1、 HYPERLINK / 無塵室認證這篇無塵室認證，是許博士在新加坡所使用教材，因此是英文版。中文版尚陸續翻譯中，將逐步貼上分享各位。無塵室性能測試Cleanroom Performance Testing和無塵室認證Cleanroom Certification有何分別？差不多上無塵室認證確實是做無塵室的性能測試，然而認證者對所測試的結果要負完全責任，要保証測試儀器、測試程序都滿足NEBB規定。這話說來簡單，做起來可不容易，因為空調系統與無塵室的設計變化專門多，有些時候業主的要求也不盡相同。在不同的設計理念與不同的業要緊求之下，測試的執行就有些差異。因此做無塵室認證，首要之務是熟悉空調系統與

2、無塵室設計。NEBB對無塵室認證人員稱為Cleanroom Performance Testing Supervisor的差不多要求有四，一是對空調系統和無塵室的了解，二是對相關規範的了解，三是對測試儀器與測試程序的了解，四是本身的經驗與口碑。這些是入門的要求，通過檢定成為Supervisor之後，須受NEBB管轄，並且要時時溫習法規規範與關注新科技發展，每年向NEBB報到至少一次，兩年複檢一次資格，要求專門多。因此無塵室性能測試誰都能夠做，只要會操作儀器就能夠；然而要得到嚴謹可信賴的測試數據，就必須依靠資格符合的專業人士。以下資料是塵室的各項性能測試說明，首先是測試簡介，說明一些差不多概念，

3、之後是測試程序及注意事項。至於測試的底線，確實是數據不可更改也不可拋棄，這是不變的鐵律。測試簡介在測試無塵室之前，若是能對測試規範、無塵室差不多概念、無塵室的術語等有些了解，對測試當有幫助。這裡是一些背景資料，提供給讀者參考。一、無塵室測試規範有關無塵室定義、建筑、操縱、治理等等的國際標準，在網路上用contamination control搜尋，能夠找到專門多相關資料。無塵室的定義，最早是在美國聯邦標準209上出現，之後日漸普及並廣為半導體業與製藥業同意。在歐洲與日本，隨著工業的日益發展，各國的版本也逐漸出現。到了90年代後期，產業界體認到若是無共同標準，就不能實現經濟的全球化，於是有ISO

4、-14644的產生。以下說明無塵室的各種標準與規範。Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美國聯邦標準209E，209的出版發行，是在1960年代，之後不斷改版以因應科技進步與工業發展，版本從原始的209、209A，一直到1992年的最後一版209E。在2001年11月29日，美國正式宣佈廢止209E，改用ISO-14644，於是209E在書面上走入歷史。然而在產業界，除了部份的歐洲公司之外，美國、日本、臺灣、與中國大陸，都還沿用209E。微粒計數器的製造商，雖然都推出滿足公制計數法的新機型，然而要等舊機器完全淘汰，可能還要專門長時間，因此新規範ISO-1

5、4644還沒能取代209E。ISO-14644系列；美國政府為了推動經濟全球化，就專門大方的放棄了自己的209E，改而推行全部使用公制的國際標準ISO-14644。14644系列有8個子題Part，稱為14644-1，14644-2，一直到14644-8。整個系列涵蓋了等級定義、測試與監視的規範、測試的程序方法、設計與建筑、操作、以及其他的有關設備等，範圍專門廣。有些主題已經定案，如Part 1和Part 2，有些只有初稿Draft，有些連初稿都還沒有，讀者能夠到ISO或IEST的網站上訂購。JIS B9920 (1989)：日本的潔淨標準，規定無塵室中浮游粒子的濃度測定方式，及潔淨度的等級定

6、義。VDI 2083 (1993)：德國的潔淨標準，規定潔淨度等級的定義方式，以及潔淨度的量測技術。Gost-R 50766 (1995)：俄國的潔淨標準，定義無塵室的分類與一般需求。 以上是無塵室等級規定，與潔淨度量測的相關標準。另外有關無塵室污染操縱也確實是潔淨度操縱，和環境操縱如溫溼度、震動噪音等，也有一些重要的測試規範，因為這些環境影響因素，都包含在無塵室性能測試的範圍之內。IEST-RP-CC-006.2：這本有名的測試規範，目的確實是為了補209的不足。209只有微粒量測，006 包括了風速風量、濾網洩漏、潔淨度、溫溼度、平行度、恢復率、粒子沉降測試、照度等。006 的第一版稱為0

7、06-84-T，006.2是第二版。現在由於 NEBB 的興起，0062已經功成身退，逐漸消逝了。NEBB 無塵室測試規範第二版：這是目前最廣為流行的測試規範，提到無塵室認證，就非 NEBB 莫屬。NEBB 無塵室測試規範，可說是IEST-0062的改良版，其測試涵蓋範圍差不多，然而測試程序更為清晰嚴謹，儀器使用也有詳細規定。因此 NEBB 無塵室測試規範的出現，解決了許多測試的爭議，也因此 NEBB 無塵室測試規範成功的成為產業標準。有關 NEBB，請參照本站 HYPERLINK .tw/NEBB/nebb%20main.htm NEBB。ISO-14698 系列：14698 有 Part

8、1、Part 2、Part 3 三個子題，是有關無塵室裡面生物污染的操縱，目前都只有初稿。 每一種行業，甚至每一家公司或工廠，對無塵室的要求可能都不一樣。以上所列無塵室定義與無塵室測試規範，雖然以可滿足大部份廠商的需求，然而嚴格來講，這些規範也只是一個參考。各公司在訂定測試規格時，應依照自己的製程需求，在上述規範裡取出自己適用的部份，並要求供應商與測試單位照辦，必要時能夠酌情修改測試標準，才能真正滿足自己的需求。二、無塵室常用名詞 無塵室定義：無塵室是一個為了對空間內空氣中的微粒做操縱，所建筑的專門封閉性建築。一般而言，無塵室也會對溫溼度、氣流運動模式、與震動噪音等環境因素做操縱。微粒操縱：無

9、塵室微粒操縱的第一步，是把室內微粒對製程影響的程度做完整分析，然後針對分析結果，訂定恰當的微粒操縱方式與無塵室治理模式，才能有效率的操縱微粒污染。在做微粒影響分析時，必須特別注意數據的量化，也確實是粒徑與其數量對製程的影響，才是有用的數據。外來污染源：從無塵室外進入系統的污染源，外來污染源要緊是由空調通風系統所導入，另外門、窗、牆壁裂縫等也是外來污染源的成因。內部污染源：無塵室內部產生污染的來源，一般是製程機器與操作員工，最嚴重的內部污染源一般是操作員工。隔離：隔離是污染操縱的一種觀念，也確實是讓污染源隔絕在無塵區域之外。這種觀念多應用在高潔淨度的無塵環境，例如 Class 100，Class

10、 10，Class 1等高濾網覆蓋率的無塵室，或是使用迷你潔淨室將機臺整個包住。稀釋：稀釋是污染操縱的另一種觀念，多應用在潔淨度不高的無塵室。例如在 Class 10000的無塵室，因為換氣量不大，製程與人員產生的粒子就會在室內打轉，要比較常的時間才會排出。因此新的乾淨空氣只能稀釋室內的微粒濃度，讓室內潔淨度操縱在某一等級之下就能夠了，部要求把人員與製程隔開。使用稀釋法作為粒操縱時，要特別注意本節第二條微粒影響分析的正確性，能掌握微粒的產生速率，才能有效的稀釋微粒。氣流模式：指的是流場型態，氣流分佈，氣流的流向等性質。由於微粒的移除完全掌握在氣流的模式，因此愈潔淨的無塵室或是無塵區域，對氣流模

11、式的掌控就愈重視。差不多上要先掌握氣流模式，才能掌握潔淨度。單一流向型氣流：氣流以同一個方向移動，這種無塵室稱為單一流向型無塵室，往常稱為層流型無塵室，定義並無多大改變。高潔淨度無塵室需要單一流向型氣流。非單一流向型氣流：氣流方向不受操縱，確實是所謂的亂流型無塵室，潔淨度較低的無塵室差不多上用非單一流向型氣流以節省成本。As-built cleanroom（剛完工的無塵室）：已經完成且能夠操作，所有相關支援設施皆已完成的潔淨室，但並沒有設備及操作設備的人員。At-rest cleanroom（準備中的無塵室）：已經完成且能夠操作，所有相關支援設施皆已動作的無塵室，設備已載入並能夠操作或已在運轉

12、，1如所指定，但沒有操作設備的人員。Operational cleanroom（操作中的無塵室設施）：一個已在正常運轉的無塵室，所有相關支援設施皆已動作，設備及人員皆已載入，運轉狀況能夠呈現和達到其正常的功能。 三、無塵室等級定義 無塵室的等級 使用者在開無塵室的等級給供應商時，有以下幾個小技巧。首先是等級定義的模式如下： Class X (at Y m ) 其中 X 是無塵室的等級，例如 100 或 10000 等等，Y是粒徑如 0.2m , 0.5m 等，可複選。意思確實是使用者規定，該無塵室微粒含量，在這些粒徑必須滿足該等級的限度。這樣能夠減少紛爭，以下是幾個例子：Class1 (0.1

13、m, 0.2m , 0.5m) Class 100(0.2m , 0.5m ) Class 100(0.1m, 0.2m , 0.5m ) 在 Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100，1000，10000.) ，一般看一個粒徑即可。在 Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10，1. ) ，一般要看多幾個粒徑。 第二個技巧是規定無塵室的狀態，例如：Class X (at Y m )， At-rest 供應商就專門清晰明白無塵室要在 At-rest狀態下驗收。第三個技巧是自訂微粒濃度上限，一般在 As-built 時無

14、塵室都專門乾淨，微粒操縱能力測試不易，這時能夠乾脆把驗收上限壓低，例如：Class 10000 (0.3 m = 10000)， As-builtClass 10000 (0.5 m 9 95 % UCL factor 6.31 2.92 2.35 2.13 2.02 1.94 1.90 1.86 N/A 依照以上步驟所計算出的UCL，確實是該房間的信賴度上限值。 HYPERLINK http:/ 2.5 溫溼度量測一、說明：溫濕度量測的目的是確認室內之溫溼度操縱在範圍之內，溫濕度對微粒操縱沒有甚麼影響，因此溫濕度測試屬於第三級測試（Level 3）。然而因無塵室多半同時也是環控室，因此溫濕度

15、常常就一併量測了。溫濕度量測又分為一般量測和進階量測（General Tests and Comprehensive Tests），一般量測只是量測溫溼度在量測點的即時數據（單一量測數據），適用在對溫溼度要求不高的場所。進階量測就要紀錄在量測點一段長時間的溫濕度，目的是要觀察溫溼度隨時間的變化情形，以確認溫溼度在操縱之下。進階量測適用在對溫溼度要求比較高的場所。 二、測試儀器： 常見的溫溼度儀器是電子式溫度計與鏡面冷凝光學式濕度計，一般量測和進階量測使用儀器的精度相同，溫度量測範圍是0-100，精確度是0.2。溼度量測範圍是10到95，精確度是2。 一般量測要求溫度之顯示值可顯示0.1的變化，

16、溼度的顯示值可顯示1的變化。進階量測則要求溫度之顯示值可顯示0.05的變化，溼度的顯示值可顯示0.1的變化。 檢測儀器需校正合格且仍在有效期限內者，於測試前或交附報告時均須檢附合格之校正文件。 三、測試程序： 一般量測的程序如下 1. 確認空調系統已經安裝完成，並已完成測試、調整、平衡。空調系統測試、調整、平衡能夠平衡風量和水量，使其達到設計要求，為溫溼度操縱提供正確的運轉環境，因此系統要先平衡才能測試。 2. 依據平面圖，列出各種溫濕度要求區域，並使系統達到正常運轉狀況，系統應在溫濕度自動操縱之下，至少運轉24小時以上。 3. 測試點數為每個房間至少量一點，並且每個溫溼度操縱區至少量一點，例

17、如每個Dry Coil的操縱範圍要量一點，量測高度為(高架)地板上1.00m。 4. 將溫濕度感測器放置同一位置，待穩定後開始記錄。 一般量測的報告應包括以下項目 1. 量測位置圖 2. 所量測的溫溼度數值與取樣時間 3. 簡單數據分析 a. 取樣點總數 b. 最小值 c. 平均值 d. 最大值 e. 平均值減最小值與最大值減平均值 進階量測的程序如下1. 確認空調系統已經安裝完成，並已完成測試、調整、平衡。 2. 依據平面圖，列出各種溫濕度要求區域，並使系統達到正常運轉狀況，系統應在溫濕度自動操縱之下，至少運轉24小時以上。 3. 測試點數為每個房間至少量一點，並且每個溫溼度操縱區至少量一點

18、，例如每個Dry Coil的操縱範圍要量一點，量測高度為(高架)地板上1.00m。 4. 將溫濕度感測器放置同一位置，待穩定後開始記錄。 5. 至少每6分鐘紀錄一次溫溼度值，並且持續紀錄2小時。亦即每一量測點至少有20筆數據。 進階量測的報告應包括以下項目 1. 量測位置圖 2. 所量測的溫溼度數值與取樣時間 3. 簡單數據分析 a. 取樣點總數 b. 最小值 c. 平均值 d. 最大值 e. 平均值減最小值與最大值減平均值 4. 如有必要，應計算露點溫度 5. 外氣狀態 a. 溫度範圍 b. 降水狀況 c. 溼度範圍 d. 溫溼度極大值與極小值出現時間 6. 進階數據分析 a. 全部溫溼度數據的最小值 b. 全部溫溼度數據的平均值 c. 全部溫溼度數據的最大值 d. 標準差 五、驗收標準： 依合約規定之各區域溫溼度範圍驗收之。 2.10 導電度測試導電度測試 (Conductivity)1. 導電度可視為電流流經或繞過某物體之容易程度(relative ease) ，電阻的倒數即導電度2. 量測之目的是量測地板上點與點之間(Floor Point to Point)的電阻，和地板與大地間(