻

……………………30

GB/T32996—2016/ISO/TS251382010

:

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準使用翻譯法等同采用表面化學分析輝光放電發射光譜法分析金屬

ISO/TS25138:2010《

氧化物膜

》。

與本標準中規范性引用的國際文件有一致性對應關系的我國文件如下

:

表面化學分析輝光放電發射光譜方法通則

———GB/T19502—2004(ISO14707:2000,IDT);

鋼和鐵化學成分測定用試樣的取樣與制樣方法

———GB/T20066—2006(ISO14284:1996,

IDT)。

本標準由全國微束分析標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標準起草單位上海市計量測試技術研究院華東師范大學中國科學院化學研究所

:、、。

本標準主要起草人徐建郝萍張云艷劉芬吳立敏陳永康朱麗娜周瑩

:、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T32996—2016/ISO/TS251382010

:

表面化學分析輝光放電發射光譜法

分析金屬氧化物膜

1范圍

本標準規定了利用輝光放電發射光譜測定金屬氧化物膜厚度單位面積質量和金屬氧化物膜化學

、

組成的方法

。

本方法適用于測定金屬上厚度為的氧化物膜氧化物的金屬元素包括鐵鉻

1nm~10000nm,、、

鎳銅鈦硅鉬鋅鎂錳和鋁中的一種或多種其他可測元素還包括氧碳氮氫磷和硫

、、、、、、、。、、、、。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

鋼和鐵化學成分測定用試樣的取樣和制樣方法

ISO14284(Steelandiron—Samplingand

preparationofsamplesforthedeterminationofchemicalcomposition)

表面化學分析輝光放電發射光譜方法通則

ISO14707[Surfacechemicalanalysis—Glowdischarge

opticalemissionspectrometry(GD-OES)—Introductiontouse]

表面化學分析輝光放電光發射光譜鋅和或鋁基金屬鍍層的分析

GB/T29559—2013/

(ISO16962:2005,IDT)

3原理

輝光放電發射光譜法的分析包括如下過程

:

在直流或射頻輝光放電源裝置中使金屬氧化物表面產生陰極濺射

a),;

在輝光放電裝置中分析物原子在等離子體中被激發

b),;

被測物原子特征譜線發射強度隨時間變化的光譜測量深度剖析

c)();

通過工作曲線將深度剖析中強度隨時間的變化轉化為質量分數隨濺射深度的變化定量化

d),()。

通過測量已知化學成分和濺射率的樣品建立系統工作曲線

。

4儀器

41輝光放電發射光譜儀

.

411概述