1、干涉測試技術干涉測試技術cos22121IIIIIL2mL )2/1(mLminmaxminmaxIIIIK/ LM2)() 1(mm K 1 x 0 1 2 3 4 5 6 0 1 2 3 4 5 6 + m I 圖4-1 各種波長干涉條紋的疊加 + S0 S r -f 圖 4-2 等厚干涉儀中的擴展光源 圖4-3 光闌孔大小對干涉條紋對比度的影響 a) b) c) 如取對比度為如取對比度為0.9，可得光源的許可半徑，可得光源的許可半徑 rfhm2Knn21圖4-4 對比度K與兩支干涉光強比n的關系ImI1非期望的雜散光進入干涉場，會嚴重影響條紋對比度。非期望的雜散光進入干涉場，會嚴重影響條

2、紋對比度。設混入兩支干涉光路中雜散光的強度均為設混入兩支干涉光路中雜散光的強度均為 ，則，則Inmn Imax()121Inmn Imin()121Knnm21Km22Knn21EPVERMSEmax參考面HhnHhWNiiRMSENE1211n/ K2/2/BM2M1M2D1D21237456M1參考平面M2被測平面圖4-15 激光斐索型平面干涉儀基本光路圖h42hfd2h2h1Dmhhn)(212)rad( 212nDmDhh72. 0 2131max2 . 0222c)(nuDumuunDmrjrreAE sin22yrsin2yeAEjrr),(jooo),(yxeyxAEyeAEjr

3、roror2,EEEEEEEyxIyxyyxyyxyyxyeyxAAeyxAAyxAAeyxAeAeyxAeAyxI,j0r,j0r202r,j0jr,j0jr0000, ,yxmIyxt,yyxyxyyeAeyxmAeyxAmAeyxAAmAeAyxmIEyxtE2j2r,j0,j02rj202rrjrrt00, ,2rAyx,0 ),(j010),(),(yxeyxAyxA),(j0),(yxReRyxR211),(),(),(yxRyxAyxI),(),(j020),(),(yxyxeyxAyxA),(j0),(yxReRyxR222),(),(),(yxRyxAyxI),(),(),(

4、),(),(),(),(),(),(),(2),(),(),(),(*2*2*1*12222121yxRyxAyxAyxRyxRyxAyxAyxRyxAyxRyxAyxIyxIyxI),(),(),(),(),(),(2),(*2*121*22212yxAyxARyxAyxARyxAyxARyxH),(),(),(),(),(),(2),(),(*2*1221222212yxAyxARyxAyxARyxAyxARRyxRyxWH000jj02)( j0i022)1 (),(eeAReAeARyxW2),(cos4),(cos12),(),(),(2)( jj)( jj204*2220000yx

5、CyxCeeeeARyxWyxWyxI),(yx),(j00),(),(yxeyxAyxA),(j0),(yxReRyxR),(),(),(),(),(),(),(*22yxRyxAyxRyxAyxRyxAyxH),(j011),(),(yxeyxAyxA)( j020)( j020j20200)2( j200j200j20200*22111010100)()(),(),(),(),(),( ),(),(),(),(RRRReRAeRAeARAeRAeRAeARRyxRyxAyxRyxARyxARyxAyxRyxAyxWH10j20200j2004, 2)(),(eARAeRAyxW)cos(

6、)(2)(),(),(102020202022020204020*4, 24, 24, 2ARARARARAyxWyxWI)(J),(2020CzAyxIyxyvxuyxuvuudd)( j 2exp),(),(jkNknMjmkjunmu)/( j 2exp),(),(),(i),(),(nmbnmanmu),(i),(),(nmenmAnmumdLmmsinmmddLsin)(ddmdLLmmmm2sin2)(2)(cos)()2(cos)(2cos121)(2cos121),(cos)cos(),(222x,yt-EEx,ytEEx,ytEtEyxtEtEtyxItrtrtrtr),(c

7、os2/2/),(22yxtEEEEtyxitrtr )/1/(2),(),(00vttyxyx/2vfv2fv2nVfv tttttfNLLtvtvtf0000d22 2d2d2d 所以由于fffffffDD00ss() B A 1/4 波片 B A f1 f2 f 1 2 f f2 f1 f 1 f f 1 2 f f1 f f1 f f2 1/4 波片 圖4-35 平面鏡干涉系統光路圖 圖4-36 平面鏡干涉系統傾斜光路圖Waik Lli12exp()Wbik Lw x y22exp( , )I x y lababk w x ylii( , , )cos ( , )2222I x y l

8、aaklbkliii( , , )cossin01122iiiklyxkwabklyxkwabbalyxI2sin),(2sin22cos),(2cos2)(),(22),(2sin2),(2cos211220yxkwabbyxkwababaa111tan21),(abkyxwTiiiTiiiTiilkllyxITblkllyxITallyxITa 0 1 0 1 0 0d2sin),(2d2cos),(2d),(2niiiniiiniikllyxInbkllyxInalyxIna1111102sin),(22cos),(2),(2niiiniiikllyxInkllyxInkyxw1112cos),(22sin),(2tan21),(23,2, 02ikl),(),(),(),(tan21),(31241yxIyxIyxIyxIkyxwpniiipniiipniikllyxInpbkllyxInpalyxInpa1111102sin),(22cos),(2),(2npiiinpiiikllyxInpkllyxInpkyxw1112cos),(22sin),(2tan21),()(2sin),(21xIIxILA