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文檔簡介

1、ORC EXP-2001BL 自動曝光機操作手冊Jun. 2003華展光電股份有限公司翻譯主電源開啟Full Automatic UV Exposure System操作鑰鎖開啟1.1 原點復歸模式：在主畫面中選擇原點復歸模式 啟 動 原點復歸動作開始原點 復歸完畢後,回到主畫面,此時綠色燈亮起 結 束 1.2 原點復歸下有基板狀態： 啟 動 當執行啟動時,投入手臂會移動到曝光臺面處此時請將多餘基板取回以完成原點復歸動作1.3 原點復歸監控各部位置狀態：此畫面可幫助確認原點復歸動作,於那一動作未復歸完成.2.1 分段運轉模式：分段運轉是自動運轉前的準備作業,主要是執行底片架設及對位把點的讀取.

2、在主畫面中 選擇分段投入搬送器確認吸著位置 照相機設定曝光量設定設定基板厚度設定基板尺寸設定PCB基板置於投入部確認位置決定的基板狀態確認投入搬送器吸著盒位置底片設定照相機設定畫面處理確認排出器吸著盒位置2.2 在分段運轉模式：在選擇底片回收,則是將底片拆除取下.2.3 在分段運轉模式：選擇曝光設定,則是測量照度強弱便設定能量.2.4 在分段運轉模式：選擇底片清掃,則是將玻璃取出固定清潔底片.3.1 自動運轉模式：啟 動開始自動運轉停止循環停止按下後,機臺會將目前存於機臺內之基板,生產完畢及運轉停止.所有機械動作,立即停止.停止操作後即按下Menu回到頁面進行原點復歸.3.2 自動運轉中發生異常處理：1) 安全開關異常.2) 門打開異常.3) 照相機位置異常.4) 對位異常.5) 貼付異常6) 重複對位次數異常.7) 投入手臂吸著異常.8) 排出手臂吸著異常.3.3 自動運轉下可選擇通過模式：即是不曝光對位將基板送到下一流段A底片真空通過曝光 整合對位4.1 手動操作模式：P 2180062b0f705ccb499bf961a5fa38f947.pdf5.1 管理模式：5.2 時間管理模式：6.1 基板位置狀態表示畫面：可監控生產基板目前

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