1、第一期:TFC 設計增透膜膜系實例基底:BK7/K9 基底折射率:1.51680 要求:400nm 至700nm 反射低于1.0% 第一步:點FILE(文件NEW COATING(新建膜系 會彈出如下窗口: 以上窗口翻譯如下中心波段 550 光 源 白光 入射角度 0 附帶介質 空氣 基底材料 K9 厚度(mm 1 出射介質 K9 探測器 理想的 第一面 前面 環境參量 1點(分析參量會彈出如下窗口:分析參量如上圖所示將波段范圍設置為300nm 至780nm,當然你也可以設置再寬一點兒 設置好后點OK第二步:點MODIFY(修改 STACK FORMULA(堆棧公式彈出窗口如下 對以上對話框進

2、行設置: 此框中輸入堆棧公式,設計AR 膜根據經驗來說初始膜系越厚就適合設計總厚度比較厚的膜系,越薄則適合設計總厚度較薄的膜系,層數也相對較少,因此可以輸入H,2H 等等,后面用針法設計自動添加層數,這里不進一步探討高折射率材料低折射率材料按上圖設置好后點 可以看到第三步:設置優化目標: 設置后如下圖: 第四步: 設定優化參量 點擊后會彈出以下窗口: 上面的參數是初始設置,一般不需要變動,有經驗者可根據自己的需要設置,下面進入針法設計的參量設置點擊會彈出來 根據需要輸入參數: 設置完成后點OK 退出 第五步:開始第一次優化 操作步驟如下圖: 當然你也可以點F4進行優化了,第一次優化結果如下圖

3、點ANALYZE 進行曲線分析 分析曲線已經能達到要求了,那么我們再來看一看膜系結構有沒有什么變化呢? 通過上圖我們能看到第四層厚度太薄,這么薄的膜層在實際控制當中是非常困難的,即使用晶控的話鍍這么一點兒啟動一次電子槍不說還浪費預熔時的膜料,通過經驗大家在設計時可以試著將Thickness 小于10nm 的層去掉,像這種層數較少的層一次只去一層,然后點 或者點F3分析,這里我們先將第四層去掉再來看看曲線: 曲線已經完全變壞,所以此時設計是不成功的,需要進一步修改,有經驗者可以點擊太薄 進行手動調整各層厚度實現,這里不再多說,我們利用軟件將此膜系調整好,下面我們重新設置一下軟件來實現我們的要求,

4、通過前面的步驟我們發現5層已經能夠滿足要求,所以我們不能再用針法設計來優化,因為如果再用針法優化的話它會再次將我們剛才刪除掉的層插入進去,大家可以試一下,前面我們刪除掉第四層的時候曲線400nm 至500nm 處的反射很高,此時可以再添加一個優化目標,以便軟件在優化時重點考慮這一段,如下圖設置了目標2: 然后需要設置優化方法,如下圖: 設置好后點OK,F4優化, 優化結果如下圖:單純形一法從曲線圖上可以看出此次優化后550nm至700nm處反射又變高了,此時可再針對這一波段增設一個優化目標如下圖: Array Array設置好好點F4再次優化,優化后曲線如下:通過上圖可以看出曲線已經完全滿足要

5、求了,可以結束設計了,最終設計結果如下圖: 結束語:由于本人也是自學的TFC,軟件中也有很多東西沒搞懂,所以本教程肯定很多地方難免有錯誤及不足之處,請大家多提寶貴意見,大家一起學習,還有設計方面也比較潦草,并不是很好的設計方案,在這里H4的折射率是2.05,因此五層膜要滿足400nm到700nm有點勉強, 實際上H4的折射率一般不會做得這么低的,大家可根據自己設備的特點添加材料,此例中如果H4換成折射率更高點的材料可能效果會好一點,其實不去掉最薄的那一層時的曲線是最完美的,因此期待大家做出更加完美的教程.有點兒晚了,加上答應版主要及時做出來,所以排版更是亂七八糟,希望大家別介意.以后還會有其它教程