1、目 錄1. 概述. 2 2. 技術指標. 23. 測量原理. 3 4. 儀器面板說明. 34.1 儀器前面板. 4 4.2 儀器后面板. 55. 使用方法. 55.1 儀器連接和啟動. 6 5.2 RTS-9雙電測四探針軟件測試系統. 65.2.1 功能特點. 6 5.2.2 系統要求. 6 5.2.3 軟件安裝. 6 5.2.4 啟動/關閉四探針軟件測試系統. 7 5.2.5 四探針軟件測試系統的用戶界面. 75.2.6 軟件使用. 85.3 測量樣品基本操作流程. 19感謝您使用我們的產品！如您是首次使用本儀器，請先詳讀本說明書，并妥善保留之以備查閱之用。 如有問題，歡迎致電：020-31

2、375051或登陸:http/1. 概 述RTS-9型雙電測四探針測試儀測量原理通過采用四探針雙位組合測量技術，將范德堡測量方法推廣應用到直線四探針上。利用電流探針和電壓探針的組合變換，進行兩次電測量，其最后計算結果能自動消除由樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素所引起的，對測量結果的不利影響。因而在測試過程中，在滿足基本條件下可以不考慮探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置等因素。這種動態地對以上不利因素的自動修正，顯著降低了其對測試結果的影響，從而提高了測量結果的準確度。其優點是目前廣泛使用的常規四探針測量方法根本辦不到的。使用本儀器時，由于不需要人為進行幾何邊界條件和

3、探針間距的修正，因而對各種形狀的簿膜材料及片狀材料有廣泛的適用性。儀器適用于測量片狀半導體材料電阻率以及硅擴散層、離子注入層、異型外延層等半導體器件和液晶玻璃鍍膜層、電熱膜等導電膜的方塊電阻(或稱簿層電阻和面電阻 。儀器由四探針測試儀主機、探針測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，通過RTS-9雙電測四探針軟件測試系統對四探針測試儀主機發出控制指令來獲得用戶需要的測量數據，主機在接收到指令后按照測量程序進行測量(如四探針頭探頭電流探針和電壓探針的組合變換測量、電流量程切換、采集測量數據回主機等），并把采集到的數據反饋回計算機中加以運算、分析，然后把測試數據以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶

4、可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數據輸出到Excel 中，讓用戶對數據進行各種數據分析。2. 技 術 指 標測量范圍電阻率：10-4105 .cm ；方塊電阻：10-3106 /； 電導率：10-5104 .cm ；適合樣品厚度： 4.00 mm ；可測晶片直徑：140mmX150mm （配S-2A 型測試臺）； 200mmX200mm（配S-2B 型測試臺）；400mmX500mm （配S-2C 型測試臺）；恒流源電流量程分為 1A 、10A 、100A 、1mA 、10mA 、100mA 六檔，各檔電流連續可調；數字電壓表量程及表示形式：000.00

5、199.99 mV；分辨力：10V ；輸入阻抗：1000 M； 精度：±0.1%；顯示：四位半紅色發光管數字顯示；極性、超量程自動顯示；四探針探頭基本指標間距：1±0.01mm ；針間絕緣電阻: 1000 M； 機械游移率: 0.3；探針：碳化鎢或高速鋼材質，探針直徑0.5mm ； 探針壓力：5-16 牛頓(總力 ；四探針探頭應用參數見探頭附帶的合格證，合格證含三參數項：C ：探針系數； F ：探針間距修正因子； S ：探針平均間距；模擬電阻測量相對誤差（按 JJG508-87 進行）0.01、0.1、1、10、100、1000、100000.3±字；整機測量最大

6、相對誤差（用硅標樣片:0.01-180.cm 測試）±4；整機測量標準不確定度4；外型尺寸（大約）電氣主機：460mm ×320mm ×100mm ；S-2A 型測試臺：190mm ×140mm ×260mm ； S-2B 型測試臺：300mm ×210mm ×400mm ； S-2C 型測試臺：500mm ×400mm ×350mm ；儀器重量（大約）電氣主機：3.5kg ； S-2A 型測試臺：2kg ； S-2B 型測試臺：2.5kg ； S-2C 型測試臺：4kg ；標準使用環境溫度:：23

7、77;2； 相對濕度：65； 無高頻干擾； 無強光直射；3. 測 量 原 理雙電測組合四探針法采用了以下二種組合的測量模式（見圖1）。 I V 組合1423I V 組合1324圖1將直線四探針垂直壓在被測樣品表面上分別進行I 14V 23和I 13V 24組合測量，測量過程如下： 1. 進行I 14V 23組合測量：電流從針針，從、針測得電壓V23+；電流換向，從針針，從、針測得電壓V23-； 計算正反向測量平均值：V23(V23+ V23- 2；2. 進行I 13V 24組合測量：電流從針針，從、針測得電壓 V24+；電流換向，從針針，從、針測得電壓 V24-； 計算正反向測量平均值：V24

8、(V24+ V24- 2；3. 計算（V23V24）值；（以上V23、V24均以 mV 為單位）；4. 按以下兩公式計算幾何修正因子：若 1.18（V23 V24）1.38 時；K 14.69625.173(V23V24 7.872(V23V24 2 ； (1 若 1.10（V23V24）1.18 時；K 15.8526.15(V23V24 7.872(V23V24 2 ； (25. 計算方塊電阻 R ： ·(V23 (單位： ； (3 其中：為測試電流，單位：mA ；V23為從、針測得電壓V23+和V23-的平均值，單位：mV ；6. 若已知樣品厚度W ，可按下式計算樣品體電阻率：

9、R ·W ·F(W/S10 (單位：.cm ； (4 其中：為方塊電阻值，單位：；W 為樣片厚度，單位：mm （W 4mm ）；S 為探針平均間距，單位：mm ； F(W/S 為厚度修正系數；7. 計算百分變化率（以測試樣品電阻率為例）： M m最大百分變化（）×100 (5 ma c 平均百分變化（）×100 (6 c（M m ）徑向不均勻度（）×100 (7M m以上式中：M 、m 分別為測量的電阻率最大值與最小值，單位：.cm ； c 為第1、2 點（即圓片中心測量點）測量平均值，單位：.cm ； a 為除第1、2 點外其余各點的測量平均

10、值，單位：.cm ；（若測量樣品的方塊電阻值, 則將(5、(6、(7式中的M 、m 、a 、c 分別改成M 、m 、a 、和c 。其公式意義與M 、m 、a 、c 相似）。4儀 器 主 機 面 板 說 明RTS-9型雙電測四探針測試儀主要由主機、測試臺、四探針探頭、計算機四部分組成。主機作為測量裝置的最主要部件，前、后面板的說明如 - 4 -4. 1儀器主機前面板W1W2RTS-9型雙電測四探針測試儀LU項目說明 K1,K2,K3,K4,K5,K6 測量電流量程選擇按鍵，共6個量程, 當按相應的量程時，此量程按鈕上方的指示燈會亮。K7 “R /”測量選擇按鍵，即是測量樣品的方塊電阻還是電阻率的

11、選擇按鍵，開機時自動設置在“ ”位。按下此按鍵會在這兩種測量狀態下切換，按鍵上方的相應的指示燈會亮表示現處的測量類別。K8 “電流/測量“方式選擇按鍵，開機時自動設置在“I ”位；按下此按鍵會在這兩種模式下切換，按鍵上方的相應的指示燈會亮表示現處的狀態。即當處在“I ”時表示數據顯示屏顯示的是樣品測量電流值，用戶可根據測量樣品調節量程按鍵或電位器獲得適合樣品測量的電流。當在“/ R”時表示現處于測量模式下，數據顯示屏顯示的是方塊電阻或電阻率的測量值。 K9 電流換向按鍵，按鍵上方的燈亮時表示反向。滅時表示正向。低阻測試擴展按鍵(只在100mA 量程檔有效, 按鍵上方的燈指示開、關的狀態。 W1

12、,W2 W1 電流粗調電位器；W2 電流細調電位器。 P 與計算機通訊的并口接口。L 顯示測試值的數據顯示屏，在不同的測試狀態下分別用來顯示樣品的測試電流值、方塊電阻測量值、電阻率測量值。 U測試值的單位指示燈。備注：在測量時用戶只需對前面板電位器W1、W2進行操作（調節樣品測試電流值）。前面板的其它按鍵用戶不需在主機上操作，在測量時完全由計算機控制。4. 2儀器主機后面板 項目 說明1 電源開關2 四探針探頭連接插座 3 保險管 4 電源插座 5輸出控制端口5使 用 方 法 RTS-9型雙電測四探針測試儀主要由主機、測試臺、四探針探頭、計算機四部分組成，各部分通過電纜聯接。獲得樣品的測量結果

13、的操作主要通過對計算機上的RTS-9雙電測四探針軟件測試系統的操作對主機進行測量控制，然后把測量數據反饋回計算機上進行數據運算和數據的統計分析，最后得出樣品的測量數據。測量流程圖如下圖所示。 5.1 儀器聯接和主機啟動按儀器后面板說明把“探頭與主機的連接電纜”將安裝于測試臺上的四探針探頭與主機連接好，用“并行通訊電纜”分別連接主機前面板右下角的并行通訊接口和計算機的并行通訊接口，主機接上電源線，開啟后面板的主機電源開關，此時“R ”和“I ”指示燈亮。測試儀的主機預熱約10分鐘后進行測試。5.2 RTS-9雙電測四探針軟件測試系統RTS-9型雙電測四探針測試儀要對樣品進行測試，主要是對RTS-

14、9雙電測四探針軟件測試系統進行操作，用戶必須熟悉對此軟件測試系統的操作和使用。RTS-9型雙電測四探針軟件測試系統是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，程序操作直觀易用。測試程序在計算機與RTS-9型雙電測四探針測試儀連接的狀態下，通過計算機的并口實現通訊。通過對RTS-9型雙電測四探針軟件測試系統操作獲得樣品的測量結果。測試程序控制雙電測四探針測試儀進行測量并采集測試數據，把采集到的數據在計算機中加以分析，然后把測試數據以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數據在計算機中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數據輸出到Excel 中，讓用戶對數據進行各種數據分

15、析。5.2.1 功能特點z 可以選擇進行手動測量或者是自動測量； z 對可疑測量點的數據進行重測；z 詳細記錄被測試材料各種參數，結合測試數據進行數據統計分析； z 以直方圖形式統計分析數據； z 打開、保存、打印測試數據；z把測試數據導出到Excel 中進行更詳細的數據統計分析；5.2.2 系統要求請確定你的電腦是IBM PC兼容型并具備以下最低的系統要求： z Intel 兼容586DX-500MHz 中央處理器或者更高； z 一個IEEE-1284標準并行通訊端口； z 顯示卡分辨率支持1024*768模式；5.2.3 軟件安裝本軟件可安裝在Win98、Win2000、XP 操作系統上。

16、請按以下步驟進行安裝。1. 將四探針軟件測試系統的安裝光盤放入光驅中，執行光盤目錄下的【Setup.exe 】進行安裝。 2. 軟件安裝完成后，請重新啟動計算機。軟件安裝完成后，因計算機和RTS-9型雙電測四探針測試儀是通過并口通訊的，請確認并口（Parallel Port ）在BIOS 中的基地址設置為“378”，模式（Parallel mode）設置為“EPP ”模式。5.2.4啟動/關閉雙電測四探針軟件測試系統啟動程序請進行以下任一操作：1. 單擊Window 【開始】按鈕，選擇【程序】【RTS-9型雙電測四探針測試系統】【RTS-9雙電測四探針測試系統】命令。2. 直接在桌面上點擊【R

17、TS-9雙電測四探針測試系統】快捷方式。 關閉程序：按程序主窗口最右上角的【×】關閉按鈕。5.2.5 四探針軟件測試系統的用戶界面 四探針軟件測試系統啟動后出現如下圖所示的用戶界面。軟件測試系統的用戶界面主要由以下四部分組成，各組成部分的說明如下：1. 【測試基本參數】窗口：用戶可在此窗口中選擇測試材料的類別和輸入測試材料基本屬性數據值（厚度、探針平均間距等）、測試環境數據（溫度、濕度）。2. 【實時采集兩次組合模式下的電壓值】窗口：獲得樣品最新測試點兩次組合模式下的實時電壓正反向值和平均值。3. 【統計測試數據】窗口：記錄和顯示測試材料的各項屬性數據值、測量數據和統計分析后數據。

18、4. 【操作欄】：供用戶進行測量、重測、自動測量、打開、保存、打印等操作的執行按鈕5.2.6 軟件使用 雙電測四探針軟件測試系統具有友好的用戶界面，軟件所有使用功能都位于主程序窗口右端【操作欄】的12個按鈕上，如右圖2所示。用戶只需按下按鈕就可以實現相關的功能?！静僮鳈凇抗灿?2個類別：【測量】、【重測】、【低阻擴展】、【自動測量】、【采樣時間設置】、【新建測試】、【打開】、【存檔】、【輸出Excel 文件】、【打印】、【幫助】、【關于】。軟件的使用也是圍繞這些按鈕功能來實現的。以下將對每一操作按鈕的使用進行說明。在進行【測量】、【重測】、【低阻擴展】、【自動測量】時一定要與RTS-9型雙電測

19、四探針測試儀連機才能使用，【打開】、【存檔】、【輸出Excel 文件】、【打印】的操作在連機或者是脫機狀態下都能使用。1.【測量】【測量】功能和【自動測量】功能是四探針軟件測試系統最主要的功能，通過【測量】和【自動測量】采集RTS-9型雙電測四探針測試儀上被測試材料的測試數據，然后將測試數據在【統計測試數據】窗口顯示和記錄下來，并統計分析測試數據。【測量】功能相當于手動測量，要求用戶自行確定適合測試材料的量程和電流后，再按下此按鈕進行測量。【自動測量】功能會自動比較各電流量程，然后確定最適合測試材料的量程，取得測試數據。在進行測量前請確認RTS-9型四探針測試儀已經正確連接到計算機的并口，并且

20、四探針測試儀的電源已經打開。否則在按下【測量】、【自動測量】、【重測】按鈕后將會彈出如下圖3提示窗口。圖2 操作欄 圖3如果彈出圖3的提示窗口，用戶只需將隨機配帶并口線將四探針測試儀與計算機連接起來，并打開四探針測試儀的電源，然后按下【確定】按鈕程序將會繼續測試下去。如果用戶不想進行測試可以按【取消】按鈕這樣程序將在脫機的狀態下使用。為了更詳細和準確采集、記錄、分析被測試材料的測量數據，請用戶在對測試樣品進行測量前在【測試參數】窗口（如圖4）選擇樣品的測試類別、輸入樣品測試中需要的相關屬性參數值。 圖4 測試參數窗口以下對【選擇測試類別】、【輸入測試基本參數】兩個窗口操作進行說明。1. 選擇測

21、試類別 在此窗口中對要測量的樣品選擇相應的測試類別，用戶可對樣品進行“薄層方塊電阻”和“薄片電阻率”的測量，用戶要選某一測試類別只需點擊相應測試類別即可選定。由于選擇不同的測試類別它的相關基本測量屬性不同，對此窗口的操作會影響到【輸入測試基本參數】窗口和【統計測試數據】窗口一些屬性項的變化。用戶可以嘗試選擇不同的測試類別觀察到這二個窗口中的一些屬性項的增加否者減少（減少的屬性項字體顏色會變灰，表示這些屬性項相對于選擇測試類別無效）。 【輸入測試基本參數】窗口在用戶選擇不同測試類別時，厚度、探針平均間距屬性項會因不同的測試類別需的測試參數不同會自動變無效（屬性項變灰用戶不能操作）【統計測試數據】

22、窗口記錄和顯示的數據也會因不同的測試類別一些屬性項會變無效，無效的屬性項字體變灰色，屬性項數據無顯示2輸入測試基本參數 此窗口輸入測試時的環境參數和被測試材料的各種基本屬性項的數據值。對此窗口的操作會在【統計測試數據】窗口上記錄屬性項的數據值?！据斎霚y試基本參數】窗口的各屬性項有效性會因選擇“薄層方塊電阻”和“薄片電阻率”測試類別時不同而變化（某些屬性項會變灰色表示此屬性項對于選擇的測試類別無效, 屬性項變灰用戶不能操作）?！緶囟取俊ⅰ緶囟取浚簻y試材料時的環境溫度、濕度。【晶片標識】：對測試的材料作標識，可輸入長度為6位的中英文組合字符串，輔助記錄測試的數據。 【厚度】:輸入被測試材料的厚度，

23、此屬性項是測量“薄片電阻率“時必需參數，輸入的厚度值必須在4mm以內才有效(用雙電測方法獲得樣品精確電阻率的條件 ，測量類別是“薄層方塊電阻”時無效。 【電流量程】: 在執行【測量】功能時選擇適當的電流量程來測量樣品的電阻率或方塊電阻。 “薄片電阻率“測量時可參考（表1）選擇量程； “薄層方塊電阻”測量時可參考（表2）選擇量程；對此項的操作可以直接控制四探針測試儀主機的電流量程檔的切換而不用手動到四探針測試儀主機上操作，用戶可通過點擊選擇電流量程檔觀察到四探針測試儀主機電流量程檔的變化（如果在切換不同量程檔時主機電流量程檔沒變化請檢查四探針測試儀主機跟計算機是否已經正確連接）。如無法估計樣品方

24、塊電阻或電阻率的范圍，則可以先按“10A ”量程進行測試，再以該測試結果作為估計值按表1和表2選擇電流量程。如果進行的是【自動測量】可以忽略對此處電流量程選擇，程序會自動比較各量程檔找出適合此樣品的電流量程。表1. 電阻率測量時電流量程選擇表(推薦電阻率(·cm電流量程 < 0.03 100mA 0.03 0.3 10mA 0.3 30 1mA 30 300 100uA 300 300010uA表2. 方塊電阻測量時電流量程選擇表(推薦方塊電阻(/電流量程 < 2.5 100mA 2.0 25 10mA 20 250 1mA 200 2500 100uA 2000 250

25、0010uA【探針平均間距】：RTS-9型四探針測試儀搭配使用的四探針探頭的探針平均間距為1，所以四探針測試系統中此兩屬性項數據值的默認值都為1。用戶可以直接使用此默認值，如果使用的探頭是本公司搭配的產品，除非更換其它探頭。當用戶把以上兩個窗口的數據確定完畢后，就可以按下【測量】按鈕進行測試。此時程序將彈出以下窗口(如下圖所示要求用戶調節RTS-9型雙電測四探針測試儀上的電位器使其測試電流為彈出窗口上計算出來的電流值（此電流值是根據被測試材料的類別、厚度、量程等要素決定的所以每一次測量要調節的電流值不一定相同）。 當用戶確定已經把RTS-9型雙電測四探針測試儀上的電流值調節為窗口上計算出來的電

26、流值。按下【確定】按鈕測量將繼續，此時【測量】按鈕的背景色變成綠色，同時顯示【測量】按鈕的文字變成“測量中”“請稍候”(如下圖所示表示測試正在進行中，計算機與四探針測試儀正在通訊中。 在計算機與主機測量控制采集數據過程中【實時采集兩次組合模式下的電壓值】窗口將實時顯示樣品現正測量點的兩次組合模式下電壓正反向值、平均值（如下圖5所示）。 圖5當測試數據采集完畢，此時【測量】按鈕的背景色和按鈕文字回復原來的狀態，同時【統計測試數據】窗口將會記錄和顯示出此次采集到的測試數據和相關的的統計分析數據?！窘y計測試數據】窗口如下圖(圖6 所示， 圖6以下把 【統計測試數據】窗口分成四部分，說明每一部分記錄和

27、統計分析的各項數據表示的含義。 圖71. 上圖（圖7）記錄的是被測試材料各基本屬性項的數據值和測試時的環境參數值。（如：用戶在【輸入測試基本參數】窗口選擇和輸入了被測試材料的各基本屬性項的數據值，和根據用戶輸入的材料屬性計算出來的電流值、厚度修正因子） 圖82. 上圖（圖8）記錄每一次樣品測量點的V23、V24的正反向電壓、電阻率（方塊電阻）、電導率，如果測的是方塊電阻電導率項將無效，還有每次測試采樣的日期和時間。 圖93. 上圖（圖9）分析數據欄會分析所有測量點電阻率(方塊電阻 ，然后統計出全部測量點的電阻率（方塊電阻）最大、最小、平均值、最大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度。z 最大百

28、分變化：(%100×m m M ；z 平均百分變化：%100×c c a ；z 徑向不均勻度：(%1002×+m M m M ；以上公式中M 、m 分別為測量的電阻率（方塊電阻）最大值與最小值。c 為第1、2點(即圓片中心測量點 測量平均值。a 為除1、2點外其余各點的測量平均值。如測量不足3點，則不計算“平均百分變化”值，要得到此值的精確值，測量點的第1點和第2點必須是測量樣品的中心點。(若測量樣品的方塊電阻值, M 、m 、a 、c 分別改成R M 、R m 、R a 、R c 。 圖104. 上圖（圖10）顯示的是被測試材料電阻率(方塊電阻 的直方圖，X 軸

29、表示電阻率（方塊電阻）各區間的值。Y 軸表示各區間值的頻數。至此本次測量已結束。每按一次【測量】按鈕，【統計測試數據】窗口記錄的測量結果就會增加一項（即點數增加）。 用戶如果發現測試如果有異常，可對測試點進行重測。如果重測后問題依然存在，請進行采樣時間設置。請參考操作欄功能說明5.【采樣時間設置】。2.【重測】當用戶發現測量點采集的測試數據的電阻率(方塊電阻有異常，可按此按扭可對測量點進行重新測量。重測功能可以對已經測量了的任意測量點進行重測，默認的狀態下按下此按鈕進行重測是對最新的測量點進行重測。如果要對已經測量了的任意測量點進行重測，用戶只需點擊要進行重測的點，此記數點的背景色將會變青色，

30、表示此測量點已經被選定(如下圖中表示第2點已經被選定，如果是對最新的測試點進行重測可以不用選定最新測試點，直接按重測按鈕就可以了。 當用戶按下【重測】按鈕后也會像【測量】功能按鈕一樣按鈕的背景色變成青色，同時【重測】按鈕的文字變成“重測中”“請稍候”(如下圖所示表示重測正在進行中。 重測完成后，進行重新測量的點的測試數據將會替換成新的數據。3.【低阻擴展】當測試材料的電阻率0.01.cm或方塊電阻0.1/時，為了提高設備的分辨能力請使用低阻擴展功能。要進行低阻擴展功能必需滿足以下條件，電流量程檔已經選擇了100mA 檔，如果電流量程檔不在100mA 檔，按下【低阻擴展】按鈕會彈出一窗口表示在此

31、量程檔下不能使用低阻擴展功能。 當用戶的電流量程檔已經選擇了100mA 檔，按下【低阻擴展】按鈕，此時按鈕的背景色會變成青色表示此時處于低阻擴展測試狀態下。要退出低阻擴展測試狀態可以點擊電流量程選擇框切換到任一量程檔，即可退出【低阻擴展】按鈕的背景色會變回灰色。4.【自動測量】【自動測量】功能跟【測量】功能主要區別在于當用戶在不知道被測試材料的電流量程，不需逐檔測量就可以自動比較各電流量程檔，找到適合被測試材料的電流量程。當用戶按下【自動測量】按鈕，將會彈出如下圖所示（圖11）的窗口，此時四探針測試儀主機的電流量程檔切換到10A，并要求用戶調節四探針測試儀主機的電流為10.000A。調節完電流

32、后就可以按下【確定】按鈕進行自動測量，如果用戶不能調節到10.000A請按【取消】按鈕退出自動測試（只有調節到10.000A狀態下，使用【自動測量】功能測量的數據才正確）。 用戶在使用【自動測量】功能前與使用【測量】功能一樣對測試樣品進行測量前要在【測試參數】窗口選擇測試類別、輸入材料的相關屬性參數值、確定測量點的位置，只是電流量程不用確定程序會自動比較。測試參數設定完畢后，然后按下【自動測量】按鈕進行自動測量。 圖11自動測量從電流量程檔10A開始檢測起直至檢測到適合此測試材料的電流量程（如果被測試的材料電阻率（方塊電阻）的值不在RTS-9型雙電測四探針測試儀測量范圍內，會彈出一窗口提示用戶

33、），最后把測試材料的測試數據在【統計測試數據】窗口顯示出來。當第一次自動測量完成后，此時測試材料的電流量程已經確定下來，【自動測量】按鈕的背景色會變成青色表示樣品通過自動測量后已經確定了適合樣品的測試量程，用戶在測量同一樣品或者是同類樣品時就不需要再執行【自動測量】按鈕，直接按【測量】按鈕就可以在此量程檔下得到測試數據,如果用戶繼續執行【自動測量】按鈕將從已經確定了的量程檔開始比較各量程。當用戶檢測完此次測試的樣品，要檢測新的樣品時，請按【新建測試】按鈕退出此次自動測量確定電流量程的狀態，【自動測量】按鈕的背景色會變回灰色。建議：如果用戶確切知道被測試材料的電流量程檔請不要用自動測量功能，因為

34、自動測量功能會耗費不少的測試時間，因為它要比較每一量程檔找到最適合此測試材料的電流量程。用戶也可以參考自動測量的測試結果的值，結合我們推薦的測試電阻率、方塊電阻時電流量程的表格，手動選擇適合此樣品的電流量程檔。5.【采樣時間設置】 在進行測量時不同的材料及測量環境會影響測試的準確性。當用戶測量時如果發現四探針軟件測試系統測試數據跟四探針測試儀LED上的實際讀數誤差太大請進行采樣時間設置，用戶按下此按鈕后將彈出如右圖所示的窗口，讓用戶進行采樣時間的設置。窗口對為什么要進行采樣時間設置有相關的介紹。用戶在此窗口中可對每一檔的電流量程采樣延遲時間(以秒為單位 進行設置，當用戶設置了采樣時間后按下【應用】按鈕此次設置將生效。新的測試或者是重測將以此為采樣延遲時間。用戶可對此進行調試以確定一個最小的延遲時間來提高測量速度 。測試電阻越大需要的延遲時間就越高