1、F微電子壓力傳感器微電子壓力傳感器聚合物薄膜聚合物薄膜硅硅壓敏電阻器壓敏電阻器吸濕膨脹吸濕膨脹電阻變化？電阻變化？微電子濕度傳感器微電子濕度傳感器硅硅Si基體基體硅尖錐硅尖錐玻璃玻璃熒光粉熒光粉電子電子電電場場發光發光機械機械部分部分傳感傳感執行執行控制部分控制部分電子學電子學MEMS微電子學微電子學Fabrication of Silicon Tips for Scanning Probe MicroscopyFabrication of Silicon Tips for Scanning Probe Microscopy High aspect ratio 60um trenchSTSDe

2、epRIEsystematFID ?微執行器：微馬達、微齒輪、微泵、微閥門、微執行器：微馬達、微齒輪、微泵、微閥門、微開關、微噴射器、微揚聲器、微諧振器等微開關、微噴射器、微揚聲器、微諧振器等?微型構件：微膜、微梁、微探針、微齒輪、微型構件：微膜、微梁、微探針、微齒輪、微彈簧、微腔、微溝道、微錐體、微軸、微微彈簧、微腔、微溝道、微錐體、微軸、微連桿等連桿等?微機械光學器件：微鏡陣列、微光掃描器、微機械光學器件：微鏡陣列、微光掃描器、微光閥、微斬光器、微干涉儀、微光開關、微光閥、微斬光器、微干涉儀、微光開關、微可變焦透鏡、微外腔激光器、光編碼器等微可變焦透鏡、微外腔激光器、光編碼器等?1、微傳感

3、器：、微傳感器：機械類：力學、力矩、加速度、速度、機械類：力學、力矩、加速度、速度、角速度角速度(陀螺陀螺)、位置、流量傳感器、位置、流量傳感器磁學類：磁通計、磁場計磁學類：磁通計、磁場計熱學類：溫度計熱學類：溫度計化學類：氣體成分、濕度、化學類：氣體成分、濕度、PH值和離值和離子濃度傳感器子濃度傳感器生物學類：生物學類：DNA芯片芯片?微機械光學器件：微鏡陣列、微光掃描器、微光閥、微機械光學器件：微鏡陣列、微光掃描器、微光閥、微斬光器、微干涉儀、微光開關、微可變焦透鏡、微外微斬光器、微干涉儀、微光開關、微可變焦透鏡、微外腔激光器、光編碼器等腔激光器、光編碼器等MirrorSupportStr

4、uctureSubstrateHingesTorsionHinges1stDOF2ndDOFForce-redirectingLinkage?理論基礎：隨著理論基礎：隨著MEMS尺寸的縮小，有些宏觀尺寸的縮小，有些宏觀的物理特性發生了改變，很多原來的理論基礎的物理特性發生了改變，很多原來的理論基礎都會發生變化，如力的尺寸效應、微結構的表都會發生變化，如力的尺寸效應、微結構的表面效應、微觀摩擦機理等等，面效應、微觀摩擦機理等等，微動力學微動力學微流體力學微流體力學微熱力學微熱力學微摩擦學微摩擦學微光學微光學微結構學微結構學?技術基礎：設計、工藝加工技術基礎：設計、工藝加工( (高深寬比多層高深寬比多層微結構微結構) )、微裝配工藝、微系統的測量等。、微裝配工藝、微系統的測量等。?應用研究：如何應用這些應用研究：如何應用這些MEMSMEMS系統也是一系統也是一門非常重要的學問。人們不僅要開發各種門非常重要的學問。人們不僅要開發各種制造制造M