1、集成電路封裝測試廠氣體與真空一、大宗氣體1、大宗氣體供應系統(tǒng)宜采用在廠區(qū)內設置制氣裝置或外購液態(tài)氣儲罐和瓶裝氣 體方式。2、大宗氣體供應系統(tǒng)宜設置氣體質量監(jiān)控系統(tǒng)。3、當氣體的純度大于99.9999%、露點低于一4(TC時，大宗氣體應設置終端氣體純化裝置，氣體終端純化裝置應設置在用氣點處。4、生產廠房內的大宗氣體管道等應采取以下技術措施：(1)管道及閥門附件內壁處理等級應滿足輸送氣體的品質要求；(2)混合氣體管道的終端或最高點應設置放散管，放散管口應設置阻火器；(3)混合氣體管道應設置導出靜電的設施；(4)混合氣體引入管道上應設置自動切斷閥。5、氣體管道和閥門應根據產品生產工藝要求選擇，宜符合

2、以下規(guī)定：(1)當氣體純度大于99.99%、露點低于一40(時，宜采用內壁處理的不銹鋼管，閥門宜采用波紋管閥或球閥；(2 )氣體管道閥門、附件的材質宜與相連接的管道材質一致。6、氣體管道連接，宜符合以下規(guī)定:(1)管道連接宜采用焊接，不銹鋼管宜采用氫弧焊;(2)管道與設備或閥門的連接，宜采用外表密封接頭，密封材料宜采用金屬墊 或聚四氟乙烯墊。二、干燥壓縮空氣1、干燥壓縮空氣系統(tǒng)應根據產品生產工藝要求、供氣量和供氣品質等因素確定， 并應符合以下規(guī)定：(1)供氣規(guī)模應按生產工藝平均用氣量及系統(tǒng)損耗量確定；(2 )供氣設備可集中布置在生產廠房內的供氣站或生產廠房外的綜合動力站；(3 )供氣品質應根據

3、生產工藝對含水量、含油量、微粒粒徑的要求確定。2、空氣壓縮機及冷凍式干燥裝置的布置應保證冷卻空氣排放至室外，防止熱空 氣混入冷卻空氣的入口。3、水冷式空壓機組宜采用閉式循環(huán)水系統(tǒng)。4、干燥壓縮空氣管道內輸送露點低于一4CTC時，可采用不銹鋼管或鍍鋅鋼管, 閥門宜采用球閥。5、壓縮空氣系統(tǒng)管道設計應符合以下規(guī)定：(1)壓縮空氣主管道直徑應按全系統(tǒng)平均用氣量確定，主支管道直徑應按局部 系統(tǒng)平均用氣量確定，支管道直徑應按設備最大用氣量確定；(2 )干燥壓縮空氣輸送露點低于一4(TC時，用于管道連接的密封材料宜選用金 屬墊片或聚四氟乙熔墊片;(3)管道連接宜采用焊接，不銹鋼管應采用氮弧焊。三、真空1、生產廠房工藝真空系統(tǒng)設計應符合以下規(guī)定：(1)工藝真空系統(tǒng)的抽氣能力應按生產工藝實際用氣量及系統(tǒng)損耗量確定；(2)供氣設備應布置在生產廠房內的一個或多個供氣站內；(3)工藝真空系統(tǒng)宜設置真空壓力過低保護裝置。2、工藝真空系統(tǒng)管道設計應符合以下規(guī)定：(1)工藝真空管路應采用樹枝狀布置形式。(2)工藝真空主管道直徑應按照系統(tǒng)實際抽氣量確定；主支管道直徑應按局部 系統(tǒng)實際抽氣量確定；支管道直徑應按設備最大抽氣量確定。(3)工藝真空系統(tǒng)管道材料宜根據工