1、1 目的指導生產(chǎn)系統(tǒng)防靜電管理，以確保生產(chǎn)系統(tǒng)中所有關(guān)鍵防靜電工序能滿足達到國家規(guī)定的防靜電要求。預防由于靜電影響而使產(chǎn)品或用于產(chǎn)品的電子元器件損壞或早期失效，以達到改善產(chǎn)品質(zhì)量、性能和可靠性。2 范圍本標準適用于對影碟機分廠生產(chǎn)系統(tǒng)材料或產(chǎn)品與防靜電有關(guān)的各個環(huán)節(jié)，包括包裝、運輸、搬運、貯存、檢驗、成型、安裝、組裝、維修等物流過程。3 職責品質(zhì)部：負責參與防靜電管理檢驗標準的擬訂與維護，對生產(chǎn)系統(tǒng)靜電防護工作進行檢查、監(jiān)督，并定期組織靜電防護管理工作檢討。工程部：制定本標準并進行相應防靜電設(shè)施安裝、管理，并對生產(chǎn)人員進行防靜電相關(guān)工作指導。生產(chǎn)部：負責防靜電設(shè)施及檢查儀器的配布，并按照工程、

2、品質(zhì)相關(guān)要求執(zhí)行靜電防護管理相關(guān)工作。4 定義4.1 靜電 物體表面過剩或不足的靜止電荷。有正電荷和負電荷之分。4.2 靜電放電（ESD）靜電電場的能量達到一定程度后，擊穿其間介質(zhì)而進行放電的現(xiàn)象。4.3 靜電敏感度 元器件所能承受的靜電放電電壓值。4.4 靜電敏感器件 對靜電放電敏感的器件4.5 靜電泄放 帶電體上的電荷通過帶電體內(nèi)部和其表面等途經(jīng)而使之部分或全部消失的現(xiàn)象。4.6 中和 利用異性電荷使靜電消失。4.7 靜電屏蔽材料 防止靜電放電或靜電場通過、穿入的材料。4.7 導靜電材料表面電阻率小于10 6/ 平方單位或體積電阻率小于10 4.cm的材料。 4.8 靜電耗散材料 表面電阻

3、率大于或等于10 6/ 平方單位但小于10 11/ 平方單位的材料。4.7 接地 電氣連接到能提供或接受大量電荷的物體上（如大地、艦船或運載工具金屬外殼等）。4.8 防靜電保護區(qū) (EPA: ESD protected area)由各種靜電設(shè)施、器件及明確的區(qū)域界限形成的工作場地。5 測試條件全部測試均在生產(chǎn)場地內(nèi)進行，環(huán)境溫度2025，相對濕度40%70%6 測試儀器6.1 接地電阻測試儀6.2 萬用表6.3 靜電手腕測試儀6.4 表面電阻測試儀6.5 非接觸式靜電電壓表備注：以上所有測試儀器均應在計量鑒定有效范圍內(nèi)。允許使用符合測試要求的類似儀表。7 防靜電基本要求7.1 基本原則a) 抑

4、制靜電荷的積累。b) 安全、迅速、有效地消除已經(jīng)產(chǎn)生的靜電荷。標準：產(chǎn)生的靜電能在10S之內(nèi)放電到100V以下，放電電流5mA。7.2 防靜電工作場所7.2.1 地面a) 特殊場所應使用由靜電導體材構(gòu)成的地面，如防止靜電活動地板或在普通地面上鋪設(shè)的防靜電地墊，并有效接地。b) 允許使用經(jīng)特殊處理過的地面，如采用涂防靜電漆的方法等。工作臺面有防靜電要求的地方臺面應鋪設(shè)防靜電臺墊并接防靜電地。包裝存儲材料所有的靜電敏感器件需用采用防靜電或靜電屏蔽包裝材料，如防靜電包裝袋、防靜電膠箱、靜電屏蔽袋等。接地a) 防靜電系統(tǒng)（ESD接地）和保護接地系統(tǒng)（電源中線、公共接地）必須有可靠的接地裝置，接地主干線

5、的連接方式應采用釬焊，接地電阻一般應4。b) 防靜電電線和保護接地線須單獨設(shè)立并進行隔離，并作相應的區(qū)分標識。一般防靜電接地用“黃色”絕緣線，保護接地用“黑色”絕緣線。防靜電地線不得接在電源零線上，不能與防雷線共用。c) 防靜電接地線各支線和接地干線之間要求串接1M電阻。d) 所有有源設(shè)備和部分同有源設(shè)備直接或間接接觸的無源設(shè)備均要求接于保護接地線（電源中線）上，采用硬接地（直接接地）方式；所有無源設(shè)備、防靜電腕帶、臺墊、工具等均要求接于防靜電地線上，可以采用軟接地（通過1M電阻）接地方式。e) 所有接地線的連接應確保接觸良好，硬接地方式接地電阻要求10。允許使用各種夾式連接器，如鱷魚夾、插頭

6、座等,但需用金屬線材捆扎固定。不允許使用自由纏繞的方式，如采用自由纏繞方式則需加錫焊接固定。靜電消除裝置為消除防靜電場所內(nèi)或元器件上的過高靜電荷，視不同的要求應配置相應的靜電消除裝置，如：離子風機、離子棒，要求測試離子平衡電壓15V。也可采用除靜電噴劑等。7.2.6人體防護a） 進入EPA區(qū)域的人員必須穿戴防靜電工作服，長頭發(fā)的人員應佩戴由防靜電布料制作的工作帽，以防止頭發(fā)與防靜電產(chǎn)品接觸放電。b） 凡是與防靜電產(chǎn)品接觸的人員，包括操作人員、工程技術(shù)或管理人員、參觀人員等，需佩戴防靜電手腕帶，并應保持其與人體、與接地系統(tǒng)都接觸可靠c） 凡進入EPA區(qū)域的人員必須穿戴防靜電工作鞋，并應保持與防靜

7、電地板或地墊妥善接觸以泄漏人體靜電荷。d） 在EPA區(qū)域的人員不準進行與工作無關(guān)的肢體活動。7.2.7 濕度控制 在相對濕度低于40%時，要考慮用濕拖布拖地，適當灑水或其它增濕措施。7.2.8 區(qū)域界限 建議標明區(qū)域界限并在明顯處懸掛警示標志，關(guān)鍵工位亦作相應標識。 7.3 防靜電材料的使用原則7.3.1 導電性材料,如一般金屬、人體、導電包裝袋、導電膠箱等（表面電阻值在106以下），接觸靜電敏感物品時需進行接地處理。7.3.2 非帶電材料，如木、紙、棉等（表面電阻值在104109）不能和靜電敏感物品直接接觸，且不使用在高溫、低溫及對著風的地方。7.3.3 絕緣性材料，如一般橡膠、塑料等（表面

8、電阻值在1011以上），不能直接接觸靜電敏感物品。7.3.4 靜電消散材料，如防靜電氣珠袋、防靜電網(wǎng)格袋、防靜電海棉、防靜電膠箱、防靜電元件盒、防靜是標識貼、防靜電臺墊、防靜電地板等（表面電阻值在1061011），可以用于一般電子產(chǎn)品的包裝、標識、防護。7.3.5靜電屏蔽材料，如防靜電屏蔽袋、半透明防靜電屏蔽袋（表面電阻在1091011），可以用于對靜電高度敏感的PCB半成品、IC等產(chǎn)品的包裝。8 管理項目：8.1 根據(jù)工序?qū)o電敏感程度的不同，設(shè)立不同的管理周期和項目（見下表）表：防靜電管理項目表檢查頻次檢查項目項目名稱檢驗方式每日1佩戴腕帶情況下人體對地電阻測量2佩戴防靜電腕帶目視3防靜電

9、服穿戴情況目視4防靜電鞋穿戴情況目視5烙鐵接地電阻測量6 電動工具接地電阻測量7測試儀器接地電阻測量8測試夾具（或測試架）接地電阻測量9作業(yè)人員操作情況目視10作業(yè)場所、臺面帶電量測量11作業(yè)臺面、臺墊接地目視12環(huán)境（溫度、濕度）測量每月13防靜電標識情況目視14檢驗記錄情況目視15元件盒/料盒/周轉(zhuǎn)箱表面電阻測量16包裝機芯、PCB半成品用的膠袋表面電阻測量17ESD地線與電源地線區(qū)分測量每季18靜電手腕帶測試儀校準測量19離子風機校準測量20系統(tǒng)接地電阻測量8.2 測試方法 表：測試方法管理物品檢查標準測試方法儀器標識、記錄有無目檢/工具、設(shè)備、治具接地規(guī)范、10以下被測點與地線間萬用表

10、防靜電包裝材料1061011表面表面電阻測試儀防靜電手腕帶1M左右人手與腕帶夾間防靜電手腕帶測試儀系統(tǒng)地線接地電阻4以下接地點與大地接地電阻測試儀溫濕度4070%空間內(nèi)置放溫濕度計帶電量50V 被測物體各面非接觸式靜電電壓表8.3 標準要求 8.3.1佩戴腕帶情況下人體對地電阻約為1M左右。a) 連接圖1：圖1：佩戴腕帶情況下人體對地電阻測試圖b) 要求：靜電手腕測試儀上的“OK”燈點 8.3.2 佩戴防靜電腕帶a) 使用時不準將腕帶套在衣服上，腕帶和手腕皮膚直接接觸，并接觸良好，不能松弛；連線扣和扣眼接觸良好，不能松弛，接地線夾夾在靜電地線上。見圖2。圖2：佩戴靜電手腕示意圖b) 要求符合圖

11、2要求8.3.3 防靜電鞋/工作服/防靜電包裝材料/靜電屏蔽材料 符合前面的標準8.3.4烙鐵、電動工具接地：接保護地（電源地），接地電阻10。插頭上沒有接地線的二腳插頭和有三芯接地端的都必須在烙鐵頭部進行接地處理。烙鐵頭部接地線處需進行焊接以確保接觸良好。焊接工位配用的烙鐵架、焊錫比需接地。 電批需要其批嘴上安裝金屬活動套環(huán)并通過連線接地。注意套環(huán)的大小要和批嘴配套，須保證與批嘴接觸良好。圖3：烙鐵頭部、電批嘴需單獨接電源保護地8.3.5 工作臺面接地a) 工作臺表面上鋪防靜電臺墊， 防靜電臺墊需接防靜電地，注意防靜電臺墊接地線扣和金屬臺面要隔離，不能短路。工作臺面本身需接保護接地線，接地電

12、阻小于10歐姆。b) 連接方法（見圖5）圖4：工作臺面接地示意圖8.3.6 測試儀器設(shè)備接地:接保護接地線 a）外殼是金屬等導電材料的測試儀器設(shè)備外殼需接電源保護地。（見圖5）金屬外殼GND電源或圖5：儀器需接保護地b）直流電源有GND端子時，GND端子接地。通?！啊倍俗硬慌cGND端子連線，當有噪聲等影響除外（見圖6）直流電源GND-+或電源 圖6：“”端子不與GND端子連線c)有CRT的儀器，CRT表面必須貼上透明的導電膠片，并接保護地（見圖7）或CRT電源圖7：CRT上需貼導電膠片，并接保護地d)離子風機等靜電消除設(shè)的外殼需接保護地，但注意其出風口金屬網(wǎng)罩不能接地，否則將起不到靜電消除的作

13、用。(見下圖8)此金屬網(wǎng)罩不能接地外殼接地點 圖8：離子風機接電源保護地 8.3.7 測試夾具（用電的）接地a) 通電的工夾具的金屬部必須用接地線連接到保護地（也叫：公共地線上（見圖9）；不用電的且不和用電設(shè)備接觸的則接防靜電地線。接地線公共地線圖9：測試夾具需接地 8.3.8 地面： 有特別要求的地方需鋪防靜電地墊或其它符合要求的材料并接防靜電地。 系統(tǒng)接地：防靜電接地系統(tǒng)（ESD接地系統(tǒng)）、保護接地系統(tǒng)a) 系統(tǒng)接地要求見7.2.4。b) 其它接地注意問題² 各接地線應使用帶絕緣外層的導線，且保證外絕緣層完好。² 各接地干線之間的連接應采用釬焊、熔焊或壓力連接件、卡箍等

14、進行搭接連接。² 工具、設(shè)備等的接地端子允許使用易于裝拆的各種夾式連接器，例如鱷魚夾、插頭座等，但需加固以保證電氣連接可靠，即點到點的接地電阻10。² ESD地線與儀器、設(shè)備保護地線要分開單獨使用，不能混用（見下圖10、11）圖10：儀器地不能連接到ESD線上圖11：手腕不能連接到儀器地上8.3.10元件料盒/周轉(zhuǎn)箱導電型的表面電阻：1.0×1031.0×105防靜電型的表面電阻：1.0×1061.0×1098.3.11包裝膠袋a) 凡是易于產(chǎn)生摩擦靜電的材料,例如普通塑料膠袋、橡膠、合成纖維在EPA區(qū)不允許使用。b) 包裝對靜電敏感

15、的物品或相關(guān)器件，必須使用防護罩或袋防靜電包裝。c) 防靜電型表面電阻：1.0×1061.0×1011d) 摩擦后用非接觸式電壓表測量電壓100V。8.3.12 標記情況靜電放電敏感符號的式樣、顏色和尺寸樣式如下圖，需采取靜電防護措施的工位需張貼以下標識。（見下圖12）。圖12：ESD標記符號式樣8.3.13倉儲環(huán)境（溫度、濕度）a) EPA溫度應維持在2025，每日的同一時間測量和記錄一次。b) EPA濕度應維持在40%70%，每日的同一時間測量和記錄一次。8.3.14 帶電量測試（工作臺面、系統(tǒng)地）a) 測試時手持干燥布料（選用純棉或靜電面料），以頻次數(shù)約120次/min，手掌適當?shù)氖┘訅毫Γ瑔蜗蚰Σ帘粶y件某一部位20次，按手持式非接觸式靜電電壓表使用方法立即接近摩擦部位，觀察儀表顯示數(shù)值，反復測試5次取平均值。