




版權說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內容提供方,若內容存在侵權,請進行舉報或認領
文檔簡介
1、20222022年年3 3月月3 3日日2 0 2 2 年年 3 月月 3 日日提提 綱綱u 探 索 銅 鋅 錫 硫探 索 銅 鋅 錫 硫 有有效效 摻 入 硒 的 途摻 入 硒 的 途 徑徑實驗研究背景實驗研究背景 溶液法溶液法摻硒研究現狀摻硒研究現狀Thin Solid Films 519 (2011) 73787381探 索 銅 鋅 錫 硫探 索 銅 鋅 錫 硫 有有效效 摻 入 硒 的 途摻 入 硒 的 途 徑徑實驗研究背景實驗研究背景 溶液法溶液法摻硒研究現狀摻硒研究現狀J. Mater. Chem. A, 2013, 1,6880探 索 銅 鋅 錫 硫探 索 銅 鋅 錫 硫 有有效
2、效 摻 入 硒 的 途摻 入 硒 的 途 徑徑實驗研究背景實驗研究背景 溶液法溶液法摻硒研究現狀摻硒研究現狀Appl. Mater. Interfaces,2013, 5, 1004210047探 索 銅 鋅 錫 硫探 索 銅 鋅 錫 硫 有有效效 摻 入 硒 的 途摻 入 硒 的 途 徑徑APPLIED PHYSICS LETTERS103 (2013) 163904實驗研究背景實驗研究背景 真真空法空法摻硒研究現狀摻硒研究現狀探 索 銅 鋅 錫 硫探 索 銅 鋅 錫 硫 有有效效 摻 入 硒 的 途摻 入 硒 的 途 徑徑器件器件實驗研究背景實驗研究背景 真空法真空法摻硒研究現狀摻硒研究現
3、狀Solar Energy 100 (2014) 2330探 索 銅 鋅 錫 硫探 索 銅 鋅 錫 硫 有有效效 摻 入 硒 的 途摻 入 硒 的 途 徑徑器件器件實驗研究背景實驗研究背景 真空法真空法摻硒研究現狀摻硒研究現狀預制層均含預制層均含S(Se)探 索 銅 鋅 錫 硫探 索 銅 鋅 錫 硫 有有效效 摻 入 硒 的 途摻 入 硒 的 途 徑徑器件器件實驗研究背景實驗研究背景 預制預制層的選擇層的選擇探 索 銅 鋅 錫 硫探 索 銅 鋅 錫 硫 有有效效 摻 入 硒 的 途摻 入 硒 的 途 徑徑背景真空:背景真空:1.010-4Pa 工作氣體:工作氣體:Ar氣氣氣體流量:氣體流量:3
4、0sccm 工作氣壓:工作氣壓:0.5Pa 靶材功率:靶材功率:Cu(50W)、Zn(110W)、 Sn(50W)襯底溫度:常溫襯底溫度:常溫實驗裝置示意圖實驗裝置示意圖實驗條件實驗條件實驗目的:探索金屬預制層有效摻入硒的途徑,獲得較高質量薄膜并提實驗目的:探索金屬預制層有效摻入硒的途徑,獲得較高質量薄膜并提高器件效率。高器件效率。 探 索 銅 鋅 錫 硫探 索 銅 鋅 錫 硫 有有效效 摻 入 硒 的 途摻 入 硒 的 途 徑徑實驗結果與討論實驗結果與討論-低溫退火置硫低溫退火置硫底部加底部加Cu底部未加底部未加Cu不不同退火工藝薄膜表面形貌圖同退火工藝薄膜表面形貌圖 金屬預制金屬預制層表面
5、蒸鍍層表面蒸鍍S 低溫退火置硫低溫退火置硫500,二次結晶二次結晶探 索 銅 鋅 錫 硫探 索 銅 鋅 錫 硫 有有效效 摻 入 硒 的 途摻 入 硒 的 途 徑徑探 索 銅 鋅 錫 硫探 索 銅 鋅 錫 硫 有有效效 摻 入 硒 的 途摻 入 硒 的 途 徑徑實驗結果與討論實驗結果與討論-低溫退火置硫低溫退火置硫 S含量過低,需尋求提高含量過低,需尋求提高S含量的退火方式含量的退火方式.硫化溫度原子組分比Cu/(Zn+Sn)Zn/Sn S/(S+Se)2000.791.310.043000.711.350.104000.741.280.125000.711.300.12探 索 銅 鋅 錫 硫
6、探 索 銅 鋅 錫 硫 有有效效 摻 入 硒 的 途摻 入 硒 的 途 徑徑實驗結果與討論實驗結果與討論-低溫退火置硫低溫退火置硫硒源溫度原子組分比Cu/(Zn+Sn)Zn/Sn S/(S+Se)3000.711.300.163500.771.310.124000.901.170.08300350該工該工藝無法有效調控硫硒比藝無法有效調控硫硒比探 索 銅 鋅 錫 硫探 索 銅 鋅 錫 硫 有有效效 摻 入 硒 的 途摻 入 硒 的 途 徑徑實驗結果與討論實驗結果與討論-低溫退火置硫低溫退火置硫該工藝可有效調控薄膜硫硒比該工藝可有效調控薄膜硫硒比 形貌太差,需尋求有效改善薄膜形貌的退火方式形貌太
7、差,需尋求有效改善薄膜形貌的退火方式.S/Se(重量比)原子組分比Cu/(Zn+Sn)Zn/Sn S/(S+Se)1:750.881.240.341:600.761.220.431:300.871.110.621:601:301:75探 索 銅 鋅 錫 硫探 索 銅 鋅 錫 硫 有有效效 摻 入 硒 的 途摻 入 硒 的 途 徑徑實驗結果與討論實驗結果與討論-一一步硫硒化步硫硒化該工藝無法改善薄膜形貌該工藝無法改善薄膜形貌.探 索 銅 鋅 錫 硫探 索 銅 鋅 錫 硫 有有效效 摻 入 硒 的 途摻 入 硒 的 途 徑徑實驗結果與討論實驗結果與討論-一一步硫硒化步硫硒化前者更加致密平整前者更加
8、致密平整.低溫置硫后硒低溫置硫后硒硫化硫化一步硒硫化一步硒硫化探 索 銅 鋅 錫 硫探 索 銅 鋅 錫 硫 有有效效 摻 入 硒 的 途摻 入 硒 的 途 徑徑實驗結果與討論實驗結果與討論-低低溫置硫后硫硒化溫置硫后硫硒化硫硒比可調控硫硒比可調控.S/Se(重量比)原子組分比Cu/(Zn+Sn)Zn/Sn S/(S+Se)1:750.731.050.311:600.711.060.471:300.701.090.50探 索 銅 鋅 錫 硫探 索 銅 鋅 錫 硫 有有效效 摻 入 硒 的 途摻 入 硒 的 途 徑徑實驗結果與討論實驗結果與討論-低低溫置硫后硫硒化溫置硫后硫硒化 形貌得到有效改善形
9、貌得到有效改善.探 索 銅 鋅 錫 硫探 索 銅 鋅 錫 硫 有有效效 摻 入 硒 的 途摻 入 硒 的 途 徑徑實驗結果與討論實驗結果與討論-低低溫置硫后硫硒化溫置硫后硫硒化未發現明顯雜峰,隨著未發現明顯雜峰,隨著S含量的增加,晶格常數含量的增加,晶格常數值變小,峰向大角度偏移值變小,峰向大角度偏移.探 索 銅 鋅 錫 硫探 索 銅 鋅 錫 硫 有有效效 摻 入 硒 的 途摻 入 硒 的 途 徑徑實驗結果與討論實驗結果與討論-低低溫置硫后硫硒化溫置硫后硫硒化CZTSSe實際上是實際上是CZTS與與CZTSe的固溶體的固溶體.探 索 銅 鋅 錫 硫探 索 銅 鋅 錫 硫 有有效效 摻 入 硒 的 途摻 入 硒 的 途 徑徑實驗結果與討論實驗結果與討論-低低溫置硫后硫硒化溫置硫后硫硒化S/Se(重量比重量比)晶格常數晶格常數2()a(A)c(A)d(A)x(%)1:7527.485.6211.203.24261:6027.585.6011.173.23341:3027.685.5811.133.2241Vegards law, Braggs law, tetragonal structure,112 EDSXRF樣品樣品10.660.56樣品樣品20.620.54出現了出現了Sn的硫硒化物相的硫硒化物相.探 索 銅 鋅 錫 硫探 索 銅 鋅 錫 硫 有有效效 摻 入 硒 的
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網頁內容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
- 4. 未經權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業或盈利用途。
- 5. 人人文庫網僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內容的表現方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容,請與我們聯系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 網絡基礎設施升級-洞察闡釋
- 自然語言處理模型的可解釋性與可視化-洞察闡釋
- 混合動力系統控制-洞察闡釋
- 數據訪問控制中的隱私保護與脫敏技術-洞察闡釋
- 知識產權運營模式-洞察闡釋
- 質量控制與醫療信息化-洞察闡釋
- 智能存檔系統與應用研究-洞察闡釋
- 青少年社會心理危機干預研究-洞察闡釋
- 確定一級學科名稱以明確學術領域和研究方向
- 城市安全保障體系創新研究報告
- DB33T 1203-2020 建設工程施工揚塵控制技術標準
- 外國文學名著導讀
- 腦卒中患者血壓管理
- 如何制作OruxMaps離線地圖
- 校企汽修專業戰略合作協議書
- 《紅樓夢》四大家族主要人物關系圖
- in、ing對比辨音練習
- 2012年福建高考文史類(語文、數學、英語、文綜)試卷真題及參考答案
- 中山大學本科生畢業論文(設計)封面
- 房屋租賃招標公告
- 常規測井資料質量控制
評論
0/150
提交評論