1、中電科設備維護保養計劃為了確保生產的正常運行，正確地、更好地使用各類設備，并延長設備使用壽命，為此根據本公司的現有設備情況，特定如下維護保養計劃：第一部分設備維護保養通用規定一、設備的維護保養通過擦拭、清掃、潤滑、調整等一般方法對設備進行護理，以維持和保護設備的性能和技術狀況，稱為設備維護保養。設備維護保養的要求主要有四項：(1) 清潔設備內外整潔，各滑動面、絲杠、齒條、齒輪箱、油孔等處無油污，各部位不漏油、不漏氣，設備周圍的切削液、雜物、臟物要清掃干凈；(2) 整齊工具、附件、工件(產品)要放置整齊，管道、線路要有條理；(3) 潤滑良好按時加油或換油，不斷油，無干摩現象，油壓正常,油標明亮，

2、油路暢通，油質符合要求，油槍、油杯、油氈清潔；(4) 安全遵守安全操作規程，不超負荷使用設備，設備的安全防護裝置齊全可靠，及時消除不安全因素。設備的維護保養內容一般包括日常維護、定期維護、定期檢查和精度檢查，設備潤滑和冷卻系統維護也是設備維護保養的一個重要內容。設備的日常維護保養是設備維護的基礎工作，必須做到制度化和規范化，設備定期維護保養工作應納入車間責任制的考核內容。設備定期檢查是一種有計劃的預防性檢查，檢查的手段除人的感官以外，還要有一定的檢查工具和儀器，按定期檢查卡執行，定期檢查有人又稱為定期點檢。設備維護應按維護規程進行。設備維護規程是對設備日常維護方面的要求和規定，堅持執行設備維護

3、規程，可以延長設備使用壽命，保證安全、舒適的工作環境。其主要內容應包括：(1) 設備要達到整齊、清潔、堅固、潤滑、防腐、防凍、安全等的作業內容、作業方法、使用的工器具及材料、達到的標準及注意事項；(2) 日常檢查維護及定期檢查的部位、方法和標準；(3) 檢查和評定操作工人維護設備程度的內容和方法等。二、設備的三級保養制三級保養制度是逐步完善和發展起來的一種保養修理制，它體現了設備維修管理的重心由修理向保養的轉變。三級保養制內容包括：設備的日常維護保養、一級保養和二級保養。三級保養制是以操作者為主對設備進行以保為主、保修并重的強制性維修制度。(一) 設備的日常維護保養設備的日常維護保養，一般有日

4、保養和周保養。1. 日保養日保養由設備操作工人當班進行，認真做到班前四件事、班中五注意和班后四件事。班前四件事：明確當天任務，檢查交接班記錄。擦拭設備，按規定潤滑加油。檢查手柄位置和手動運轉部位是否正確、靈活，安全裝置是否可靠。低速運轉檢查傳動是否正常，潤滑、冷卻是否暢通。(1) 班中五注意：注意運轉聲音，設備的溫度、壓力、液位、電氣、液壓、氣壓系統，儀表信號，安全保險是否正常。(2) 班后四件事：關閉開關，所有手柄放到零位。清除臟物，擦凈設備導軌面和滑動面上的油污，并加油；清掃工作場地，整理附件、工具；填寫交接班記錄和運轉臺時記錄，辦理交接班手續。2. 周保養周保養由設備操作工人在每周末進行

5、，保養時間為：一般設備2h,特種設備4ho(1) 外觀擦凈設備導軌、各傳動部位及外露部分，清掃工作場地。達到內外潔凈無死角、無銹蝕，周圍環境整潔。(2) 操縱傳動檢查各部位的技術狀況，緊固松動部位，調整配合間隙。檢查互鎖、保險裝置。達到傳動聲音正常、安全可靠。(3) 液壓潤滑清洗油線、防塵氈、濾油器，油箱添加油或換油。檢查液壓系統，達到油質清潔，油路暢通，無滲漏，無研傷。(4) 電氣系統擦拭電動機、蛇皮管表面，檢查絕緣、接地，達到完整、清潔、可靠。(二) 一級保養一級保養是以操作工人為主，維修工人協助，按計劃對設備局部拆卸和檢查，清洗規定的部位，疏通油路、管道，更換或清洗油線、過濾器，調整設備

6、各部位的配合間隙，緊固設備的各個部位。一級保養所用時間為4-8h,一保完成后應做記錄并注明尚未清除的缺陷，車間機械員組織驗收。一保的范圍應是企業全部在用設備，對重點設備應嚴格執行。一保的主要目的是減少設備磨損，消除隱患、延長設備使用壽命，為完成到下次一保期間的生廣任務在設備方面提供保障。（三）二級保養二級保養是以維修工人為主，操作工人參加來完成。二級保養列入設備的檢修計劃，對設備進行部分解體檢查和修理，更換或修復磨損件，清洗、換油、檢查修理電氣部分，使設備的技術狀況全面達到規定設備完好標準的要求。二級保養所用時間為7天左右。二保完成后，維修工人應詳細填寫檢修記錄，由車間機械員和操作者驗收，驗收

7、單交設備動力科存檔。二保的主要目的是使設備達到完好標準，提高和鞏固設備完好率，延長大修周期。實行蘭級保養制”，必須使操作工人對設備做到蘭好”、四會”、四項要求”并遵守五項紀律”。三級保養制突出了維護保養在設備管理與計劃檢修工作中的地位，把對操作工人蘭好”、四會”的要求更加具體化，提高了操作工人維護設備的知識和技能。三級保養制在我國企業取得了好的效果和經驗，由于三級保養制的貫徹實施，有效地提高了企業設備的完好率，降低了設備事故率，延長了設備大修理周期、降低了設備大修理費用，取得了較好的技術經濟效果。(一) 三、設備的使用維護要求四定工作定使用人員。按定人定機制度，專用設備操作工人應選擇本工種中責

8、任心強、技術水平高和實踐經驗豐富者，并盡可能保持較長時間的相對穩定；定檢修人員。因專用設備較多，根據本公司條件，可組織設備專業維修(一般由生產廠家)，專門負責對專用設備的檢查、精度調整、維護、修理；定操作規程。專用設備應分機型編制操作規程，加以顯示并嚴格執行；(1) 定備品配件。根據各種專用設備在生產中的作用及備件來源情況，確定儲備定額，一般由生產廠家提供備件，并優先解決。(二) 精密設備、儀器使用維護要求(1) 必須嚴格按說明書規定安裝設備；(2) 對環境有特殊要求的設備(恒溫、恒濕、防震、防塵)應采取相應措施，確保設備精度性能；(3) 設備在日常維護保養中，不許拆卸零部件，發現異常立即停車

9、，不允許帶病運轉；(4) 嚴格執行設備說明書規定的操作規范。(5) 非工作時間應加護罩，長時間停歇，應定期進行擦拭，潤滑；附件和專用工具應有專用柜架擱置，保持清潔，防止研傷，不得外借四、動力設備的使用維護要求動力設備是企業的關鍵設備，在運彳了中有局溫、局壓、易燃、有毒等危險因素，是保證安全生產的要害部位，為做到安全連續穩定供應生產上所需要的動能，對動力設備的使用維護應有特殊要求：(1) 運行操作人員必須事先培訓并經過考試合格；(2) 必須有完整的技術資料、安全運行技術規程和運行記錄；運行人員在值班期間應隨時進行巡回檢查，不得隨意離開工作崗位；(3) 在運行過程中遇有不正常情況時，值班人員應根據

10、操作規程緊急處理，并及時報告上級；(4) 保證各種指示儀表和安全裝置靈敏準確，定期校驗。備用設備完整可靠；(5) 動力設備不得帶病運轉，任何一處發生故障必須及時消除；(6) 定期進行預防性試驗和季節性檢查；(7) 經常對值班人員進行安全教育，嚴格執行安全保衛制度。五、提高設備維護水平的措施為提高設備維護水平應使維護工作基本做到三化，即規范化、工藝化、制度化。規范化就是使維護內容統一，哪些部位該清洗、哪些零件該調整、哪些裝置該檢查，要根據各企業情況按客觀規律加以統一考慮和規定。工藝化就是根據不同設備制訂各項維護工藝規程，按規程進行維護。制度化就是根據不同設備不同工作條件，規定不同維護周期和維護時

11、間，并嚴格執行。第二部分設備維護保養的專用部分一、多線切割機1.要求：因工作環境惡劣，維護保養顯得尤為重要。在生產過程中隨著工時的增加，各部機構和零件受到切削液粘接、摩擦、磨損、震動、沖擊、碰撞及事故等諸多因素的影響，技術性能會有所降低，所以必須進行全面的、徹底的維護。2.維護項目：主輾的更換在每次切割前，請清理主車昆上附著異物（硅棒粘接膠、硅渣等）。主輾在正常使用時可工作500小時，請及時開糟更新主輾。更換主輾后用白分表測雖主輾兩端跳動。保證使用主輾跳動在技術要求范圍內。皮帶的更換設備運轉過程中電機同步帶產生異常嘯叫聲，說明皮帶漲緊力過大，請按照說明書重新漲緊同步帶。如發現同步帶有破損、龜裂

12、現象請更換。砂漿的更新、循環請操作者根據實際切割情況及時更新、更換砂漿。在設備不工作時，請關閉砂漿泵體出口主球閥，打開側路小球閥，讓砂漿進行內部循環，以防砂漿塊結。如果長時間不進行加工，請開啟砂漿泵，打出砂漿，清洗砂漿罐。并清洗設備。設備的清洗本設備需要定期清洗，清洗前請開啟壓縮氣。設備砂漿罐注滿水，保護主軸，謹防水槍激流注入主軸內部，開啟砂漿泵，將設備內部淤積砂漿清理干凈。清洗干凈之后吹干設備腔體及管道內部。防止殘留水分混入砂漿，影響切片質H。導輪更換本設備導輪使用壽命為1000小時，請及時更換導糟或整體更換導輪，切勿使用廢棄導輪。壓縮空氣系統：氣路系統是本設備正常運轉的保證之一，在設備砂漿

13、開啟前優先開啟氣源。設備砂漿停止后8小時方可關閉氣源。氣源系統由外圍氣站等組成，需定期每天檢查氣站各接口、壓力表、氣泵、配套電源等相關元器件。確保其安全、可靠。氣站潤滑油應按照該設備要求定期添加。壓縮氣體過濾系統聚集的冷凝水應及時排放。制冷系統的維護本設備水路系統影響著設備加工硅片的質雖，開啟設備前檢查冷水箱水位是否在水位范圍內。冷卻水需定期更換，添加。定期每天檢查水路系統有無滲漏，如有，及時密封。水溫的調整：按照MCW350C精密水冷卻機使用說明書調整水溫至13CO電氣控制系統的維護部件名稱維護和保養注總事項運動控制器定期檢查：有無粉塵或導電性物體侵入機內；插頭或接線連接是否口靠通電時小要觸

14、摸端子。關掉電源后再進行清掃、擰緊端子和裝卸連接電纜的工作。PLC定期檢查：有無粉塵或導電性物體侵入機內；有無接線或端子松動及其它異常。通電時不要觸摸端子。關掉電源后再進行清掃、擰緊端子和裝卸連接電纜的工作觸摸屏要保持顯示屏的干凈，保護膜損壞后要及時更換。不要用尖銳物體觸及顯示屏；伺服放大器定期檢查接插頭有無松動，電源是否正常檢查時要關閉電源，參數出廠前已設置好，不要隨便設置，以免出現故障張力表檢查無鋼絲和外部載荷的情況下輸出是否為零檢查張力傳感器外罩是否與設備干涉；檢查和調整外罩時設備必須停止運行；調整好外罩后，通過張力表面板“AutoZero”鍵回今。整機檢查電源和接地措施是否正常；接插頭

15、是否松動；元器件、開關是否正常；檢查時要關閉電源，以免出現危險1、全自動硅片脫膠機、清洗機1、要求：1斷開總電源前，應先將其它開關全部斷開。2糟內沒有清洗液時，不能開啟超聲和加熱器。3清洗件不能超出洗籃的邊緣。4舊液換新液時的排液，加熱器開關及超聲超波開關應處于“OFF”位置，并應在常溫下進行。5循環系統的調節閥位置調好后，一般不應再調動，如使用條件變化，可根據各自情況重新調動。6如循環泵超負荷，熱繼頻繁動作時，應檢查過濾芯是否合適或是否堵塞。7震板表面不能劃傷、撞擊或放置物品。8當糟內溶劑因加熱器干燒或使用時間過長等原因發生變質時，應及時將溶劑排出糟外，并將糟內清洗干凈，以免變質溶劑腐蝕糟體

16、。9若工件掉入清洗糟內，應及時取出，以免磨損卸底。10當糟內沉積物過多時，應排出清洗液，手工掏凈卸底沉積物及清理加熱器的沉積物。11正常使用情況下，必須定期檢查機器的完好程序，特別是機械手傳動部分的行走機構，定時加潤滑油，保證吊臂的平行。12開機使用進程中，裝籃與卸籃處必須有專人看管，及時取走卸料工位處的洗籃，避免故障發生。13洗籃應平穩正確及時地放在上料工位，最好不要歪斜，不要反復拿出放下（在一次上料中）。14定期停機檢查各部分緊固螺栓，如發現松動應重新緊固方可繼續使用。15若傳動部分有異響，應著重檢查各部位軸承及電機。16禁止使用可燃性清洗劑。2、維護項目：1及時清除震板上的沉積贓物；2定

17、期清除超聲波發生器內塵物,保持通風散熱良好。3傳動裝置中采用較多滾動軸承，每1-2個月應加注潤滑油一次。4每月定時檢查機械臂部件的螺絲5每月定時對機械臂的滾珠絲杠、直線導軌、齒輪加注潤滑油6每季度定期檢查清洗籃的尺寸是否準確。7每月定期檢查機械手鏈條（用于拉鏈條，有松動要進行調節）螺釘及氣卸門活動關節螺釘的松緊。三、插片機1每班班次下班前必須清洗水箱、濾網。2每月定時對絲杠加注潤滑油。四、甩干機甩干機屬于精密超凈設備，在使用中要注意維護和保養，常規的維護和保養按以下要求進行。1、每天檢查腔體、門蓋的密封情況，如密封圈被污染或進入異物（如碎片顆粒等）應及時進行清除，如密封不好應檢查門位置是否變動

18、，密封圈是否完好。2、每天檢查氮氣、去離子水供給壓力及流雖，如發現超出使用范圍要求，要及時調整。3、每周一次檢查氮氣、去離子水等管路系統是否出現“漏水”“漏氣”現象，一旦發現應及時排除。4、工作中隨時檢查轉架及轉架上的固定桿、盒子是否松動，轉架安裝是否正確。5、每周一次檢查氮氣壓力傳感器，如發現氣路部分工作異常、氮氣加熱部分沒有工作，或者烘干氮氣噴嘴處的流雖明顯減少，應調整或更換壓力傳感器、相應的氣控閥。、6、每天檢查片架載體及電機的工作情況，如發現工作時震動明顯增大、聲音出現異常、電機發熱、速度差異等現象，應通知廠商來人檢查和維修。7、設備在做定期檢查和保養時，應注意設備的清潔，不要造成污染

19、。一旦發現應及時清除。檢查、維修時應仔細工作，不要造成諸如密封圈損壞、安裝失誤等事故發生。8、設備外觀要經常擦拭保養，如出現被腐蝕性液體污染等現象要及時清潔，以防長時間存留損壞設備外觀表面。五、制冷機的維護與保養1、設備的維護保養應制定專人處理，并建立維護保養記錄檔案2、每周檢查一次末端裝置的過濾網。如用清水清洗不凈時，可在清水中加入清洗劑，洗凈后再用清水清洗多次，以免清洗劑附著于設備上造成化學腐蝕。3、每月進行一次全機檢查，內容有：檢查制冷系統壓力是否正常；電氣線路是否有接觸不良、發熱、老化等現象；各緊固螺絲是否松動；有無異常的噪音；水過濾器是否該清潔或換新(水流雖降低或水泵運轉電流下降表示

20、有堵塞)；檢查循環水質是否符合要求。六、空壓機的維護和保養1、運轉500小時：(1) 空氣濾芯取下清潔，用0.2Mp以下低壓空氣由內向外吹干凈(2) 新機使用后第一次換油過濾器(3) 更換冷卻液(4) 清潔空氣濾水杯的濾芯清潔泄水閥濾芯2、運轉1000小時：(1) 檢查進氣閥動作及活動部位，并加注油脂(2) 清潔空氣濾清器(3) 監視管接頭緊固螺栓及緊固電線端子螺絲。4、運轉2000小時或6個月(1)檢查各部管路(2)更換空氣濾芯(3)更換油過濾器(4)更換空氣濾水杯的濾芯(5)更換自動泄水閥濾芯(6)補充電機的融化脂5、運轉3000小時或1年(1) 檢查進氣閥動作情況及閥板是否關嚴(2) 檢

21、查所有的電磁閥。(3) 檢查各保護壓差開關是否動作正常。(4) 更換油細分離器。(5) 檢查壓力維持閥。(6) 清洗冷卻器，更換O型環。(7) 更換空氣濾芯、油濾芯。(8) 檢查起動器之動作。6、每6000小時：(1) 清洗冷卻液路系統(2) 更換復盛螺桿空壓機高級冷卻液(排氣溫度在85度以下的更換周期)。7、每20000小時或4年：(1) 更換機體軸承、各油封，調整間隙。(2) 測雖電動機絕緣，應在1MQ以上。空壓機電動機的維護和保養使用環境應保持干燥，電動機表面應保持清潔，進風口不應受塵土，纖維等雜物的阻礙。當電動機的熱保護及短路保護連續發生動作時，應檢查故障來自電動機，還是超負荷，或保護

22、裝置定值太低，清除故障后，方可投入運行。應保證電動機軸承在運行過程中的良好潤滑，運行2000小時應補充潤滑脂，潤滑脂選用ESSO公司生產的UNIREXN2油脂,其雖由下式決定。Gp=補充油脂時的注入m,gD=軸承外徑，mmB=軸承總寬度，mm因油脂隨溫度升高會加速老化，故溫度超過70C時，每升高15C，補充間隔必須減半，但最終溫度不能超過120CO溫度低于70C時，間隔可適當延長，但即使在低溫運行時，其間隔也不應超過3000小時。注油時，應用注油槍將油注入油杯。在注油前，先將排油管上的油堵取下，并接上塑料管將油引出機外，待注油完畢，將塑料管取掉，油堵擰緊。七、凈水設備的維護和保養1、清洗箱的使

23、用與維護清洗箱的作用是主機的電導率達不到三15us/cm時，用來洗膜時用，材料為PE,亦可為其它材料，為保持清潔，應定期進行清洗，在洗膜配液時，必須先將水箱清洗干凈，洗膜結束須將水箱中剩余酸排凈，以備下次使用。2、洗膜隨著運轉時間增加，膜表面將附著沉淀物，影響出水雖，導致脫鹽率明顯降低，電導率偏高，產水雖逐漸下降等癥狀時，必須進行清洗反滲透膜原件。一般是膜運行3個月左右，（即累計約2200小時）為保持水質，必須進行洗膜，當電導率上升10%,產水雖下降10%時，就要清洗膜。一般情況下膜正常運行2年后，（即累計約17000）性能下降，不能用了，必須進行更換。3、洗膜時的注意事項：配置清洗溶液：一般

24、使用反滲透產品水(至少是軟化水)配置成專用溶液，并調節至所需溫度：3040Co(1) 反滲透進水入口處最大壓力為60psi;單只膜原件最大壓降1015psi;以防止膜卷突出，將置換出的水排入下水道。(2) 將最初2%已污染的化學清洗溶液排入下水道。(3) 低流雖循環：循環時間約為515分鐘，每根壓力容器流雖為11.4升/分鐘，盡雖減少沖洗下來的污染物對進水管的阻塞。(4) 中等流雖的循環：循環時間為515分鐘，每根壓力容器流雖為11.4升/分鐘。(5) 大流雖的循環：循環時間為3060分鐘，每根壓力容器流雖為30.337.9升/分鐘。(6) 侵泡：輕度污染可侵泡12小時；嚴重污染需侵泡過夜。(

25、7) 沖洗：使用反滲透產品水沖洗，并將水排入下水道，反復沖洗，直至清洗液全部排出，出水澄清為止。3、混床的維護在離子交換器工作一段時間后，樹脂的交換能力被水中的鹽類陽陰離子所飽和時，離子交換樹脂不再發生置換反應，離子交換器出口水質發生明顯的變化，此時離子交換器就應停止運行，從而對離子交換樹脂進行處理，以恢復樹脂的交換能力，陽樹脂用鹽酸溶液再生，陰樹脂用氫氧化鈉溶液再生。4、常用配件更換周期(1) 濾芯約2個月更換一次活性炭處理水雖是其體積約8000倍時需更換一次5、設備在操作中應注意事項：(1) 保證反滲透膜的進水水質濁度三1NTU或SDI值三5,給水溫度三45C,給水中不含有無機或有機的可能

26、對膜造成物理及化學損傷的有害物質任何情況下，膜原件均不允許出現反壓，即透過水的水壓大于濃水側的壓力(2) 在標準條件下系統性能下降10%,或當顯然發生了結垢或污堵時應及時進行清洗(3) 每次設備停機之前，應對反滲透膜進行低壓大流雖沖洗，減少污染物在膜表面的結垢反滲透膜裝置如出水水質電導率大于設計要求時，需對膜原件進行清洗，保證清洗液ph值等于2(4) 反滲透膜裝置如需長時間停機(10田以上)，則需往膜內灌注專用藥劑，應與廠家聯系(5) 反滲透系統應注意平時的維護，特別是預處理系統每日的反沖洗。應在規定時間內或根據其污染狀況進行預處理系統的處理，包括石英砂、活性炭、樹脂、濾芯的更換。八、冷凍式干

27、燥機的維護與保養1、設備運行時檢查冷媒低壓表讀數是否在正常范圍內。空氣系統中，冷媒低壓過低將會導致結霜或結冰，使壓力損失增大并可能導致壓縮機損壞。壓力過高將使系統的制冷雖減少。2、自動排水器的保養；應每天檢查自動排水情況，定期清洗排水器內濾網，以免堵塞而失去排水作用；3、電動排水器的保養；建議您每次檢查壓縮空氣系統時，順便按幾下定時器上的手動測試按鈕(TEST)檢查電子排水器是否能正常得電排水。在使用電子排水器的過程中，應特別注意以下幾點：(1) 定時器上TEST薄膜開關是手動測試按鈕，每按動一次，排水器按照設定時間排放一次。此按鈕在H常工作中用于隨時檢查排水情況。(2) 電子排水器在使用中，可能會出現電磁閥關閉不嚴的情況，表現為一直漏氣，通常該故障并非排水器本身質雖所致，其原因是冷凝水太臟，其中的微小固體顆粒進入閥芯與芯殼之間的間隙，將閥芯卡住。