1、常見壓力傳感器基本原理第1頁，共12頁，2022年，5月20日，6點11分，星期三1、應變片壓力傳感器原理力學傳感器的種類繁多，如電阻應變片壓力傳感器、半導體應變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器及電容速度傳感器等。但應用最為廣泛的是壓阻式壓力傳感器，它具有極低的價格和較高的精度以及較好的線性特性。下面我們主要介紹這類傳感器。在了解壓阻式力傳感器時，我們首先認識一下電阻應變片這種元件。電阻應變片是一種將被測件上的應變變化轉換成為一種電信號的敏感器件。它是壓阻式應變傳感器的主要組成部分之一。電阻應變片應用最多的是金屬電阻應變片和半導體應變片兩種。

2、 深圳市銘之光電子技術有限公司 傳感器專家網第2頁，共12頁，2022年，5月20日，6點11分，星期三 金屬電阻應變片又有絲狀應變片和金屬箔狀應變片兩種。通常是將應變片通過特殊的粘和劑緊密的粘合在產生力學應變基體上，當基體受力發生應力變化時，電阻應變片也一起產生形變，使應變片的阻值發生改變，從而使加在電阻上的電壓發生變化。這種應變片在受力時產生的阻值變化通常較小，一般這種應變片都組成應變電橋，并通過后續的儀表放大器進行放大，再傳輸給處理電路（通常是A/D轉換和CPU）顯示或執行機構。 深圳市銘之光電子技術有限公司 傳感器專家網第3頁，共12頁，2022年，5月20日，6點11分，星期三 電阻

3、應變片的工作原理金屬電阻應變片的工作原理是吸附在基體材料上應變電阻隨機械形變而產生阻值變化的現象，俗稱為電阻應變效應。金屬導體的電阻值可用下式表示：式中：金屬導體的電阻率（cm2/m） S導體的截面積（cm2） L導體的長度（m）深圳市銘之光電子技術有限公司 傳感器專家網第4頁，共12頁，2022年，5月20日，6點11分，星期三 我們以金屬絲應變電阻為例，當金屬絲受外力作用時，其長度和截面積都會發生變化，從上式中可很容易看出，其電阻值即會發生改變，假如金屬絲受外力作用而伸長時，其長度增加，而截面積減少，電阻值便會增大。當金屬絲受外力作用而壓縮時，長度減小而截面增加，電阻值則會減小。只要測出加

4、在電阻的變化（通常是測量電阻兩端的電壓），即可獲得應變金屬絲的應變壓力。 深圳市銘之光電子技術有限公司 傳感器專家網第5頁，共12頁，2022年，5月20日，6點11分，星期三2、陶瓷壓力傳感器原理抗腐蝕的陶瓷壓力傳感器也是基于壓阻效應，壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面，使膜片產生微小的形變，厚膜電阻（壓敏電阻）印刷在陶瓷膜片的背面，連接成一個惠斯通電橋(閉橋)，由于壓敏電阻的壓阻效應，使電橋產生一個與壓力成正比的高度線性、與激勵電壓也成正比的電壓信號，標準的信號根據壓力量程的不同標定為2.0 / 3.0 / 3.3 mV/V等，可以和應變式傳感器相兼容。通過激光標定，傳感器具有很高的溫度穩定性

5、和長期穩定性，傳感器通常自帶溫度補償，因為壓力接口是陶瓷，可以和絕大多數介質直接接觸。深圳市銘之光電子技術有限公司 傳感器專家網第6頁，共12頁，2022年，5月20日，6點11分，星期三 陶瓷是一種公認的高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗沖擊和振動的材料。陶瓷的熱穩定特性及它的厚膜電阻可以使它的工作溫度范圍高達-40135，而且具有測量的高精度、高穩定性。電氣絕緣程度2kV，輸出信號強，長期穩定性好。高特性，低價格的陶瓷傳感器將是壓力傳感器的發展方向，在歐美國家有全面替代其它類型傳感器的趨勢，在中國也越來越多的用戶使用陶瓷傳感器替代擴散硅壓力傳感器。 深圳市銘之光電子技術有限公司 傳感器專家網第7頁

6、，共12頁，2022年，5月20日，6點11分，星期三3、擴散硅壓力傳感器原理擴散硅壓力傳感器工作原理也是基于壓阻效應，單晶硅材料在受到外力作用產生極微小應變，其內部原子結構的電子能級狀態會發生變化，從而導致其電阻率劇烈變化（G因子突變）其電阻也就出現極大變化，這種物理效應稱為壓阻效應。利用壓阻效應原理，采用集成工藝技術經過摻雜、擴散，沿單晶硅晶向，制成應變電阻，構成惠斯通電橋，利用硅材料的彈性力學特性，在同一硅材料上進行各向異性微加工，就制成了一個集力敏與力電轉換檢測于一體的擴散硅傳感器。被測介質的壓力直接作用于傳感器的膜片上（不銹鋼或陶瓷），使膜片產生與介質壓力成正比的微位移，使傳感器的電

7、阻值發生變化，利用電子線路檢測這一變化，并轉換輸出一個對應于這一壓力的標準測量信號。深圳市銘之光電子技術有限公司 傳感器專家網第8頁，共12頁，2022年，5月20日，6點11分，星期三4、藍寶石壓力傳感器原理利用應變電阻式工作原理，采用硅-藍寶石作為半導體敏感元件，具有無與倫比的計量特性。藍寶石系由單晶體絕緣體元素組成，不會發生滯后、疲勞和蠕變現象；藍寶石比硅要堅固，硬度更高，不怕形變；藍寶石有著非常好的彈性和絕緣特性（1000 OC以內），因此，利用硅-藍寶石制造的半導體敏感元件，對溫度變化不敏感，即使在高溫條件下，也有著很好的工作特性；藍寶石的抗輻射特性極強；另外，硅-藍寶石半導體敏感元

8、件，無p-n漂移，因此，從根本上簡化了制造工藝，提高了重復性，確保了高成品率。用硅-藍寶石半導體敏感元件制造的壓力傳感器和變送器，可在最惡劣的工作條件下正常工作，并且可靠性高、精度好、溫度誤差極小、性價比高。深圳市銘之光電子技術有限公司 傳感器專家網第9頁，共12頁，2022年，5月20日，6點11分，星期三5、壓電式壓力傳感器原理壓電傳感器中主要使用的壓電材料包括有石英、酒石酸鉀鈉和磷酸二氫胺。其中石英（二氧化硅）是一種天然晶體，壓電效應就是在這種晶體中發現的，在一定的溫度范圍之內，壓電性質一直存在，但溫度超過這個范圍之后，壓電性質完全消失（這個高溫就是所謂的“居里點”）。由于隨著應力的變化

9、電場變化微小（也就說壓電系數比較低），所以石英逐漸被其他的壓電晶體所替代。而酒石酸鉀鈉具有很大的壓電靈敏度和壓電系數，但是它只能在室溫和濕度比較低的環境下才能夠應用。磷酸二氫胺屬于人造晶體，能夠承受高溫和相當高的濕度，所以已經得到了廣泛的應用。深圳市銘之光電子技術有限公司 傳感器專家網第10頁，共12頁，2022年，5月20日，6點11分，星期三 現在壓電效應也應用在多晶體上，比如現在的壓電陶瓷，包括鈦酸鋇壓電陶瓷、PZT、鈮酸鹽系壓電陶瓷、鈮鎂酸鉛壓電陶瓷等等。壓電效應是壓電傳感器的主要工作原理，壓電傳感器不能用于靜態測量，因為經過外力作用后的電荷，只有在回路具有無限大的輸入阻抗時才得到保存。實際的情況不是這樣的，所以這決定了壓電傳感器只能夠測量動態的應力。 深圳市銘之光電子技術有限公司 傳感器專家網第11頁，共12頁，2022年，5月20日，6點11分，星期三壓電傳感器主要應用在加速度、壓力和力等的測量中。壓電式傳感器也可以