1、LONGXIN龍芯柔性電路板有限公司DongGuan Long Xin FPC Co.,Ltd.DES工作指示內部受控文件嚴禁私自以任何形式全部或部分復制 姓名部門職位簽名日期擬制陶興平工藝部主管審核陶興平工藝部主管馮永陣生產部主管陶興平品質部主管批準李松海總經辦懂事 文件編號：LX-MEI-TD-004 版次：A.0 頁碼： 1/15 1 / 22修改履歷版次修改原因文件名作成日期修改人A.0新規作成LX-MEI-TD-0042011-04-01陶興平A.1新增內容LX-MEI-TD-0042011-07-01陶興平文件編號：LX-MEI-TD-004 版次：A.0 頁碼： 2/15作業指導

2、書作成審核批準編 號LX-MEI-TD-004 版 次A.1頁3/15生效日2011-07-01名稱DES工藝規程1. 目的：1.1 本規程規范DES工藝及操作，滿足其生產品質要求；1.2 本規程為生產、品質、工藝等有關人員提供操作和監控的依據。2. 適用范圍：適用于本公司DES工序的作業控制。3. 使用材料、工具、設備：工業碳酸鈉，氫氧化鈉、硫酸（CP級）、消泡劑、顯影機、引導板、工業鹽酸、蝕刻子液、氫氧化鈉、蝕刻機、脫膜機、百倍鏡。4. 作用或原理： 4.1 各藥水缸的作用：缸 名作用或原理顯影感光膜中未曝光部分的活性基團與稀堿溶液反應生成可溶性物質而溶解下來，留下已感光交聯固化的圖形部分

3、蝕刻1、以化學的方法去除線路板上銅箔表面多余部分的銅，使之形成所需的電路圖形；2、在蝕刻過程中，CuCl2中的二價銅具有氧化性,將板面銅氧化為一價銅：Cu+CuCl2= Cu2Cl23、為了達到再生的目的,利用氧化劑將Cu2Cl2中的一價銅氧化為二價銅： Cu2Cl2+2HCl+H2O2 = 2CuCl2+2H2O脫膜將板面的抗蝕干膜（或油墨）徹底的退除干凈、露出新鮮的Cu面以便于后制程的生產5. 作業方法：5.1 作業準備：5.1.1作業前準備：（每班檢查一次）檢查各連接處有無滲漏 檢查進、排水總閥是否打開 檢查各水洗缸進水循環管是否打開 檢查各藥液排出閥是否關閉 檢查各缸內液位是否足夠,如

4、不夠,則加水至液位，攪拌后通知化驗室分析調整 檢查傳動系統是否正常 滾輪表面是否有異物 檢查噴淋、壓力是否正常 需加溫的藥缸提前預熱 進產品前藥缸開泵循環2分鐘以上后,觀察控制面板上溫度是否到達操作的溫度，否則需繼續加熱 。作業指導書編 號LX-MEI-TD-004 版 次A.1頁4/15生效日2011-07-01名稱DES工藝規程5.1.2 作業前具體檢查項目（每班檢查一次）5.1.2.1 液位：各缸液位偏低則按各自方法補加與調整，偏高則視具體情況決定是否排出；5.1.2.2 溫度：各缸液實測溫度與設定值允許偏差±2；5.1.2.3 過濾：過濾器不允許有漏液、漏氣、空轉、停轉、堵塞

5、等問題；5.1.2.4 噴嘴：噴淋無堵塞、傾斜；5.1.2.5 儀表：各儀表顯示準確、無異常；5.1.2.6 搖擺：是否正常工作；5.1.2.7 風刀：無堵塞，氣流溫度正常；5.1.2.8 吸水海棉：目視及用手捏擠看其是否有污水滲出，如異常則須清洗至合格，正常生產每個月更換一次吸水海棉，新吸水海棉需用清水浸泡4個小時才能使用；每天每班二次清洗一次5.1.2.9濾膜系統，濾渣系統無干膜渣堆積，脫膜缸內無大量干膜渣漂浮，脫膜后水洗段傳送輪上不允許有膜碎，必須用自來水將其沖干凈。5.2 作業流程：5.2.1 工藝（作業）流程：FPC上導板(單面板) 入板顯影1和2隔離壓力水洗壓力水洗壓力水洗市水洗吸

6、干強風吹干熱風吹干出板蝕刻進板蝕刻1、2和3隔離壓力水洗壓力水洗市水洗吸干中檢脫膜1、2和3壓力水洗隔離壓力水洗壓力水洗壓力水洗市水洗吸干強風吹干熱風吹干 FPC下導板。5.2.2 工藝（作業）流程示意圖：無5.3 作業步驟：5.3.1開機方法：5.3.1.1打開控制柜電源開關；5.3.1.2按下面板上“啟動START”按鈕；5.3.1.3依據流轉單規定值,調整參數后,做首板確認具體的參數；5.3.1.4從左至右將總控制面板上所有按鈕打至綠燈亮。5.3.2 關機方法：（先確認缸內無產品）5.3.2.1 從左至右將總控制面板上所有旋鈕關至“綠燈滅”位置，“O”位置或直接按紅色“STOP” 鍵；

7、作業指導書編 號LX-MEI-TD-004 版 次A.1頁5/15生效日2011-07-01名稱DES工藝規程5.3.2.2 關控制柜總電源；5.3.2.3 關掉總進水閥。5.3.3 槽液控制：工序槽名控制項目單位控制范圍控制點DES線顯影Na2CO3%0.8-1.21.0蝕刻HClmol/L2-32.5Cu2+g/L120-160140退膜NaOH%3-5 45.3.4 參數控制：工作段名稱參數控制范圍顯影工作速度干膜 2.0-3.0m/min濕膜2.0-3.0m/min感光油墨1.0-2.0 m/min噴淋壓力1.5-2.5kg/cm2（控制點2.0kg/cm2）水洗壓力1.5-2.5kg

8、/cm2（控制點2.0kg/cm2）溫度28-32（控制點30）烘干溫度45-65（控制點50）蝕刻工作速度（以首板速度為準）單面1/2OZ 2.5-3.5m/min1OZ 1.5-2.5m/min雙 面多 層1/3OZ 1.5-2.5m/min1/2OZ 2.2±0.21OZ 1.5-2.5m/min鏤空1OZ 1.6±0.2噴淋壓力 1.5-2.5kg/cm2（控制點2.0 kg/cm2）水洗壓力1.5-2.5kg/cm2（控制點2.0 kg/cm2）溫度 45-50（控制點50）脫膜溫度 48-52（控制點50）噴淋壓力1.5-2.5kg/cm2 （控制點2.0kg/

9、cm2）速度濕膜 2.0-3.0m/min干膜 2.0-3.0m/min水洗壓力1.0-1.5kg/cm2溢流水洗壓力1.0-1.5 kg/cm2（控制點1.0 kg/cm2）烘干溫度 80-90（控制點85）作業指導書編 號LX-MEI-TD-004 版 次A.1頁6/15生效日2011-07-01名稱DES工藝規程5.3.5 溶液開缸及藥水添加：缸號體積及控制要求開缸用量添加要求換缸要求顯影1000LNa2CO3 濃度:1.0（0.8%-1.2%）8Kg1手動加藥：每生產4小時化驗；2化驗室取樣分析后，生產根據化驗分析結果進行添加且做好藥水添加記錄，加藥時，應將藥品溶解后加入；3非正常連續

10、生產過程中，生產前應通知化驗室分析并根據分析結果進行調整藥品濃度后方可生產。每生產100更換一次蝕刻1230LHCL： 2mol/L-3 mol/L由供應商提供蝕刻母液化驗調整成分后使用1、鹽酸的添加量按化驗結果添加；2，鹽酸與再生劑的添加比例按3：1添加，再生劑應分次少量添加（每次不超過500ML，如超過應分次添加）3、液位過低及時反饋通知設備部檢查系統運行情況。由化驗室通知Cu2+ 120-160g/L脫 膜1000LNaOH 4.0%( 3.0-5.0%)1.加水約1/2體積；正常生產時依據每班分析結果補加NaOH。 每兩天換缸一次2.加入25kgNaoH；3.補足水位，開循環泵攪拌。作

11、業指導書編 號LX-MEI-TD-004 版 次A.1頁7/15生效日2011-07-01名稱DES工藝規程5.3.6 各缸換缸步驟和頻次：缸名換缸頻次換缸操作步驟顯影 (830L)按照平米計算每生產100更換一次顯影液1.開泵循環2-5分鐘后,關泵后再將舊藥水排放干凈；2.用市水沖洗缸壁及缸底,再用干凈掃把擦洗干凈缸壁及缸底污垢；3.注入市水至液位處,開泵循環10-20分鐘；4.關泵,放干缸內水,關排水閥；5.加水,稱取10kg碳酸鈉，溶解后加入缸內；6.通知化驗室分析調整濃度；7.水洗段每過4小時更換一次純水；7蝕刻 1230L由化驗室通知1.用5微米聚丙烯濾芯的泵,抽出所有蝕刻液至備用缸

12、；2.見蝕刻缸大保養方法；3.加DI水至液位循環30min后排水；4.將藥液抽回至缸內。循環30min后通知化驗室分析。脫膜 800L1次/兩天1. 開泵循環2-5分鐘后,關泵后再將舊藥水排放干凈。2.用清水沖洗缸壁及缸底,再用干凈塑料掃把擦拭干凈缸壁及缸底污垢。3.注入市水600L,開噴淋、開泵循環10-20分鐘。4.關泵、關噴淋，放干缸內水,關排水閥。5.加入3/4缸市水,將稱取25kg NaOH溶解后加入缸內。6.加水稀釋到液位700L,循環10分鐘以上。7.通知化驗室分析調整濃度。水洗1次/每班1.關機后將水洗缸排水閥打開至水排干；2.用干凈塑料掃把擦洗缸壁及用水管沖洗缸底；3.加市水

13、至液位6. 維護與保養：6.1 日常維護和保養：作業指導書編 號LX-MEI-TD-004 版 次A.1頁8/15生效日2011-07-01名稱DES工藝規程保養頻率保養項目保養方法保養驗收標準 一次/四小時壓水轆（吸水轆）浸泡、擠壓，自來水沖洗,嚴禁用堿性洗潔精清洗.無滑膩感，無污染及污水，無殘留物，表面潔凈，保持濕潤一次/班1、周邊環境清掃、清潔、整理地面不積水，雜物等清掃干凈，生產板及其它物品擺放整齊2、機身、滾輪用海綿或抹布擦拭、清潔污跡、灰塵、藥水跡、結晶已清除3、各水洗段、水缸用水沖洗水洗段、清洗缸體、缸壁、清洗網內殘渣缸壁異物及污跡已清除；過濾網無殘渣堵塞4、噴嘴每日檢查噴嘴是否

14、堵塞,用清水清洗。清潔干凈、無堵塞5、溫度探頭清洗溫度探頭外結晶物及其它雜質。清潔干凈、無結晶物及其它雜質6、過濾筒、過濾網（濾芯）用清水沖洗過濾筒內殘渣及過濾網紗過濾筒內殘渣及過濾網紗殘渣已清洗干凈7、脫膜后水洗段用自來水沖洗傳送輪和用刷子刷滾輪和傳送軸傳送輪和軸上無碎膜殘渣一次/周顯影缸周保養1、排放藥液及水洗缸水2、 用自來水沖洗傳送輪和用刷子刷滾輪和傳送軸，然后放清水入缸，將缸底沉積的濕膜和干膜渣等雜質清洗干凈；3、放水入缸至水位開泵洗缸10分鐘將水放掉4、清洗噴嘴、噴管、行轆等相關的部件用專用掃把擦洗水缸內壁水垢和雜物，保養完畢之后必須更換過濾棉芯。缸壁異物及污跡已清除；各噴嘴無堵塞

15、，噴出的水形為扇形；行轆上無殘留物；一次/周蝕刻缸周保養1、清洗噴嘴，噴管、行轆等.安裝時要按原裝編號裝入，裝噴水管時要注意噴嘴方向要一致。各噴嘴無堵塞，噴出的水形為圓錐形或扇形；行轆上無殘留物，運行順暢一次/周脫膜缸周保養1、排放藥液2、取出過濾網，然后放清水入缸，將缸底沉積的濕膜和干膜渣等雜質清洗干凈；3、放水入缸至水位開泵洗缸10分鐘將水放掉。4 清洗噴嘴、噴管、行轆、過濾網系統和濾膜系統等相關的部件；用專用掃把擦洗水缸內壁水垢和雜物，保養完畢。缸壁異物及污跡已清除；各噴嘴無堵塞，噴出的水形為扇形；行轆上無殘留物；過濾網和濾膜系統無異物堵塞或粘附.作業指導書編 號LX-MEI-TD-00

16、4 版 次A.1頁9/15生效日2011-07-01名稱DES工藝規程保養頻率保養項目保養方法保養驗收標準 一次/月 顯影缸大保養1.排放藥液及水洗缸水；2.再將入口處與烘干段的行轆全部拆除下來，然后放清水入缸，將缸底沉積的濕膜和干膜渣等雜質清洗干凈；3. 加水至約2/3液位，加入溶解好的30kg NaOH，升溫至45-50開機噴淋120分鐘后將溶液排掉，然后用干凈的塑料掃把擦洗缸體加滿自來水開機噴淋15分鐘，排水加水至約2/3液位，加入30L H2SO4并補充水至液位，升溫至45-50酸洗30分鐘，排掉加滿自來水開機噴淋15分鐘，排水將缸放滿水，開機噴淋10分鐘，排放掉；加水至2/3液位，加

17、入6kg Na2CO3正常噴淋15min后放掉，取出各段過濾棉芯清洗干凈或換新棉芯（包括水洗段和顯影段的過濾棉芯）；4.取出各段行轆，把殘余物擦拭干凈，再用清水洗凈后正確安裝好；5.拆下噴嘴、噴管等相關的部件清洗，清除殘留在噴管里的異物、雜物,并小心疏通噴咀，用專用掃把擦洗水缸內壁水垢和雜物；6.吸水棉轆先泡洗后用潔精液清洗，再用清水清洗干凈；各段壓轆如清洗不掉，需用酒精檫洗掉。缸壁異物及污跡已清除；各噴嘴無堵塞，噴出的水形為扇形；行轆上無殘留物；檢查，損壞的必須更換；檢查傳動輪有無破損，傳動有無異常，如果有找設備部修理。一次/月蝕刻段大保養1.蝕刻機里的蝕刻液抽至干凈的桶內存放；2.放清水入

18、缸，將缸底沉積的雜質清洗干凈；3.加水至液位，開機噴淋15分鐘排放掉。重新加水至3/4液位，稱取NaOH約25Kg，溶解后加入缸中，加水至液位，升溫至50±5。開機噴淋120鐘后將溶液排放一半，然后用干凈的塑料掃把、刷子擦洗缸體，擦洗干凈后排掉余下溶液；4.加滿水開機噴淋15分鐘排放掉，重復此步驟一次；5.加水至3/4液位，緩慢加入 H2SO4約20L，加水至液位，升溫至50±5，開機噴淋60分鐘，將溶液排放掉；再次加滿水開機噴淋15分鐘后排放掉；6.將缸放滿水，開泵10分鐘后將殘渣用水沖走；7.清洗滾輪上的臟污（如膠漬等）、過濾網；清洗噴嘴，安裝時要按原裝編號裝入，裝噴水

19、管時要注意噴嘴方向要一致；8.蝕刻機清洗完畢后，將蝕刻液抽回藥水缸。蝕刻缸內無結晶、殘留物；各噴嘴無堵塞，噴出的水形為圓錐形或扇形；行轆上無殘留物，運行順暢；檢查、清洗噴嘴，如有堵塞的需疏通或更換一次/月脫膜段大保養1排放藥液及水洗缸水；2 再將烘干段的行轆全部拆除下來，取出過濾網，然后放清水入缸，將缸底沉積的濕膜和干膜渣等雜質清洗干凈；3 再對各缸加入30L H2SO4升溫至50±5酸洗120分鐘，排掉加滿自來水循環水洗30分鐘，排水，用5% NaOH堿洗30分鐘，排掉加滿自來水循環水洗30分鐘排水；4.清洗噴嘴、噴管、行轆、過濾網系統和濾膜系統等相關的部件；5.用專用掃把擦洗水缸

20、內壁水垢和雜物；保養完畢。缸壁異物及污跡已清除；各噴嘴無堵塞，噴出的水形為扇形；行轆上無殘留物；過濾網和濾膜系統無異物堵塞或粘附.一次/月水洗缸保養1.將水洗缸溶液排放完后，加水至3/4液位，稱取NaOH約5 kg，溶解后加入缸中，加水到液位后，開啟噴淋60-120分鐘，然后排放掉；2.加水至3/4液位，加入濃H2SO4約5L，加水到液位后，噴淋30分鐘后排放掉；3.加水至液位后噴淋30分鐘后排放掉，然后用水沖洗干凈缸體。缸壁異物及污跡已清除；過濾網無殘渣堵塞一次/月壓水轆、風刀每月更換一次壓水海綿轆，清潔并調整風刀無殘留物、污跡作業指導書編 號LX-MEI-TD-004 版 次A.1頁10/

21、15生效日2011-07-01名稱DES工藝規程6.2 定期維護(大保養)溶液配制用量：工作段名稱液缸體積L（max）NaOH用量(kg)濃HCL用量(L)濃H2SO4用量(L)顯影缸83030/30蝕刻123025/20脫膜800/30水洗缸100或1555/57. 放板要求：7.1 放板時作業人員一定要戴上干凈的手指套，輕拿輕放防止折皺,嚴禁裸手取板；7.2 單面板均需用引導板（或框架板）拖動，顯影、蝕刻和脫膜時均需膠帶膠粘牢,貼引導板（或框架板）時注意板上應該無殘膠（帶、紙）并應貼在板的邊緣；7.3 放板前核對工作板的型號、數量等應與流程卡一致，如有疑問，立即找當班組長或主管處理。7.4

22、 干膜顯影撕保護膜時,注意一定把板邊小碎塊保護膜一起撕掉,以免進入顯影機堵塞噴嘴；7.5 曝光后的板須停置15分鐘后方可顯影，但最長停留時間不可超過8小時；7.6 根據物料的類型調節傳送速度等參數，批量生產須在試生產首板合格后方可批量生產；7.7 放板入機器時作業者應自檢每張產品,確認無誤后方可放入機器，板與板之間應間隔25cm（1-2個輪距）間距，以防疊板、卡板；7.8 放板人員放板時必須每3-5分鐘內巡視一次機器工作情況,以及時發現并處理卡板等異常現象；7.9 每班顯影,蝕刻作業員對當班顯影板的數量、型號以及工藝檢查、維護項目必須作詳細記錄；7.10 生產時采用將線路面（若兩面有線路，則線

23、隙較小或線路較密的一面）朝上顯影和蝕刻的原則；7.11 放板前需確認各段藥水溫度達到設定溫度后方可放板；7.12 顯影與蝕刻放板時必須遵循短邊與轉送方向相垂直的原則，為防止卡板板子可傾斜20-30°角放板。作業指導書編 號LX-MEI-TD-004 版 次A.1頁11/15生效日2011-07-01名稱DES工藝規程8.接板要求： 8.1 接板時一定要戴上干凈干燥的防靜電手套，輕拿輕放防止折皺,嚴禁裸手接板，以免造成板面油漬和手指印，雙手對角接板,不允許拖、拉板，接的板必須用干凈的藍膠片隔開，防止檫花；8.2 接板操作時要輕拿輕放，逐塊接板放好，然后小心從導板上撕下來，小心撕破產品；

24、8.3 從顯影出來的板件，接板人員必須進行自檢，顯影出板后，接板時必須板與板之間用干凈的藍膠片隔開，以免兩張板粘在一起，影響產品品質；8.4 蝕刻接板檢查是否有蝕刻不凈，蝕刻不凈的板需單獨挑出，禁止蝕刻不凈的板進行脫膜；在正常生產過程中，當同一型號連續出現5PNL蝕刻不凈時必須暫停放板，重新調整作業參數直至合格才能繼續作業；8.5 脫膜接板員要檢查板面是否脫膜干凈，若脫膜不凈須重新脫膜； 8.6 蝕刻后接板和脫膜接板時必須將蝕刻干凈和不干凈的分開標識處理；8.7 蝕刻后未能及時脫膜的板必須放置于盛水的盆子里,正常板需在30mins內脫膜。9. 首板控制：9.1 每班或在生產每一種型號板前必須要

25、做首板檢查，首件須用周轉框或首件盒盛放，以免折傷；9.2 每款產品按菲林號各生產2張，經品質部IPQC確認，合格后方可按照試板參數批量生產，注意在試板未檢驗合格之前，其余批量板不能生產；9.3 首檢項目：檢查是否有曝光不良,顯影不盡,顯影過度,蝕刻不凈或蝕刻過度現象，用百倍鏡測量線寬線距是否符合MI要求，線寬/線距必須控制在要求的20%以內，有特殊要求按MI要求控制；9.4 每班必須準確、如實的做好首檢記錄。10.生產注意事項：10.1 機器啟動前必須嚴格按照點檢表中項目進行點檢確認,并在點檢表上做好記錄； 10.2 生產時各水洗槽必須溢流水洗；10.3 除顯影撕麥拉外，蝕刻、放板、中間檢板、

26、磨板、放板；所有取板、放板、點數動作須帶防靜電手套或指套；10.4 鹽酸及再生劑要及時補充，以免液位不足；鹽酸生產100PNL需添加4升，蝕刻子液每100PNL添加800毫升；10.5 待顯影的物料不可以拿出顯影室或被白光照射；10.6 曝光好的基材須于15min后48H之前完成顯影、蝕刻、脫膜烘干等作業作業指導書編 號LX-MEI-TD-004 版 次A.1頁12/15生效日2011-07-01名稱DES工藝規程10.7 調整生產時要打開蝕刻槽的日光燈，以隨時掌握蝕刻槽狀況；10.8 每班加藥前要認真核對化驗室提供的化驗單上需加藥水的名稱、數量，對于已超出工藝控制范圍的必須在在接到化驗單后必

27、須立即停止作業，15分鐘內添加完畢，對于未超出工藝控制范圍而化驗單上注名需要添加的必須在1小時內添加完畢，加藥時要攪拌或過濾，直至藥水溶解、混和均勻，并在加藥時通知工藝或品質人員進行監督，并做好相關記錄；加完藥后需再次分析藥水確認10.9 所有固體藥劑必須稱量后添加，所有液體藥劑必須用量具測量后方可添加，量杯在使用之前須用純水洗干凈；10.10 員工不能隨便更改各段壓力和作業參數；10.11 生產中須隨時檢查設備是否運轉正常，如發現異常應立即停止作業，應第一時間通知設備部修理，嚴禁擅自維修；10.12 過板厚度最厚不得超過0.8mm，如有超過此厚度的必須要有工藝的相關指示方可過機，以免影響機器

28、性能；10.13 機器的各段零部件不得隨意調換使用，以免影響機器的整體性能，在機器保養過程中應將各段滾輪，吸水轆編號，先拆下一段保養后裝回原處再拆另一段保養并依此類推；10.14生產雙面板時，在蝕刻后脫膜前應對其在線全檢，確認無問題方可進入剝膜工序；10.15 蝕刻缸保養后，如果銅含量偏低，不允許添加電鍍用的磷銅（球），只能采取其它方法（如補加備用液、補加不含磷的廢銅箔等）；10.16 一般情況下，顯影后的產品（特指干膜產品）必須在24小時內蝕刻完畢；蝕刻后的產品必須在24小時內進行化學清洗/磨板后立即轉貼合或其它流程；10.17 生產過程中如發現產品加工異常時，應立即停止作業并報告相應管理者

29、解決；10.18 作業指示流轉卡上操作參數或其他事項異于本工藝規程時,應咨詢當班工藝工程師，根據工藝工程師的指示進行作業并要求工藝工程師在作業指示流轉卡上簽注；10.19停產時關掉電源、水閥等。11. 作業中生產品質自檢：11.1 顯影板11.1.1生產板型號、版本必須與MI符合；11.1.2顯影作業參數必須符合首板作業時的參數；作業指導書編 號LX-MEI-TD-004 版 次A.1頁13/15生效日2011-07-01名稱DES工藝規程11.1.3檢查板面是否有顯影不盡、殘膠、干膜起翹、短線、斷路、干膜壓不實、氣泡等不良現象；11.1.4單元內有效圖形必須符合MI要求，線寬、線距控制在要求

30、范圍內。11.2 蝕刻板11.2.1板面不允許出現開路、短路、過蝕、線細線粗、銅顆粒、板面藥水腐蝕、缺口、針孔、殘膠等；11.2.2線寬、線距控制在公差范圍內。12.安全操作：12.1 手上有水不可以操作電源和設備上的按鈕；12.2 開機之前必須確保所有的過濾器蓋已鎖緊，各藥水段頂門或側門已經關好，各藥水添加缸藥水充足，發動機無異常情況，管道無跑冒滴漏現象，否則嚴禁啟動機器；12.3在需要打開相關的玻璃門窗前必須先關閉相應的噴淋程式，另外在打開各藥水缸時還必須在關閉總電源后方可作業；12.4 開機之前必須確認抽風系統已經打開，以免氣體泄露影響身體健康和污染車間環境；12.5 機器須由指定的人操

31、作，操作者必須是經過培訓且考核合格的人員，其他人員一律不許私自操作機器，否則視作違規；12.6 加藥,換缸等接觸化學藥品的操作，需戴耐酸堿橡膠手套、穿好水鞋、防護圍裙防護眼鏡及防毒口罩等防護用品后方可作，嚴格按規定操作；加H2SO4時一定要緩慢加入,防止一次加入量過多,槽液升溫過快而燒毀槽體，固體化學物質一定要先溶解，再加入缸內；12.7 各種化學藥品對人體都有不同的危害，故添加要十分小心，如不慎傷及皮膚或眼睛，要用適量的水沖洗至少15分鐘，嚴重者送醫生處救治； 12.8 添加藥品之后，應將蓋口蓋好，確保密封，添加完的空瓶、空桶須將蓋子蓋好，放在指定廢品存放處，不可亂扔；12.9 設備維修或維

32、護時,開機需征得維修人員的同意,否則不得開機。13. 顯影點的測試（每周一、四，換缸后4小時內必須開始檢測，并做好記錄）13.1 取6塊經過貼膜未曝光的光銅板，尺寸最好400×300mm；13.2 按正常開機程序開機，并根據工藝要求將機速調好，然后將6塊板按序放入機中，待第6塊板完全進入顯影缸后，立即關閉噴淋，同時以相同的速度將板送出；作業指導書編 號LX-MEI-TD-004 版 次A.1頁14/15生效日2011-07-01名稱DES工藝規程13.3測量第一塊至第6塊最后顯影完全干凈的地方的長度,記錄其數值除以缸的長度（顯影缸長度為220CM）再乘以100%即為顯影點的百分數，顯影點控制在40%-60%。14. DES線故障的產生,原因分析和解決辦法：故障類型產生主要原因解決方法顯影不凈1.藥液溫度等參數沒達到規定要求1.確認溫度操作條件（2832）等參數；2.藥液失調2.分析確認碳酸根濃度；3.曝光能量過高3.做曝光尺檢查是否能量過高；4.傳動裝置清洗不干凈4.檢查傳動裝置是否清洗干凈；5.前工序停放時間過長或材