1、 SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品解決方案目錄1.簡(jiǎn)介 . - 1 -1.1.產(chǎn)品簡(jiǎn)介. - 1 -1.2.產(chǎn)品配置. - 2 -2.靜態(tài)測(cè)量 . - 3 -2.1.線(xiàn)性測(cè)量. - 3 -2.2.角度測(cè)量. - 7 -2.3.直線(xiàn)度測(cè)量. - 9 -2.4.平行度測(cè)量. - 11 -2.5.垂直度測(cè)量. - 13 -2.6.平面度測(cè)量. - 14 -2.7.回轉(zhuǎn)軸測(cè)量. - 16 -3.動(dòng)態(tài)測(cè)量 . - 17 -3.1.動(dòng)態(tài)測(cè)量概述. - 17 -3.2.動(dòng)態(tài)測(cè)量應(yīng)用. - 18 -4.產(chǎn)品功能特點(diǎn) . - 20 -5.技術(shù)指標(biāo) . - 22 -6.配件與證書(shū) . - 25 -1.簡(jiǎn)介1.1.產(chǎn)品簡(jiǎn)

2、介激光干涉儀以光波為載體,其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義,且可以溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),是迄今公認(rèn)的高精度、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器,在高端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。SJ6000激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,其壽命可達(dá)50000小時(shí);采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實(shí)現(xiàn)最高4m/s的測(cè)量速度,以及納米級(jí)的分辨率;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償;采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),支持中文、英文和俄文語(yǔ)言,友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑?jiǎn)潔化的記錄管理。 S

3、J6000激光干涉儀外觀圖SJ6000激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、最高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。1.2.產(chǎn)品配置SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線(xiàn)性鏡組、角度鏡組、直線(xiàn)度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自

4、動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。 主要鏡組圖其中,線(xiàn)性鏡組為標(biāo)配,由線(xiàn)性干涉鏡、線(xiàn)性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿(mǎn)足線(xiàn)性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。2.靜態(tài)測(cè)量2.1.線(xiàn)性測(cè)量線(xiàn)性測(cè)量原理邁克爾遜干涉原理 線(xiàn)性測(cè)量的光路原理構(gòu)建圖(1從SJ6000激光干涉儀主機(jī)出射的激光束(圓偏振光通過(guò)分光鏡后,將分成兩束激光(線(xiàn)偏振光;(2兩束激光分別經(jīng)由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射后平行于出射光(紅色線(xiàn)條返回,通過(guò)分光鏡后進(jìn)行疊加,由于兩束激光頻率相同、振動(dòng)方向相同且相位差恒定,即滿(mǎn)足干涉條件;(3角錐反射鏡B每移動(dòng)半個(gè)激光波長(zhǎng)的距離,將會(huì)產(chǎn)生一次完整的明暗干涉現(xiàn)象。測(cè)量

5、距離等于干涉條紋數(shù)乘以激光半波長(zhǎng)。線(xiàn)性測(cè)量配置及使用方法線(xiàn)性測(cè)量(線(xiàn)性軸位置精度測(cè)量的簡(jiǎn)稱(chēng)配置主要由SJ6000主機(jī)、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元、線(xiàn)性鏡組、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成,可滿(mǎn)足080m范圍內(nèi)的線(xiàn)性測(cè)量。其中,線(xiàn)性測(cè)量包括定位精度測(cè)量、重復(fù)定位精度測(cè)量和設(shè)備反向間隙測(cè)量等。線(xiàn)性鏡組可以針對(duì)不同方向的運(yùn)動(dòng)軸而搭建相應(yīng)的測(cè)量光路,如下圖: 水平軸的線(xiàn)性測(cè)量示意圖 垂直軸的線(xiàn)性測(cè)量示意圖SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件可以將線(xiàn)性測(cè)量結(jié)果生成指定的誤差補(bǔ)償表,該表涵蓋了各個(gè)測(cè)量點(diǎn)的補(bǔ)償值,運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)制造商允許通過(guò)修改指定運(yùn)動(dòng)軸的補(bǔ)償值來(lái)消除該運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差,精確的補(bǔ)償,可以有效地降低運(yùn)動(dòng)軸的

6、位置誤差。線(xiàn)性測(cè)量中目標(biāo)位置的數(shù)據(jù)采集有基于位置的目標(biāo)采集和基于時(shí)間的目標(biāo)采集兩種方式,普遍采用基于位置的目標(biāo)采集方式,即:被測(cè)運(yùn)動(dòng)軸需設(shè)定若干個(gè)等距的定位點(diǎn),當(dāng)運(yùn)動(dòng)軸移動(dòng)到設(shè)定的定位點(diǎn)時(shí),需設(shè)置停留時(shí)間,以供SJ6000測(cè)量軟件進(jìn)行當(dāng)前點(diǎn)的數(shù)據(jù)采集。線(xiàn)性測(cè)量應(yīng)用SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機(jī)床、三坐標(biāo)、機(jī)器人、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備、線(xiàn)性位移平臺(tái)、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測(cè)儀器等領(lǐng)域的線(xiàn)性測(cè)量。 機(jī)床 線(xiàn)性導(dǎo)軌 三坐標(biāo) 激光切割機(jī) 線(xiàn)性測(cè)量附件輕型線(xiàn)性鏡組 特殊場(chǎng)合的應(yīng)用輕型線(xiàn)性鏡組包括縮光鏡和小角錐反射鏡,其中小角錐反射鏡的重量?jī)H為8g ,可以直接吸附在被測(cè)物體上,最大限度地降低線(xiàn)性反射

7、鏡的重量影響。 輕型線(xiàn)性鏡組的光路原理構(gòu)建圖 主要應(yīng)用場(chǎng)合:(1線(xiàn)性反射鏡的重量可能影響到被測(cè)軸系的機(jī)械性能或精度;(2線(xiàn)性反射鏡的尺寸遇到較為困難的裝夾場(chǎng)合;(3負(fù)載敏感的動(dòng)態(tài)測(cè)量。輕型線(xiàn)性鏡組輕型線(xiàn)性鏡組附件應(yīng)用實(shí)例: 螺紋綜合測(cè)量機(jī)的測(cè)桿校準(zhǔn)可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡斜軸的測(cè)量可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡本質(zhì)是可實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)的平面反射鏡,通過(guò)旋轉(zhuǎn)鏡面可將光束偏轉(zhuǎn)2590的角度,通常用于斜軸的測(cè)量。 可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡及其光路原理構(gòu)建圖可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡應(yīng)用實(shí)例: 斜床的傾斜軸測(cè)量2.2.角度測(cè)量角度測(cè)量原理角度反射鏡旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生轉(zhuǎn)角,或是移動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生角擺,兩束反射光會(huì)有相對(duì)應(yīng)的光程差產(chǎn)生,SJ6000采集到該光程差的干涉信號(hào),經(jīng)過(guò)運(yùn)算處

8、理,即可得出對(duì)應(yīng)的角度值。 角度測(cè)量的光路原理構(gòu)建圖角度測(cè)量配置及使用方法角度測(cè)量配置主要由SJ6000主機(jī)、角度鏡組、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成,可滿(mǎn)足10范圍內(nèi)的角度測(cè)量。 運(yùn)動(dòng)軸的俯仰角度測(cè)量示意圖 運(yùn)動(dòng)軸的偏擺角度測(cè)量示意圖 回轉(zhuǎn)軸的角度測(cè)量示意圖角度測(cè)量應(yīng)用主要應(yīng)用于運(yùn)動(dòng)軸的角擺測(cè)量和轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)角度測(cè)量。 直驅(qū)電機(jī)(DD馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)角度測(cè)量2.3.直線(xiàn)度測(cè)量直線(xiàn)度測(cè)量原理 直線(xiàn)度測(cè)量的光路原理構(gòu)建圖直線(xiàn)度干涉鏡在移動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生橫向或縱向位移時(shí),兩束反射光會(huì)有相對(duì)應(yīng)的光程差產(chǎn)生, SJ6000采集到該光程差的干涉信號(hào),經(jīng)過(guò)運(yùn)算處理,即可得出對(duì)應(yīng)的直線(xiàn)度值。直線(xiàn)度測(cè)量配置及使用方法

9、直線(xiàn)度測(cè)量配置主要由SJ6000主機(jī)、短直線(xiàn)度鏡組(或長(zhǎng)直線(xiàn)度鏡組、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成,可滿(mǎn)足3mm范圍內(nèi)的直線(xiàn)度測(cè)量。 運(yùn)動(dòng)軸的橫向直線(xiàn)度測(cè)量示意圖 運(yùn)動(dòng)軸的縱向直線(xiàn)度測(cè)量示意圖直線(xiàn)度測(cè)量應(yīng)用 測(cè)長(zhǎng)儀直線(xiàn)導(dǎo)軌的橫向直線(xiàn)度測(cè)量直線(xiàn)度附件 直線(xiàn)度附件由大角錐反射鏡、90度轉(zhuǎn)向鏡和直線(xiàn)度底座構(gòu)成。應(yīng)用場(chǎng)合:適用于直線(xiàn)度反射鏡不便于安裝在Z軸的上端或是運(yùn)動(dòng)軸的后端。直線(xiàn)度附件含直線(xiàn)度附件的光路原理構(gòu)建圖: Z軸直線(xiàn)度的光路原理構(gòu)建圖2.4.平行度測(cè)量平行度測(cè)量原理平行度測(cè)量是在直線(xiàn)度測(cè)量的基礎(chǔ)上而擴(kuò)展的應(yīng)用。平行度測(cè)量由平行軸的兩組直線(xiàn)度測(cè)量組成,參見(jiàn)下面平行度測(cè)量光路原理構(gòu)件圖,其

10、中直線(xiàn)度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn),在測(cè)量過(guò)程中保持原位,且不進(jìn)行調(diào)整。由第1運(yùn)動(dòng)軸的斜度1中減去第2運(yùn)動(dòng)軸的斜度2,即可得出平行度=1-2。第一步(測(cè)第1運(yùn)動(dòng)軸第二步(測(cè)第2運(yùn)動(dòng)軸平行度測(cè)量的光路原理構(gòu)建圖平行度測(cè)量配置平行度測(cè)量配置主要由SJ6000主機(jī)、短直線(xiàn)度鏡組(或長(zhǎng)直線(xiàn)度鏡組、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成。Z軸的平行度測(cè)量需增添可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡。平行度測(cè)量應(yīng)用 雙直線(xiàn)導(dǎo)軌安裝的平行度測(cè)量2.5.垂直度測(cè)量垂直度測(cè)量原理垂直度的測(cè)量是直線(xiàn)度測(cè)量在二維方向上的延伸。垂直度測(cè)量由正交軸的兩組直線(xiàn)度測(cè)量組成,詳見(jiàn)下面垂直度測(cè)量光路原理構(gòu)件圖,其中直線(xiàn)度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn),在測(cè)量過(guò)程中保

11、持原位,且不進(jìn)行調(diào)整;光學(xué)角尺用于至少在其中一次直線(xiàn)度測(cè)量中,允許調(diào)整激光束與軸的準(zhǔn)直。垂直度誤差=光學(xué)直角尺誤差-斜度1-斜度2。 垂直度測(cè)量的光路原理構(gòu)建圖垂直度測(cè)量配置垂直度測(cè)量配置主要由SJ6000主機(jī)、短直線(xiàn)度鏡組(或長(zhǎng)直線(xiàn)度鏡組、垂直度鏡組(含光學(xué)直角尺、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成。Z 軸的垂直度測(cè)量需增添直線(xiàn)度附件。垂直度測(cè)量應(yīng)用 XY 工作臺(tái)的垂直度測(cè)量2.6. 平面度測(cè)量平面度測(cè)量原理 平面度的測(cè)量是在角度測(cè)量的基礎(chǔ)上進(jìn)行的延伸。平面度測(cè)量一般采用“對(duì)角法”在平面上進(jìn)行相應(yīng)次數(shù)的角度測(cè)量,通過(guò)軟件算法可將角度的變化轉(zhuǎn)換為平面上高度的變化,進(jìn)而得到整個(gè)平面的平面度。 平

12、面度測(cè)量的光路原理構(gòu)建圖對(duì)角線(xiàn)法又稱(chēng)米字法,在平面度測(cè)量時(shí),若激光干涉儀主機(jī)位于G點(diǎn),激光束與線(xiàn)GE重合,建議按照EA、CA、DH、EG、AG、BF、CE、GC的次序進(jìn)行測(cè)量。 對(duì)角法測(cè)量示意圖 平面度測(cè)量的過(guò)程示意圖平面度測(cè)量配置平面度測(cè)量配置主要由SJ6000主機(jī)、角度鏡組、平面度鏡組、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成。其中,平面度鏡組由180mm可調(diào)基板、360mm可調(diào)基板和平面度旋轉(zhuǎn)鏡構(gòu)成。平面度測(cè)量應(yīng)用 大理石平臺(tái)的平面度測(cè)量2.7. 回轉(zhuǎn)軸測(cè)量回轉(zhuǎn)軸測(cè)量原理 回轉(zhuǎn)軸測(cè)量需借助WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái),與SJ6000角度測(cè)量配合使用。將WR50連接到回轉(zhuǎn)軸上,作為測(cè)角標(biāo)準(zhǔn)器,WR50可

13、實(shí)現(xiàn)0360的角度測(cè)量范圍,1的測(cè)量精度,最高轉(zhuǎn)速為10rpm 。假設(shè)回轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)了5,相連的WR50則反轉(zhuǎn)5,相對(duì)于SJ6000角度測(cè)量而言并未產(chǎn)生角度偏轉(zhuǎn),基于該原理即可實(shí)現(xiàn)回轉(zhuǎn)軸0360的高精度測(cè)量。回轉(zhuǎn)軸測(cè)量軟件會(huì)將WR50的角度值和SJ6000角度值合并進(jìn)行計(jì)算,作為回轉(zhuǎn)軸實(shí)際轉(zhuǎn)動(dòng)的角度值。 自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)回轉(zhuǎn)軸測(cè)量配置及使用方法回轉(zhuǎn)軸測(cè)量配置主要由SJ6000主機(jī)、角度鏡組、WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成。 回轉(zhuǎn)軸測(cè)量示意圖3.動(dòng)態(tài)測(cè)量3.1.動(dòng)態(tài)測(cè)量概述SJ6000動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件搭配線(xiàn)性鏡組、角度鏡組或直線(xiàn)度鏡組可以進(jìn)行相應(yīng)的線(xiàn)性、角度或直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能

14、檢測(cè)。動(dòng)態(tài)測(cè)量包括基于時(shí)間的動(dòng)態(tài)測(cè)量和基于距離的動(dòng)態(tài)測(cè)量,SJ6000動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件可對(duì)動(dòng)態(tài)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行位移分析、速度分析、加速度分析、振幅與頻率分析等。 位移-時(shí)間曲線(xiàn) 速度-時(shí)間曲線(xiàn) 加速度-時(shí)間曲線(xiàn) 振幅-頻率曲線(xiàn)3.2.動(dòng)態(tài)測(cè)量應(yīng)用基于時(shí)間的動(dòng)態(tài)測(cè)量機(jī)器運(yùn)動(dòng)控制性能評(píng)價(jià):運(yùn)動(dòng)控制器PID控制參數(shù)測(cè)試與設(shè)置高速運(yùn)動(dòng)后機(jī)器的穩(wěn)定性測(cè)試與評(píng)價(jià)高性能運(yùn)動(dòng)控制器的微小步幅的測(cè)試振動(dòng)監(jiān)視掃描應(yīng)用:用于定位精度不重要,但恒速對(duì)實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量成像非常關(guān)鍵的場(chǎng)合機(jī)床應(yīng)用:典型應(yīng)用包括要求刀具慢速、平穩(wěn)輪廓運(yùn)動(dòng)的高質(zhì)量表面精加工振動(dòng)頻率分析被測(cè)對(duì)象的振動(dòng)頻率分析FFT快速傅立葉變換分析基于距離的動(dòng)態(tài)測(cè)量基于距離

15、的動(dòng)態(tài)測(cè)量,SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)將沿著軸線(xiàn)“飛行”測(cè)量,即運(yùn)動(dòng)軸在不停頓的情況下以用戶(hù)指定的間隔進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。提供脈沖觸發(fā)方式采集CT70正交觸發(fā)盒可監(jiān)控光柵、編碼器、控制器等信號(hào),配合SJ6000激光干涉儀,可實(shí)現(xiàn)脈沖觸發(fā)啟動(dòng)采集和連續(xù)脈沖觸發(fā)采集。適用于運(yùn)動(dòng)軸在不停頓的情況下,觸發(fā)激光干涉儀按照指定的間隔位置進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。 CT70正交觸發(fā)盒4.產(chǎn)品功能特點(diǎn)精度高SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償;干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)

16、,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。功能廣可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量;可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線(xiàn)性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等;可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn);可根據(jù)用戶(hù)設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。軟件強(qiáng)友好的人機(jī)界面;豐富的應(yīng)用功能模塊;向?qū)降牟僮髁鞒?簡(jiǎn)潔化的記錄管

17、理;支持中文、英文和俄文界面;支持企業(yè)專(zhuān)屬模板定制。標(biāo)準(zhǔn)多內(nèi)置13份標(biāo)準(zhǔn),包含GB、ISO、英標(biāo)、美標(biāo)、德標(biāo)、日標(biāo)等國(guó)內(nèi)外通用標(biāo)準(zhǔn)。可依據(jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù),并可打印相應(yīng)的曲線(xiàn)圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。序號(hào)標(biāo)準(zhǔn)號(hào)標(biāo)準(zhǔn)名稱(chēng)1 GB/T 17421.2-2000 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)2 GB 10931-1989 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)3 ISO 230-2-1997 1997版國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)4 ISO 230-2-2006 2006版國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)5 ISO 230-2-2014 2014版國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)6 ASME B5.54-2005 美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)7 ASME B89.1.12M-1990 美國(guó)機(jī)械工程師協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)8 NMTBA

18、-1997 美國(guó)機(jī)床協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)9 BS 3800-2-1991 英國(guó)機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)10 BS 4656-16-1985 英國(guó)機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)11 JIS B6330 日本國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)12 VDI 3441 德國(guó)機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)13 JJG 117-2005 平板檢定規(guī)程5.技術(shù)指標(biāo)主機(jī)穩(wěn)頻精度:0.05ppm動(dòng)態(tài)采集頻率:50 kHz預(yù)熱時(shí)間:6分鐘工作溫度范圍:(040存儲(chǔ)溫度范圍:(-2070環(huán)境濕度:(095%RH環(huán)境補(bǔ)償單元空氣溫度傳感器:0.1(040,分辨力0.01材料溫度傳感器:0.1(055,分辨力0.01空氣濕度傳感器:5%RH (095%RH大氣壓力傳感器:0.1kPa (65115kPa線(xiàn)性測(cè)量測(cè)量

19、距離:(080m (無(wú)需遠(yuǎn)距離線(xiàn)性附件測(cè)量精度:0.5ppm (040測(cè)量分辨力:1nm測(cè)量最大速度:4m/s角度測(cè)量軸向量程:(015m測(cè)量范圍:10測(cè)量精度:(0.02%R+0.1+0.024M (R為顯示值,單位:;M為測(cè)量距離,單位:m 測(cè)量分辨力:0.1平面度測(cè)量軸向量程:(015m測(cè)量范圍:1.5mm測(cè)量精度:(0.2%R+0.02M2m (R為顯示值,單位:m;M為測(cè)量距離,單位:m基板尺寸:180mm可調(diào),360mm可調(diào)測(cè)量分辨力:0.1m直線(xiàn)度測(cè)量軸向量程測(cè)量范圍測(cè)量精度分辨力短距離(0.14.0m 3mm (0.5+0.25%R+0.15M2 m0.01m 長(zhǎng)距離(1.02

20、0.0m 3mm (5.0+2.5%R+0.015M2 m0.1m 注:R為顯示值,單位:m;M為測(cè)量距離,單位:m垂直度測(cè)量軸向量程測(cè)量范圍測(cè)量精度分辨力短距離(0.13.0m 3/M mm/m (2.5+0.25%R+0.8M m/m0.01m/m 長(zhǎng)距離(1.015.0m 3/M mm/m (2.5+2.5%R+0.08M m/m0.01m/m 注:R為垂直度結(jié)果;M為測(cè)量距離,單位:m自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)型號(hào):WR50角度測(cè)量范圍:(0360測(cè)量精度:1分辨力:0.1最高轉(zhuǎn)速:10rpm最高跟蹤速度:2rpmSJ6000 激光干涉儀 重量：1.9kg 高度：148mm 直徑：112mm 通信方

21、式：藍(lán)牙傳輸 供電方式：鋰電池 正交觸發(fā)盒 信號(hào)輸入：差分 TTL(RS422正交編碼信號(hào)、10App 微電流信號(hào) 輸出形式：10s 脈沖 觸發(fā)延時(shí)：0.1s 供電電源：12VDC 尺寸重量與供電 便攜箱尺寸：613mm 460mm 230mm 標(biāo)準(zhǔn)配置重量：18kg 供電電源：(100240VAC 安全要求 激光的安全等級(jí)達(dá)到 Class I 要求 - 24 - SJ6000 激光干涉儀 6. 配件與證書(shū) 配件 序號(hào) 1 2 3 名稱(chēng) SJ6000 主機(jī) 通用三腳架 筆記本電腦 1 臺(tái)，配云臺(tái)、電源適配器 1 個(gè)，配便攜包 1 臺(tái)，配測(cè)量軟件 環(huán)境補(bǔ)償主機(jī)：1 個(gè)，內(nèi)置空氣濕度和大氣壓力傳感器 4 環(huán)境補(bǔ)償單元 空氣溫度探頭：1 個(gè)，線(xiàn)長(zhǎng) 5 米 材料溫度探頭：3 個(gè)，線(xiàn)長(zhǎng) 5 米 USB 線(xiàn)：2 根 磁性表座：2 個(gè) 5 標(biāo)配附件 安裝柱：4 節(jié) 輔助安裝塊：1 塊 水平儀：1 個(gè) 6 7 8 9 10 11 12 13 14 角度鏡組 平面度鏡組 短直線(xiàn)度鏡組 長(zhǎng)直線(xiàn)度鏡組 線(xiàn)性附件 線(xiàn)性鏡組 便攜式拉桿箱 線(xiàn)性干涉鏡、線(xiàn)性反射鏡，各 1 個(gè)，夾緊孔座 2 個(gè) 1 個(gè)，外尺寸：613mm 460mm 230mm 三坐標(biāo)測(cè)頭夾具：1 套 輕型線(xiàn)性鏡組：小角錐反射鏡、縮光鏡，各 1