ICS7104040

G04..

中華人民共和國國家標準

GB/T28632—2012/ISO185162006

:

表面化學分析俄歇電子能譜和

X射線光電子能譜橫向分辨率測定

Surfacechemicalanalysis—AugerelectronspectroscopyandX-ray

photoelectronspectroscopy—Determinationoflateralresolution

(ISO18516:2006,IDT)

2012-07-31發(fā)布2013-02-01實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T28632—2012/ISO185162006

:

目次

前言…………………………

Ⅰ

范圍………………………

11

規(guī)范性引用文件…………………………

21

術語定義符號和縮略語………………

3、、1

一般信息…………………

42

直邊法測量橫向分辨率…………………

53

柵格法測量橫向分辨率…………………

68

金島法測量橫向分辨率…………………

710

附錄資料性附錄帶聚焦射線束斑的儀器橫向分辨率測定……………

A()XXPS14

附錄資料性附錄二次電子線掃描譜橫向分辨率測定……………

B()16

附錄資料性附錄俄歇電子線掃描譜橫向分辨率測定……………

C()17

參考文獻……………………

19

GB/T28632—2012/ISO185162006

:

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準采用翻譯法等同采用表面化學分析俄歇電子能譜和射線光電子能

ISO18516:2006《X

譜橫向分辨率測定

》。

本標準由全國微束分析標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標準起草單位上海市計量測試技術研究院納米技術及應用國家工程研究中心

:、。

本標準主要起草人徐建陸敏吳立敏朱麗娜辛立輝何丹農張冰

:、、、、、、。

Ⅰ

GB/T28632—2012/ISO185162006

:

表面化學分析俄歇電子能譜和

X射線光電子能譜橫向分辨率測定

1范圍

本標準規(guī)定了三種條件下測量俄歇電子能譜儀和射線光電子能譜儀橫向分辨率的方法直邊

X。

法適用于橫向分辨率預期值大于的儀器柵格法適合于橫向分辨率預期值大于小于

1μm。20nm,

的儀器金島法則適用于橫向分辨率預期值小于的儀器

1μm。50nm。

附錄附錄和附錄給出了測量橫向分辨率的帶圖的實例

A、BC。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

表面化學分析詞匯

GB/T22461—2008(ISO18115:2001,IDT)

3術語定義符號和縮略語

、、

31術語和定義

.

界定的以及下列術語和定義均適用本文件

GB/T22461—2008。

311

..

橫向分辨率resolutionlateral

,

在樣品表面平面內或在與成像光軸成直角的平面內能可信地區(qū)分確定成分改變時所測試的距離

,。

注1應說明平面的選取

:。

注2實際中橫向分辨率可以認識為樣品上非常小的發(fā)射點發(fā)出的強度分布的半高寬或沿著樣

:,:(i)(FWHM)(ii)

品上與要分辨性質有關的信號且含有意義明確的臺階函數(shù)部分進行線掃描時強度在和兩點之間

,12%88%

的距離對高斯型強度分布而言這兩個值是相等的對其他分布而言選擇其他參數(shù)也許更合適對臺階

,,。,。

函數(shù)在線掃描譜中常應用強度在和兩點之間的距離或和兩點之間的距離對高斯分布

,20%80%16%84%。

函數(shù)后一對給出寬度

,2σ。

定義

GB/T22461—2008,5.255

注3對本標準而言首選樣品的平面測量

:,。

32符號和縮略語

.

俄歇電子能譜

AES———;

d入射在樣品表面上電子束軸對稱束徑