OLED調研報告應用部-曹永珍2015.08.11目錄OLED簡介OLED目前發展趨勢OLED工藝制程OLED曝光設備以及制版設備一、OLED簡介基本概念OLED（OrganicLight-emittingDiodes)

有機發光二極管OLED顯示與傳統的LCD顯示方式不同，無需背光燈，采用非常薄的有機材料涂層和玻璃基板，當有電流通過時，這些有機材料就會發光。OLED按發光層材料PM-OLED和AM-OLED。

OLED基本結構三明治的結構陰極材料：低功函數金屬（Al、Mg、Ca、Ag等)低功函數符合金屬(Mg/Ag）陽極材料：透明或半透明導體（ITO）電子傳輸層：熒光染料化合物空穴傳輸層：屬于一類芳香胺化合物有機發光層：小分子有機熒光材料聚合物有機熒光材料玻璃基板電子和空穴從陰陽兩極注入發光層兩者在發光層內結合釋放出能量有機物分子獲得能量從基態躍遷到激發態OLED發光（顏色、亮度）發光原理OLED器件的分類OLED顯示特點OLED相比LCD優點：自發光，不需背光源，發光效率高;直流低電壓驅動；具有快響應特性(微秒級)；寬視角(視角超過170度)；寬溫度特性（在－40℃～70℃范圍內都可正常工作）；易于實現軟屏顯示。缺點：壽命較LCD短生產成本高良品率低，難以大規模量產由于是有機發光材料，電流驅動，納米薄膜等，對水氧敏感，對ITO薄膜等缺陷敏感，對潔凈度敏感。OLED器件的應用蘋果AppleWatch采用LGAMOLED面板三星GalaxyS6讓手機面板“去邊角”LG已推出的五代智能手表多采用圓形面板中小尺寸OLED主要應用：智能手機、數碼相機、移動手環及平板等產品。大尺寸OLED主要應用：二、OLED目前發展趨勢

目前，全球已經有100多家的研究單位和企業投入到OLED的研發和生產中，包括目前市場上的顯示巨頭，如三星、LG、飛利浦、索尼等公司。整體上講，OLED的產業化目前已經開始，其中單色，多色和彩色器件已經達到批量生產水平，大尺寸全彩色器件量產仍存在困難。OLED產業中AMOLED占主導地位。我國目前建成的最高世代AMOLED屏生產線為5.5代（1,300x1,500mm），主要的切割尺寸以中小尺寸為主。廠商工廠選址世代線投資金額/量產時間設計產能京東方鄂爾多斯5.5220億人民幣/201311月5.4萬片/月天馬上海4.54.92億人民幣（改造）/2014年3萬片/月廈門5.570億人民幣/20143.6萬片/月國顯光電昆山5.524億人民幣/2014年0.4萬片/月激藍科技信陽4.5100億人民幣/2014年3萬片/月和輝光電上海4.560億人民幣/2014年1.5萬片/月維信諾昆山5.5150億人民幣/2014年

2014年國內建成OLED生產線目前國內OLED的需求主要以手機主屏和其他數碼產品為主，集中在中小尺寸產品領域。OLED剛剛建成最高世代生產線5.5代，6代還在籌建當中，預計2017年才能投入生產，意外著AMOLED屏幕僅限于在中小尺寸使用，還不能面向大尺寸的電視市場。中國在大尺寸OLED的研發方面，面臨幾個問題。第一，面臨TFT-LCD的競爭；第二，要考慮到知識產權的問題；第三，技術研發的難點；第四，各國家同行的競爭。另外：中國OLED產業還缺乏相應的產業配套，如驅動電路、導電玻璃、封裝玻璃、精密掩模板、有機材料、輔助材料等大多是國外的。設備更是如此，關鍵的生產設備完全依賴進口。所以，未來一段時間OLED產業以生產以中小尺寸屏幕為主。國內大尺寸OLED發展受阻原因AMOLED面板產值預計2015年達到118億美元，與2014年相比大漲36%；被動式有機發光二極體(PMOLED)則預計2015年會與去年同期相比上漲22%。

未來形勢

OLED近期的技術發展方向是解決器件的成品率、壽命和彩色化問題。從長遠來看，OLED未來的發展必將沿著小尺寸－中尺寸－大尺寸－超大尺寸、單色－多色－彩色、無源－有源、硬屏－軟屏的脈絡進行發展，最理想的OLED顯示器應該是LTPS-TFTOLED。技術瓶頸產品成本高、壽命短三、OLED工藝制程OLED-四個關鍵工藝流程三、OLED工藝制程PM-OLED工藝制程光刻AM-OLED工藝制程光刻制程OLED產業對應掩模版尺寸滿足OLED產業6代生產線的掩模版尺寸：800mm*920mm*10mm以下。

::四、OLED曝光設備以及制版設備表1.OLED曝光設備OLED曝光設備設備廠商機臺型號分辨率對準精度產能支持基板尺寸支持OLED生產線上海微電子裝備有限公司SSB225/10<2um370mm*470mmG2.5代線上海微電子裝備有限公司SSB225/20<2um730mm*920mmG4.5代線日本尼康FXSeriesFX-67S2um≦±0.5μm1300mm*1500mm/54S1500mm*1850mmG6代線FX-66S3um≦±0.6μm1300mm*1500mm/52S1500mm*1850mmG6代線日本佳能MPA-78003um314p/h1200mm*1300mmG5代線MPA-80004um288p/h1500mm*1850mmG6代線OLED曝光設備廠商主要為：日本尼康與佳能

::OLED制版設備設備廠商機臺型號分辨率對準精度產能海德堡DWL20000.5um/1.3um0.16um30mm2/min/370mm2/minMycro