1、名稱：電子探針X射線顯微分析儀 數量：1主要技術指標一、主要用途：    1、礦物巖石等固體材料的化學組成定性和定量分析    2、礦物巖石等固體材料的化學組成的點、線、面分析和相分析3、礦物巖石等固體材料的高分辨二次電子像、背散射電子像和透射電子像觀察4、陰極發光系統和巖石礦物年齡測試功能（參考）     二、技術要求及參數   電子探針（EPMA）應具備完成儀器用途所需要的完備機能和保證整個系統正常運轉的所有必備系統，包括電子光學系

2、統，真空系統，光學觀察系統，樣品臺系統，X射線分光系統，電子檢測系統，控制系統，數據處理系統，分析標準樣品以及專用工具及消耗品等。所有硬件、軟件產品必須都是原廠原裝部件，而且產品應是交付前最新生產且未被使用過的全新產品，同時必須具有在中國境內的合法使用權。2.1 儀器工作條件2.1.1 電壓：220V(±10%)單相，50Hz(±1)，要求配備能夠適合中國地區用戶的國外原裝進口穩壓電源、斷電保護設備和主機及泵用變壓器。2.1.2 環境溫度：20±52.1.3 相對濕度：80%2.1.4 水溫和水質：要求投標者提供國外原裝進口的適合儀器正常工作的水循環冷卻系統。2.

3、1.5 儀器運行的持久性：可連續不間斷運行。2.2主要技術規格與要求2.2.1電子光學系統  2.2.1.1二次電子分辨率：二次電子分辨率達6nm，工作距離不得小于6mm    2.2.1.2電子槍：鎢絲發射槍，預對中燈絲2.2.1.3加速電壓：加速電壓為030kV    2.2.1.4束流范圍：束流范圍為10-510-12A2.2.1.5圖像放大倍數：圖像放大倍數為×50 ×300,000，連續可調2.2.1.6電子像的畸變：3% （400放大倍率），5%（400放大倍率）2.2.1

4、.7電子束位移：小于1m/h2.2.1.8圖像具備自動聚焦,自動消像散,自動襯度/自動亮度調節功能,而且具有大焦深模式2.2.1.9束流探測器：氣動式法拉第杯2.2.2波譜系統2.2.2.1可測元素范圍5B92U，分析精度優于1%（主元素，含量5%時）和5（次要元素，含量1%）2.2.2.2計數率的重復性（給定波長位置）：優于0.5%2.2.2.3峰位置重復性（同一分光晶體）：優于0.5%2.2.2.4峰位置重復性（交換分光晶體后）：優于1.5%2.2.2.5至少配置三道譜儀，全聚焦型晶體或半聚焦型晶體,每道2塊晶體,具體的晶體配置情況用戶可在合同簽訂前根據需要進行調整。2.2.3光學觀察系統

5、2.2.3.1類型:具有透,反光顯微鏡,透光模式帶正交偏光2.2.3.2分辨率:1m2.2.3.3放大倍率:400 - 500倍2.2.3.4配有十字絲物鏡2.2.3.5圖像:可同時顯示二次電子像,背散射電子像,彩色光學顯微像,還可以得到上述圖像的數字化像。2.2.4樣品臺系統2.2.4.1驅動方式:步進馬達2.2.4.2樣品臺移動范圍: X90mm, Y90mm, Z7.0mm2.2.4.3樣品臺大小:100mm × 100mm × 50mm2.2.4.4樣品臺驅動速度:10mm/s2.2.4.5樣品臺微動模式為最小步長:0.02 m2.2.4.6樣品臺重復精度:達

6、77;1m2.2.4.7樣品交換:自動預抽交換,交換時間2分鐘2.2.4.8具有曲面樣品自動分析功能2.2.5真空系統2.2.5.1真空度:好于1.3×10-3 Pa2.2.5.2抽真空時間:全系統少于30 min2.2.5.3樣品交換時間少于2分,電子槍室少于2分；真空控制系統為全自動2.2.5.4安全裝置:當出現意外時(如真空漏氣,真空度下降,電源故障,冷卻水故障等),自動控制保護系統"啟動"2.2.5.5真空度檢測：高真空規(Penning gauge)及低真空規（Pirani gauge）,裝有檢漏功能2.2.6電子探測器2.2.6.1吸收電子檢測器2.2

7、.6.2二次電子檢測器:分辨率優于6nm2.2.6.3高靈敏度背散射電子檢測器：成分分辨足以清晰分辨a /b黃銅2.2.6.4視頻輸出：拓撲像、成分像2.2.6.5電子束電流檢測器：實時顯示電子束流情況   2.2.7計算機控制系統2.2.7.1采用PC機驅動譜儀：主機內置的高檔品牌PC機，配置為發貨時市場較高配置,投標人需注明配置；配備2個21寸 （1280×1024）高分辨彩色顯示器，終級數據處理和傳輸界面： WINDOWS/VISTA，配備 DVD/VCD刻錄，UBS接口。配備A4激光黑白打印機一臺，A4激光彩色打印機一臺。2.2.7.2數據處理計算機：LA

8、N局網高檔品牌PC機，配置為發貨時市場較高配置,投標人需注明配置（國內采購）2.2.7.3基本軟件：電子探針操作程序；初始條件設定程序；自動定性分析程序；自動定量分析程序；自動線分析程序；任意方向線分析；自動面分析程序；自動相分析；全自動分析程序；分析譜線數據庫(定性分析及狀態分析解析用)；維護管理程序；狀態分析程序；ZAF定量分析軟件；校正曲線定量分析軟件；物相分析軟件；薄膜定量分析軟件；聯機圖像分析程序；年齡測試軟件（參考）等其他系統自帶的標準軟件。2.2.7.4控制系統：可通過鍵盤或鼠標完成全部操作控制。2.2.8其他技術指標達到產品標準說明書所標定的要求。  

9、60; 2.3 配件及附件    2.3.1高真空鍍膜儀（原裝/進口）：真空度好于10-4Pa； 抽真空時間少于30分鐘。    2.3.2電子探針正常工作所必須的線過濾器、氣罐氣體流量計等（廠家原裝/進口），空氣壓縮機，1套。2.3.3標準樣品：每個元素至少有一個標準樣品，包括單質、氧化物、硫化物、硅酸鹽、其他含氧鹽等。2.3.4 陰極發光系統（參考）適用于巖石、礦物陰極發光特征觀察和分析的硬件、軟件資源。包括陰極發光圖像成像系統，需提供相關技術資料。2.3.5能譜儀2.3.5.1 SDD探測器（硅漂移探測器），電制冷型2.3.5.2 元素范圍: 4Be-92U2.3.5.3 能譜分辯率:優于129eV2.3.5.4 具有定性、定量、面掃描、線掃描等軟件2.3.5.5 輕元素性能：自動除霜，保證B、C、N、O等輕元素性能長期優良2.3.5.6 可與電子探針的波譜同時、分工、