1、并聯(lián)機(jī)床的設(shè)計(jì)理論與關(guān)鍵技術(shù)詳解并聯(lián)機(jī)床的設(shè)計(jì)理論與關(guān)鍵技術(shù) 1概述 為了提高對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的適應(yīng)性，滿足快速多變的市場(chǎng)需求，近年來全球機(jī)床制造 業(yè)都在積極探索和研制新型多功能的制造裝備與系統(tǒng)，其中在機(jī)床結(jié)構(gòu)技術(shù)上的 突破性進(jìn)展當(dāng)屬90年代中期問世的并聯(lián)機(jī)床(Parallel Machine Tool) ，又稱虛(擬)軸機(jī)床(Virtual Axis Machine Tool)或并聯(lián)運(yùn)動(dòng)學(xué)機(jī)器(Parallel Kinem atics Mach ine)。并聯(lián)機(jī)床實(shí)質(zhì)上是機(jī)器人技術(shù)與機(jī)床結(jié)構(gòu)技術(shù)結(jié)合的產(chǎn)物， 其 原型是并聯(lián)機(jī)器人操作機(jī)。與實(shí)現(xiàn)等同功能的傳統(tǒng)五坐標(biāo)數(shù)控機(jī)床相比， 并聯(lián)機(jī) 床具有如下優(yōu)

2、點(diǎn):剛度重量比大：因采用并聯(lián)閉環(huán)靜定或非靜定桿系結(jié)構(gòu)，且在準(zhǔn)靜態(tài)情況下，傳 動(dòng)構(gòu)件理論上為僅受拉壓載荷的二力桿，故傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的單位重量具有很高的承載 能力。響應(yīng)速度快：運(yùn)動(dòng)部件慣性的大幅度降低有效地改善了伺服控制器的動(dòng)態(tài)品質(zhì), 允許動(dòng)平臺(tái)獲得很高的進(jìn)給速度和加速度，因而特別適于各種高速數(shù)控作業(yè)。環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)：便于可重組和模塊化設(shè)計(jì)，且可構(gòu)成形式多樣的布局和自由度組 合。在動(dòng)平臺(tái)上安裝刀具可進(jìn)行多坐標(biāo)銑、鉆、磨、拋光，以及異型刀具刃磨等 加工。裝備機(jī)械手腕、高能束源或CCD攝像機(jī)等末端執(zhí)行器，還可完成精密裝配、 特種加工與測(cè)量等作業(yè)。技術(shù)附加值高：并聯(lián)機(jī)床具有“硬件”簡(jiǎn)單，“軟件”復(fù)雜的特點(diǎn)，是一

3、種技術(shù) 附加值很高的機(jī)電一體化產(chǎn)品，因此可望獲得高額的經(jīng)濟(jì)回報(bào)。目前，國際學(xué)術(shù)界和工程界對(duì)研究與開發(fā)并聯(lián)機(jī)床非常重視，并于90年代中期 相繼推出結(jié)構(gòu)形式各異的產(chǎn)品化樣機(jī)。1994年在芝加哥國際機(jī)床博覽會(huì)上，美 國Ingersoll 銑床公司、Giddings & Lewis 公司和Hexal公司首次展出了稱為“六足蟲” (Hexapod)和“變異型”(VARIAX)的數(shù)控機(jī)床與加工中心，弓I起轟動(dòng)。 此后，英國Geodetic公司，俄羅斯Lapik公司，挪威Multicraft 公司，日本豐 田、日立、三菱等公司,瑞士 ETZH和IFW研究所，瑞典Neos Robotics公司， 丹麥

4、Braunschweig公司，德國亞琛工業(yè)大學(xué)、漢諾威大學(xué)和斯圖加特大學(xué)等單 位也研制出不同結(jié)構(gòu)形式的數(shù)控銑床、激光加工和水射流機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)和加 工中心。與之相呼應(yīng)，由美國 Sandia國家實(shí)驗(yàn)室和國家標(biāo)準(zhǔn)局倡議，已于 1996年專門成立了 Hexa pod用戶協(xié)會(huì)，并在國際互聯(lián)網(wǎng)上設(shè)立站點(diǎn)。近年來，與并聯(lián)機(jī)床和并聯(lián)機(jī)器人操作機(jī)有關(guān)的學(xué)術(shù)會(huì)議層出不窮，例如第4749屆CIRP年會(huì)、 19981999年CIRA大會(huì)、ASM第25屆機(jī)構(gòu)學(xué)雙年會(huì)、第10屆TMM世界大會(huì)均有大量文章涉及這一領(lǐng)域。由美國國家科學(xué)基金會(huì)動(dòng)議，1998年在意大利米蘭召開了第一屆國際并聯(lián)運(yùn)動(dòng)學(xué)機(jī)器專題研討會(huì)，并決定第二屆

5、研討會(huì)于2000年 在美國密執(zhí)安大學(xué)舉行。19941999年期間，在歷次大型國際機(jī)床博覽會(huì)上均 有這類新型機(jī)床參展，并認(rèn)為可望成為21世紀(jì)高速輕型數(shù)控加工的主力裝備。我國已將并聯(lián)機(jī)床的研究與開發(fā)列入國家“九五”攻關(guān)計(jì)劃和863高技術(shù)發(fā)展計(jì)劃，相關(guān)基礎(chǔ)理論研究連續(xù)得到國家自然科學(xué)基金和國家攀登計(jì)劃的資助。部分 高校還將并聯(lián)機(jī)床的研發(fā)納入教育部 211工程重點(diǎn)建設(shè)項(xiàng)目，并得到地方政府部 門的支持且吸引了機(jī)床骨干企業(yè)的參與。在國家自然科學(xué)基金委員會(huì)的支持下,中國大陸地區(qū)從事這方面研究的骨干力量，于1999年6月在清華大學(xué)召開了我國第一屆并聯(lián)機(jī)器人與并聯(lián)機(jī)床設(shè)計(jì)理論與關(guān)鍵技術(shù)研討會(huì)，對(duì)并聯(lián)機(jī)床的發(fā)展

6、現(xiàn)狀、未來趨勢(shì)以及亟待解決的問題進(jìn)行了研討。并聯(lián)機(jī)床設(shè)計(jì)理論與關(guān)鍵技術(shù) 概念設(shè)計(jì) 概念設(shè)計(jì)是并聯(lián)機(jī)床設(shè)計(jì)的首要環(huán)節(jié)， 其目的是在給定所需自由度條件下， 尋求 含一個(gè)主剛體（動(dòng)平臺(tái)）的并聯(lián)機(jī)構(gòu)桿副配置、驅(qū)動(dòng)方式和總體布局的各種可能組 合合。按照支鏈中所含伺服作動(dòng)器數(shù)目不同， 并聯(lián)機(jī)床可大致分為并聯(lián)、串并聯(lián)和混聯(lián)3種類型。前兩者在一條支鏈中僅含一個(gè)或一個(gè)以上的作動(dòng)器，以直接生成36 個(gè)自由度；而后者則通過2個(gè)或多個(gè)少自由度并聯(lián)或串聯(lián)機(jī)構(gòu)的串接組合生成所 需的自由度。按照作動(dòng)器在支鏈中的位置不同，并聯(lián)機(jī)床可采用內(nèi)副和外副驅(qū)動(dòng)， 且一般多采用線性驅(qū)動(dòng)單元，如伺服電機(jī)一滾珠絲杠螺母副或直線電機(jī)等。 機(jī)架

7、 結(jié)構(gòu)的變化可使得并聯(lián)機(jī)床的總體布局具有多樣性，但同時(shí)也使工作空間的大 小、形狀以及運(yùn)動(dòng)靈活度產(chǎn)生很大差異。因此，在制定總體布局方案時(shí)，應(yīng)采用 概念設(shè)計(jì)與運(yùn)動(dòng)學(xué)設(shè)計(jì)交互方式，并根據(jù)特定要求做出決策。通過更換末端執(zhí)行器便可在單機(jī)上實(shí)現(xiàn)多種數(shù)控作業(yè)是并聯(lián)機(jī)床的優(yōu)點(diǎn)之一。然 而由于受到鉸約束、支鏈干涉、特別是位置與姿態(tài)耦合等因素的影響，致使動(dòng)平 臺(tái)實(shí)現(xiàn)姿態(tài)能力有限是各種6自由度純并聯(lián)機(jī)構(gòu)的固有缺陷，難于適應(yīng)大傾角多 坐標(biāo)數(shù)控作業(yè)的需要。目前并聯(lián)機(jī)床一個(gè)重要的發(fā)展趨勢(shì)是采用混聯(lián)機(jī)構(gòu)分別實(shí) 現(xiàn)平動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)自由度。這種配置不但可使平動(dòng)與轉(zhuǎn)動(dòng)控制解耦， 而且具有工作空 間大和可重組性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。特別是由于位置正

8、解存在解析解答， 故為數(shù)控編程和 誤差補(bǔ)償提供了極大的方便。應(yīng)該強(qiáng)調(diào)， 傳統(tǒng)機(jī)床的發(fā)展已有數(shù)百年歷史， 任何 希望從純機(jī)構(gòu)學(xué)角度創(chuàng)新而試圖完全摒棄傳統(tǒng)機(jī)床結(jié)構(gòu)布局與制造工藝合理部 分的設(shè)想都將是有失偏頗的。運(yùn)動(dòng)學(xué)設(shè)計(jì) 并聯(lián)機(jī)床運(yùn)動(dòng)學(xué)設(shè)計(jì)包括工作空間定義與描述，以及工作空間分析與綜合兩大內(nèi) 容。合理地定義工作空間是并聯(lián)機(jī)床運(yùn)動(dòng)學(xué)設(shè)計(jì)的首要環(huán)節(jié)。與傳統(tǒng)機(jī)床不同, 并聯(lián)機(jī)床的工作空間是各支鏈工作子空間的交集，一般是由多張空間曲面片圍成 的閉包。為了適合多坐標(biāo)數(shù)控作業(yè)的需要， 通常將靈活（巧）度工作空間的規(guī)則內(nèi) 接幾何形體定義為機(jī)床的編程工作空間。對(duì)于純6自由度并聯(lián)機(jī)床，動(dòng)平臺(tái)實(shí)現(xiàn) 位置和姿態(tài)的能力是

9、相互耦合的，即隨著姿態(tài)的增加，工作空間逐漸縮小。因此, 為了實(shí)現(xiàn)動(dòng)平臺(tái)實(shí)現(xiàn)位姿能力的可視化，往往還需用位置空間或姿態(tài)空間進(jìn)行降 維描述。工作空間分析與綜合是并聯(lián)機(jī)床運(yùn)動(dòng)學(xué)設(shè)計(jì)的核心內(nèi)容。廣義地，工作空間分析 涉及在已知尺度參數(shù)和主動(dòng)關(guān)節(jié)變量變化范圍條件下，評(píng)價(jià)動(dòng)平臺(tái)實(shí)現(xiàn)位姿的能 力；尺度綜合則是以在編程空間內(nèi)實(shí)現(xiàn)預(yù)先給定的位姿能力并使得操作性能最優(yōu) 為目標(biāo)，確定主動(dòng)關(guān)節(jié)變量的變化范圍和尺度參數(shù)。工作空間分析可借助數(shù)值法或解析法。前者的核心算法為，根據(jù)工作空間邊界必 為約束起作用邊界的性質(zhì)，利用位置逆解和K-T條件搜索邊界點(diǎn)集。后者的基本 思路是，將并聯(lián)機(jī)構(gòu)拆解成若干單開鏈，利用曲面包絡(luò)論求解各

10、單開鏈子空間邊 界，再利用曲面求交技術(shù)得到整體工作空間邊界。尺度綜合是實(shí)現(xiàn)并聯(lián)機(jī)床運(yùn)動(dòng)學(xué)設(shè)計(jì)的最終目標(biāo)， 原則上需要兼顧動(dòng)平臺(tái)實(shí)現(xiàn)位 姿的能力、運(yùn)動(dòng)靈活度、支鏈干涉等多種因素。針對(duì) 6自由度并聯(lián)機(jī)床，目前可 以利用的尺度綜合方法可以分為：基于各向同性條件的尺度綜合，兼顧各向同性 條件和動(dòng)平臺(tái)姿態(tài)能力的尺度綜合，以及基于總體靈活度指標(biāo)的加權(quán)綜合 3種方法。第1種方法因僅依賴滿足各向同性條件時(shí)的尺度參數(shù)關(guān)系，故存在無窮多組解答。第2種方法針對(duì)動(dòng)平臺(tái)在給定工作空間中實(shí)現(xiàn)預(yù)定姿態(tài)能力的需要，通過 施加適當(dāng)約束，可有效地解決多解問題。 第3種方法較為通用，通常以雅可比矩 陣條件數(shù)關(guān)于工作空間的一次矩最小

11、為目標(biāo)， 將尺度綜合問題歸結(jié)為一類泛函極 值問題。值得指出，第2種方法僅適用某些并聯(lián)機(jī)構(gòu)（如Stewart平臺(tái)）；而第3種方法除計(jì)算效率低外，還不能兼顧動(dòng)平臺(tái)實(shí)現(xiàn)姿態(tài)的能力。因此，針對(duì)不同類 型的并聯(lián)機(jī)床，研究兼顧多種性能指標(biāo)的高效尺度綜合方法將是一項(xiàng)極有意義的 工作。動(dòng)力學(xué)問題 剛體動(dòng)力學(xué)逆問題是并聯(lián)機(jī)床動(dòng)力分析、整機(jī)動(dòng)態(tài)設(shè)計(jì)和控制器參數(shù)整定的理論相應(yīng)的基礎(chǔ)。這類問題可歸結(jié)為已知?jiǎng)悠脚_(tái)的運(yùn)動(dòng)規(guī)律，求解鉸內(nèi)力和驅(qū)動(dòng)力。建模方法可采用幾乎所有可以利用的力學(xué)原理， 如牛頓-尤拉法、拉格朗日方程、 虛功原理、凱恩方程等。由于極易由雅可比和海賽矩陣建立操作空間與關(guān)節(jié)空間速度和加速度的映射關(guān)系，并據(jù)此構(gòu)

12、造各運(yùn)動(dòng)構(gòu)件的廣義速度和廣義慣性力，因 此有理由認(rèn)為，虛功（率）原理是首選的建模方法。動(dòng)態(tài)性能是影響并聯(lián)機(jī)床加工效率和加工精度的重要指標(biāo)。并聯(lián)機(jī)器人的動(dòng)力性能評(píng)價(jià)完全可以沿用串聯(lián)機(jī)器人的相應(yīng)成果，即可用動(dòng)態(tài)條件數(shù)、動(dòng)態(tài)最小奇異 值和動(dòng)態(tài)可操作性橢球半軸長(zhǎng)幾何均值作為指標(biāo)。與機(jī)器人不同，金屬切削機(jī)床動(dòng)態(tài)特性的優(yōu)劣主要是基于對(duì)結(jié)構(gòu)抗振性和切削穩(wěn)定性的考慮。動(dòng)態(tài)設(shè)計(jì)目標(biāo) 般可歸結(jié)為，提高整機(jī)單位重量的靜剛度；通過質(zhì)量和剛度合理匹配使得低階主 導(dǎo)模態(tài)的振動(dòng)能量均衡；以及有效地降低刀具與工件間相對(duì)動(dòng)柔度的最大負(fù)實(shí) 部，以期改善抵抗切削顫振的能力。由此可見，機(jī)器人與機(jī)床二者間動(dòng)態(tài)性能評(píng) 價(jià)指標(biāo)是存在一定差

13、異的。事實(shí)上，前者沒有計(jì)及對(duì)結(jié)構(gòu)支撐子系統(tǒng)動(dòng)態(tài)特性的影響，以及對(duì)工作性能的特殊要求；而后者未考慮運(yùn)動(dòng)部件慣性及剛度隨位形變 化的時(shí)變性和非線性。因此，深入探討并聯(lián)機(jī)床這類機(jī)構(gòu)與結(jié)構(gòu)耦合的、具有非 定長(zhǎng)和非線性特征的復(fù)雜機(jī)械系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)建模和整機(jī)動(dòng)態(tài)設(shè)計(jì)方法， 將是一項(xiàng)極 富挑戰(zhàn)性的工作。這項(xiàng)工作對(duì)于指導(dǎo)控制器參數(shù)整定，改善系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)品質(zhì)也是 極為重要的。精度設(shè)計(jì)與運(yùn)動(dòng)學(xué)標(biāo)定 精度問題是并聯(lián)機(jī)床能否投入工業(yè)運(yùn)行的關(guān)鍵。并聯(lián)機(jī)床的自身誤差可分為準(zhǔn)靜 態(tài)誤差和動(dòng)態(tài)誤差。前者主要包括由零部件制造與裝配、鉸鏈間隙、伺服控制、 穩(wěn)態(tài)切削載荷、熱變形等引起的誤差；后者主要表現(xiàn)為結(jié)構(gòu)與系統(tǒng)的動(dòng)特性與切 削過程耦

14、合所引起的振動(dòng)產(chǎn)生的誤差。 機(jī)械誤差是并聯(lián)機(jī)床準(zhǔn)靜態(tài)誤差的主要來 源，包括零部件的制造與裝配誤差。目前，由于尚無有效的手段檢測(cè)動(dòng)平臺(tái)位姿 信息，因而無法實(shí)現(xiàn)全閉環(huán)控制條件下，通過精度設(shè)計(jì)與運(yùn)動(dòng)學(xué)標(biāo)定改善機(jī)床的 精度就顯得格外重要。精度設(shè)計(jì)是機(jī)床誤差避免技術(shù)的重要內(nèi)容，可概括為精度預(yù)估與精度綜合兩類互 逆問題。精度預(yù)估的主要任務(wù)是，按照某一精度等級(jí)設(shè)定零部件的制造公差， 根 據(jù)閉鏈約束建立誤差模型，并在統(tǒng)計(jì)意義下預(yù)估刀具在整個(gè)工作空間的位姿方差，最后通過靈敏度分析修改相關(guān)工藝參數(shù)， 直至達(dá)到預(yù)期的精度指標(biāo)。工程設(shè) 計(jì)中，更具意義的工作是精度綜合，即精度設(shè)計(jì)的逆問題。精度綜合是指預(yù)先給 定刀具在工

15、作空間中的最大位姿允差（或體積誤差），反求應(yīng)分配給零部件的制造 公差，并使它們達(dá)到某種意義下的均衡。精度綜合一般可歸結(jié)為一類以零部件的 制造公差為設(shè)計(jì)變量，以其關(guān)于誤差靈敏度矩陣的加權(quán)歐氏范數(shù)最大為目標(biāo)， 及以公差在同一精度等級(jí)下達(dá)到均衡為約束的有約束二次線性規(guī)劃問題。運(yùn)動(dòng)學(xué)標(biāo)定，又稱為精度補(bǔ)償或基于信息的精度創(chuàng)成， 是提高并聯(lián)機(jī)床精度的重 要手段。運(yùn)動(dòng)學(xué)標(biāo)定的基本原理是，利用閉鏈約束和誤差可觀性，構(gòu)造實(shí)測(cè)信息 與模型輸出間的誤差泛函，并用非線性最小二乘技術(shù)識(shí)別模型參數(shù)， 再用識(shí)別結(jié) 果修正控制器中的逆解模型參數(shù)， 進(jìn)而達(dá)到精度補(bǔ)償?shù)哪康摹８咝?zhǔn)確的測(cè)量方 法是實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)學(xué)標(biāo)定的首要前提。根據(jù)測(cè)

16、量輸出不同，通常可采用2類運(yùn)動(dòng)學(xué)標(biāo) 定方法：利用內(nèi)部觀測(cè)器所獲信息的自標(biāo)定方法， 其一般需要在從動(dòng)鉸上安裝 傳感器（如在虎克鉸上安裝編碼器）；檢測(cè)刀具位姿信息的外部標(biāo)定方法， 其原 則上需要高精度檢具和昂貴的五坐標(biāo)檢測(cè)裝置。數(shù)控系統(tǒng) 從機(jī)床運(yùn)動(dòng)學(xué)的觀點(diǎn)看，并聯(lián)機(jī)床與傳統(tǒng)機(jī)床的本質(zhì)區(qū)別在于動(dòng)平臺(tái)在笛卡爾空 間中的運(yùn)動(dòng)是關(guān)節(jié)空間伺服運(yùn)動(dòng)的非線性映射 （又稱虛實(shí)映射）。因此，在進(jìn)行運(yùn) 動(dòng)控制時(shí)，必須通過位置逆解模型，將事先給定的刀具位姿及速度信息變換為伺 服系統(tǒng)的控制指令，并驅(qū)動(dòng)并聯(lián)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)刀具的期望運(yùn)動(dòng)。 由于構(gòu)型和尺度參數(shù)不同，導(dǎo)致不同并聯(lián)機(jī)床虛實(shí)映射的結(jié)構(gòu)和參數(shù)不盡相同，因此采用開放式體系 結(jié)

17、構(gòu)建造數(shù)控系統(tǒng)是提高系統(tǒng)適用性的理想途徑。為了實(shí)現(xiàn)對(duì)刀具的高速高精度軌跡控制，并聯(lián)機(jī)床數(shù)控系統(tǒng)需要高性能的控制硬 件和軟件。系統(tǒng)軟件通常包括用戶界面、數(shù)據(jù)預(yù)處理、插補(bǔ)計(jì)算、虛實(shí)變換、LC控制、安全保障等模塊，并需要簡(jiǎn)單、可靠、可作底層訪問，且可完成多任 務(wù)實(shí)時(shí)調(diào)度的操作系統(tǒng)。友好的用戶界面是實(shí)現(xiàn)并聯(lián)機(jī)床工業(yè)運(yùn)行不可忽視的重要因素。由于操作者已習(xí) 慣傳統(tǒng)數(shù)控機(jī)床操作面板及有關(guān)術(shù)語和指令系統(tǒng)， 故基于方便終端用戶使用的考 慮，在開發(fā)并聯(lián)機(jī)床數(shù)控系統(tǒng)用戶界面時(shí)， 必須將其在傳動(dòng)原理方面的特點(diǎn)隱藏在系統(tǒng)內(nèi)部，而使提供給用戶或需要用戶處理的信息盡可能與傳統(tǒng)機(jī)床一致。這 些信息通常包括操作面板的顯示，數(shù)控

18、程序代碼和坐標(biāo)定義等。實(shí)時(shí)插補(bǔ)計(jì)算是實(shí)現(xiàn)刀具高速、高精度軌跡控制的關(guān)鍵技術(shù)。在以工業(yè)PC和開 放式多軸運(yùn)控板為核心搭建的并聯(lián)機(jī)床數(shù)控系統(tǒng)中，常用且易行的插補(bǔ)算法是, 根據(jù)精度要求在操作空間中離散刀具軌跡，并根據(jù)硬件所提供的插補(bǔ)采樣頻率,按時(shí)間軸對(duì)離散點(diǎn)作粗插補(bǔ)，然后通過虛實(shí)變換將數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化到關(guān)節(jié)空間， 再送入 控制器進(jìn)行精插補(bǔ)。注意到在操作空間中兩離散點(diǎn)間即便是簡(jiǎn)單的直線勻速運(yùn)動(dòng)，也將被轉(zhuǎn)化為關(guān)節(jié)空間中各軸相應(yīng)兩離散點(diǎn)間的變速運(yùn)動(dòng)，因此若仍使關(guān)節(jié) 空間中各軸兩離散點(diǎn)間作勻速運(yùn)動(dòng)，則將在操作空間中合成復(fù)雜的曲線軌跡。 為 此，必須對(duì)離散點(diǎn)密化以創(chuàng)成高速、高精度的刀具軌跡。這不僅需要大幅度提高 控制器的插補(bǔ)速率，而且需要有效地處理速度過渡問題。關(guān)鍵基礎(chǔ)件關(guān)鍵基礎(chǔ)件的專業(yè)化和系列化配套是建造高速高精度并聯(lián)機(jī)床，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的可重 組和模塊化設(shè)計(jì)，以及大幅度降低制造成本的物質(zhì)保證。這項(xiàng)工作也是將并聯(lián)機(jī) 床推向市場(chǎng)的重要環(huán)節(jié)。并聯(lián)機(jī)床所需的關(guān)鍵基礎(chǔ)件包括功率體積比大的高速電 主軸單元、高速高性能直線電機(jī)、精密絲杠導(dǎo)軌副、結(jié)構(gòu)緊湊且可調(diào)隙的精密滾動(dòng)球軸承和卡當(dāng)鉸，以及高精度光柵和激光測(cè)量定位系統(tǒng)等。目前，國外已有專 業(yè)生產(chǎn)廠（如德