1、第一章概論第一節精密與特種加工的產生背景機械制造面臨著一系列嚴峻的任務：(1)解決各種難切削材料的加工問題。解決各種特殊復雜型面的加工問題。解決各種超精密、光整零件的加工問題特殊零件的加工問題。第二節精密與特種加工的特點及其對機械制造領域的影響精密與特種加工是一門多學科的綜合高級技術；精密加工包括微細加工、光整加工和精整加工等，與特種加工關系密切。特種加工是指利用機、光、電、聲、熱、化學、磁、原子能等能源來進行加工的非傳統加工方法(NTM,Non-TraditionalMachining),它們與傳統切削加工的不同特點主要有：主要不是依靠機械能；刀具的硬度可以低于被加工工件材料的硬度；在加工過

2、程中，工具和工件之間不存在顯著的機械切削力作用精密與特種加工技術引起了機械制造領域內的許多變革：提高了材料的可加工性。改變了零件的典型工藝路線。大大縮短新產品試制周期。對產品零件的結構設計產生很大的影響。對傳統的結構工藝性好與壞的衡量標準產生重要影響。第三節精密與特種加工的方法及分類1.加工成形的原理分為去除加工、結合加工、變形加工三大類。去除加工又稱為分離加工，是從工件上去除多余的材料。結合加工是利用理化方法將不同材料結合在一起。又可分為附著、注入、連接三種。變形加工又稱為流動加工，是利用力、熱、分子運動等手段使工件產生變形，改變其尺寸、形狀和性能2.加工方法機理按機理精密與特種加工分為傳統

3、加工、非傳統加工、復合加工。第四節精密與特種加工技術的地位和作用先進制造技術已經是一個國家經濟發展的重要手段之一。發展先進制造技術是當前世界各國發展國民經濟的主攻方向和戰略決策，同時又是一個國家獨立自主、繁榮富強、經濟持續穩定發展、科技保持先進領先的長遠大計。從先進制造技術的技術實質而論，主要有精密、超精密加工技術和制造自動化兩大領域。精密與特種加工技術水平是一個國家制造工業水平的重要標志之一。精密與特種加工技術已經成為國際競爭中取得成功的關鍵技術。產品的實際制造，必然要依靠精密加工技術。第二章金剛石刀具精密切削加工第一節概述精密與超精密加工和制造自動化是先進制造技術的兩大領域。加工精度在0.

4、11pm,表面粗糙度Ra在0.020.1pm之間的加工稱為精密加工；加工精度高于0.1(_m,表面粗糙度Ra小于0.01m的加工稱為超精密加工。一、超精密加工的難點精度難以控制；剛度和熱變形影響；去除層薄，切應力大；猶如對不連續體進行切削。二、超精密加工的方法按加工方式分：切削加工、磨料加工、特種加工和復合加工按加工機理和特點分：去除加工、結合加工和變形加工還可分為精選word范本，供參考!傳統加工、非傳統加工和復合加工三、超精密加工的實現條件超精密加工是多學科交叉的綜合性高新技術超精密加工的機理與工藝方法；超精密加工工藝裝備；超精密加工工具；超精密加工中的工件材料；精密測量及誤差補償技術；超

5、精密加工工作環境、條件等。在超精密加工的中，必須綜合考慮以上因素第二節超精密機床及其關鍵部件一、典型超精密機床超精密加工對機床的基本要求：高精度高剛度高穩定性高自動化大型光學金剛石車床精選word范本，供參考！LODTMFG-001超精密機床1二向OAGM2500大型超精密機床AHNIO型高效專用車削、磨削超精密機床二、超精密機床的主軸部件主軸部件是保證超精密機床加工精度的核心。超精密加工對主軸的要求是極高的回轉精度，轉動平穩，雙半球空氣軸承主軸徑向一推力空 氣靜壓軸承主軸球形一徑向 空氣軸承主軸主軸的驅動方式柔性聯軸器驅動內裝式同軸電動機驅動超精密機床主軸和軸承的材料應考慮以下主要因素：耐磨

6、損；不易生銹腐蝕；熱膨脹系數小；材料的穩定性好。制造空氣主軸和軸承的材料主要有經表面氮化和低溫穩定處理的38CrMoAl氮化鋼；不銹鋼；多孔石墨和軸承鋼。另外還有錮鋼、花崗巖、微晶玻璃和陶瓷等三、精密導軌部件超精密機床的總體布局T形布局雙v形的,坐標十字形布局花崗巖靜壓導軌12a)氣浮導軌T7777777777777777精選word范本，供參考!床身及導軌的材料常用的床身及導軌材料有優質耐磨鑄鐵、花崗巖、人造花崗巖等。微量進給裝置超精密機床的進給系統一般采用精密滾珠絲杠副、液體靜壓和空氣靜壓絲杠副。高精度微量進給裝置則有電致伸縮式、彈性變形式、機械傳動或液壓傳動式、熱變形式、流體膜變形式、磁

7、致伸縮式等。目前高精度微量進給裝置的分辨力可達到0.0010.01g。精密和超精密微位移機構應滿足以下設計要求：精微進給和粗進給分開運動部分必須是低摩擦和高穩定度的 末級傳動元件必須有很高的剛度。 內部連接必須可靠，盡量采用整體結構或剛性連接。工藝性好，容易制造具有好的動特性。能實現微進給的自動控制壓電和電致伸縮微進給裝置機械結構彈性變形微量進給裝置第五節金剛石刀具的結構衡量金剛石刀具質量的標準：能否加工出高質量的超光滑表面；能否有較長的切削時間保持刀刃鋒銳。設計金剛石刀具時最主要問題有三個:確定切削部分的幾何形狀；選擇合適的晶面作為刀具的前后面；確定金剛石在刀具上的固定方法和刀具結構金剛石刀

8、具切削部分的幾何形狀刀頭形式金剛石刀具刀頭一般采用在主切削刃和副切削刃之間加過渡刃。國內多采用直線修光刃，國外標準的金剛石刀具，推薦的修光刃圓弧半徑R=0.53mm。金剛石刀具的主偏角一般為30?90?以45柱偏角應用最為廣泛前角和后角口一廠二特殊強位塘根據加工材料不同，金一剛石刀具的前角可取0?5?七寬度切j后角一般可取5?6?美國EIContour精密刀具公司的標準金剛石車刀結構如上圖所示該車刀采用圓弧修光刃，修光刃圓弧半徑R=0.51.5mm。后角采用10?,刀具前角可根據加工材料由用戶選定一種可用于車削鋁合金、銅、黃銅的通用金剛石車刀結構如右圖所示。可獲得粗糙度Ra0.020.005以

9、的表面。:、選擇合適的晶面作為金剛石刀具前、后面三、金剛石刀具上的金剛石固定方法(1)機械夾固用粉末冶金法固定使用粘結或釬焊固定國內外的金剛石刀具使用者一般都不自己磨刀；Sumitomo公司推出一次性使用不重磨的精密金剛石刀具第三章精密與超精密磨料加工黑色金屬、硬脆材料的精密與超精密加工，主要是應用精密和超精密磨料加工。所謂精密和超精密磨料加工，就是利用細粒度的磨粒和微粉對黑色金屬、硬脆材料等進行加工，以得到高加工精度和低表面粗糙度值。精密和超精密磨料加工可分為固結磨料和游離磨料加工兩大類。第一節精密磨削精密磨削是指加工精度為10.1師、表面粗糙度為Ra0.20.025叩的磨削方法。、精密磨削

10、機理靠砂輪的具有微刃性和等高性的磨粒實現的微刃的微切削作用砂輪磨粒銳利半鈍化鈍化激力微刃的等高切削作用微刃的滑擠、摩擦、拋光作用精選word范本，供參考！精選word范本，供參考!二、磨削用量三、精密磨削砂輪1 .砂輪磨料精密磨削時所用砂輪的磨料以易于產生和保持微刃及其等高性為原則。鋼件及鑄鐵件，以采用剛玉磨料為宜。碳化硅磨料主要應用于有色金屬加工。2 .砂輪粒度粗粒度的微切削作用；細粒度的摩擦拋光作用3 .砂輪結合劑超精密加工用金屬類、陶瓷類結合劑四、精密磨削中的砂輪修整有單粒金剛石修整、金剛石粉末燒結型修整器修整次數。五、超精密磨削超精密磨削是指加工精度達到或高于0.1師、表面粗糙度低于R

11、a0.025Mm的砂輪磨削方法，適宜于對鋼、鐵材料及陶瓷、玻璃等硬脆材料的加工。鏡面磨削是屬于精密磨削和超精密磨削范疇的加工，是指加工表面粗糙度達到Ra0.020.01g、表面光澤如鏡的磨削方法。影響超精密磨削的因素有：超精密磨削機理、被加工材料、砂輪及其修整、超精密磨床、工件的定位夾緊、檢測及誤差補償、工作環境、操作水平等。超精密磨削需要一個高穩定性的工藝系統，對力、熱、振動、材料組織、工作環境的溫度和凈化等都有穩定性的要求，并有較強的抗擊來自系統內外的各種干擾的能力。1.超精密磨削機理單顆粒磨削的切入模型如圖所示。說明:微小磨粒精選word范本，供參考!可視為一彈性系統平面磨削的切屑形狀如

12、圖所示磨削過程分為彈性區、塑性區、切削區、塑性區，最后為彈性區存在微切削作用、塑性流動、彈性破壞作用和滑擦作用磨削狀態與磨削系統的剛度密切相關2.超精密磨削工藝超精密磨削的砂輪選擇、砂輪修整、磨削液選擇等問題與精密磨削和超硬磨料砂輪磨削有關問題類同。超精密磨削的磨削用量。六、超硬磨料砂輪磨削超硬磨料砂輪磨削主要是指用金剛石砂輪和立方氮化硼砂輪加工硬質合金、陶瓷、玻璃、半導體材料及石材等高硬度、高脆性材料。其突出特點為： 磨削能力強，耐磨性好，耐用度高，易于控制加工尺寸及實現加工自動化。 磨削力小，磨削溫度低，加工表面質量好，無燒傷、裂紋和組織變化。磨削效率高。加工成本低。1 .超硬磨料砂輪磨削

13、工藝(1)磨削用量冷卻性、磨削液：要求磨削液有良好的潤滑性、清洗性和滲透性。2 .超硬磨料砂輪修整修整是整形和修銳的總稱。整形是使砂輪具有一定精度要求的幾何形狀；修銳是去除磨粒間的結合劑，使磨粒突出結合劑一定高度，形成良好的切削刃和足夠的容屑空間。超硬磨料砂輪修整的方法：車削法；磨削法;滾壓擠軋法；噴射法；電加工法；超聲波振動修整法。第二節精密研磨與拋光一、研磨加工機理精密研磨屬于游離磨粒切削加工，是在剛性研具上注入磨料，在一定壓力下，通過研具與工件的相對運動，借助磨粒的微切削作用，除去微量的工件材料，以達到高級幾何精度和優良表面粗糙度的加工方法1 .硬脆材料的研磨硬脆材料研磨的加工模型如圖所

14、示。研磨磨粒為1m的氧化鋁和碳化硅等。2 .金屬材料的研磨金屬材料研磨相當于普通切削和磨削的切削深度極小時的狀態:、拋光加工機理拋光是指用低速旋轉的軟質彈性或粘彈性材料拋光盤，或高速旋轉的低彈性材料拋光盤，加拋光劑,具有一定研磨性質地獲得光滑表面的加工方法.拋光使用的磨粒是1m以下的微細磨粒拋光加工模型如圖3-9所示拋光加工是磨粒的微小塑性切削作用和加工液的化學性溶析作用的結合。三、精密研磨、拋光的主要工藝因素精密研磨拋光的主要工藝因素如表3-5所示在一定的范圍內，增加研磨壓力可提高研磨效率超精密研磨對研磨運動軌跡有以下基本要求：工件相對研磨盤作平面平行運動，使工件上各點具有相同或相近的研磨行

15、程。工件上任一點不出現運動軌跡的周期性重復。避免曲率過大的運動轉角，保證研磨運動平穩保證工件走遍整個研磨盤表面，以使研磨盤磨損均勻，進而保證工件表面的平面度。及時變換工件的運動方向，以減小表面粗糙度值并保證表面均勻一致。四、研磨盤與拋光盤1.研磨盤研磨盤是涂敷或嵌入磨料的載體。研磨對研磨盤加工面的幾何精度要求很高。研磨盤材料硬度要低于工件材料硬度，且組織均勻致密、無雜質、無異物、無裂紋和無缺陷，并有一定的磨料嵌入性和浸含性。常用的研磨盤材料有鑄鐵、黃銅、玻璃等。研磨盤的結構要具有良好的剛性、精度保持性、耐磨性、排屑性和散熱性。為了獲得良好的研磨表面，常在研磨盤面上開槽。開槽的目的為：存儲多余的

16、磨粒；作為向工件供給磨粒的通道；作為及時排屑的通道。固著磨料研磨盤是一種適用于陶瓷、硅片、水晶等脆性材料精密研磨的研具，具有表面精度保持性好、研磨效率高的優點。2.拋光盤拋光盤平面精度及其精度保持性是實現高精度平面拋光的關鍵。五、研磨劑與拋光劑對研磨用磨粒的基本要求：形狀、尺寸均勻一致；能適當地破碎，以使切削刃鋒利；熔點高于工件熔點；在研磨液中容易分散。對于拋光粉用磨粒，除上述要求外，還要考慮與工件材料作用的化學活性。研磨拋光加工液主要作用是冷卻、潤滑、均布研磨盤表面磨粒及排屑。對研磨拋光液的要求： 有效地散熱，以防止研磨盤和工件熱變形; 粘附低，以保證磨料的流動性;不污染工件； 物理、化學性

17、能穩定，不分解變質;能較好地分散磨粒六、非接觸拋光非接觸拋光是指在拋光中工件與拋光盤互不接觸，依靠拋光劑沖擊工件表面，以獲得加工表面完美結晶性和精確形狀的拋光方法，其去除量僅為幾個到十幾個原子級。1 .彈性發射加工彈性發射加工是指加工時研具與工件互不接觸，通過微粒子沖擊工件表面，對物質的原子結合產生彈性破壞，以原子級的加工單位去除工件材料，從而獲得無損傷的加工表面。彈性發射加工原理彈性發射加工方法如 圖所示對加工頭和工作臺實 施數控，可實現曲面加 精選word范本，供參考！工。EEM的數控加工裝置如圖3-11所示。2 .浮動拋光浮動拋光裝置如圖所示拋光機理超精密拋光盤的制作是實現浮動拋光加工的關鍵3 .動壓浮離拋光動壓浮離拋光平面非接觸拋光裝置如圖所示工作原理加工過程中無摩擦熱7和工具磨損，標準平面不會變化該方法主要用于半導體基片和各種功能陶瓷材料及光學玻璃平晶的