1、 半自動(dòng)清洗作業(yè)指導(dǎo)書編制(修改)/日期審核/日期批準(zhǔn)/日期修改記錄修改歷史記錄生效日期版本/次變更說明編制/修改批準(zhǔn)一、目的: 本工序是將脫膠完成裝進(jìn)花籃的硅片進(jìn)行表面超聲波清洗，以去掉硅片表面的油污。二、適用范圍：本文件只適合浙江光科新能源硅片加工車間半自動(dòng)超聲波清洗工序。三、物料需求： 1、裝進(jìn)花籃待清洗的硅片；四、工藝流程： 裝片 鼓泡（超聲） 超聲波清洗 純水清洗 甩干五、工藝步驟：5.1 打開純水閥門，分別給機(jī)器清洗槽內(nèi)加水（水槽內(nèi)全是15M純水），三、四.五槽內(nèi)水位加至110L；5.2 打開“電源”、“加熱”、“超聲”開關(guān)，檢查設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)是否正常；5.3 將半自動(dòng)清洗機(jī)的水槽內(nèi)

2、加入清洗劑802#或JH-15型。方法如下： 四五JH-15A2400ml2400mlB1200ml1200ml注意；在添加清洗液時(shí)戴好手套，將桶口察干凈，以免有雜質(zhì)影響清洗質(zhì)量。5.4將插好片的花籃并排放進(jìn)清洗機(jī)的提籃內(nèi)，每提籃內(nèi)放六個(gè)花籃（見圖一）， 圖一5.5等清洗機(jī)水溫升至設(shè)定溫度后，把一、二、六、七槽的溢流打開，使槽內(nèi)水保持清潔，然后將提籃放入第一個(gè)清洗槽內(nèi)，啟動(dòng)“擺動(dòng)”開關(guān)和“超聲波”開關(guān)，并打開一、二槽“鼓泡”開關(guān)（三至七槽不開鼓泡），第一槽時(shí)間結(jié)束后將提籃移至第二槽，第二槽結(jié)束后，將提籃移至第三槽；重復(fù)以上動(dòng)作直到七個(gè)清洗槽全部洗完畢； 注意：硅片從一個(gè)清洗槽移至另一個(gè)清洗槽要

3、垂直提取、垂直輕放，避免碰碎或造成裂片。5.6清洗完成后將硅片連同插片花籃橫向放置裝入甩干機(jī)內(nèi)，花籃擺放必須保證平衡，要求對稱放置；（見圖二） 圖二5.7雙手同時(shí)按控制面板兩邊的紅色“關(guān)門”按鈕，待門完全關(guān)閉后，按綠色“啟動(dòng)”按鈕甩干，甩干過程為260秒，溫度120±5；待控制面板上的時(shí)間歸零，按開蓋按鈕；5.8開蓋后將花籃拿出；將甩干后的硅片整齊地?cái)[放到硅片周轉(zhuǎn)臺(tái)上待檢，用完的花籃、提籃整齊擺放在指定區(qū)域； 5.9每次更換清洗液后，用溫度計(jì)測量升溫后的水槽內(nèi)溫度是否與設(shè)定值一致，溫差范圍在±2； 5.10 工藝參數(shù)設(shè)置表：第一槽第二槽第三槽第四槽第五槽第六槽第七槽甩干機(jī)半 自 動(dòng)溫度45±5°50±5°50±5°50±5°50±5°45±5°50±5°120°時(shí)間360秒360秒360秒360秒360秒360秒360秒260秒 注意： 整個(gè)清洗過程中，嚴(yán)禁花籃、提籃