1、電子有限公司文件文件編號(hào)共4頁(yè)版本A電子有限公司堅(jiān)膜、蝕刻作業(yè)指導(dǎo)書發(fā)布日期生效日期編制審核批準(zhǔn)一.目的:本指導(dǎo)書規(guī)定堅(jiān)膜、蝕刻工位的工作內(nèi)容及步驟。二.范圍:本指導(dǎo)書用于堅(jiān)膜、蝕刻操作過程。 三.設(shè)備及工裝: 固化爐、蝕刻機(jī)四.材料: 主要材料：ITO玻璃、 EC-101 無泡沫清洗劑、Na0H（分析純） 輔助材料：丙酮（電子級(jí)）、雙氧水、手指套、 M3 紙、白潔布等。 五.工藝步驟:5.1 作業(yè)流程蝕刻3蝕刻2蝕刻1液切吹氣堅(jiān)膜末端DI 噴水 淋純噴水淋3純噴水淋2純噴水淋1液切 風(fēng)刀吹干5.2 工藝主要參數(shù)及控制要點(diǎn)后固化爐熱板溫度（±5） ：40、60、80、95、110&#

2、215;5、100、85、65、45、30； 后固化時(shí)間（210±20）s（每片玻璃周期：15s 、玻璃熱板停留時(shí)間：10s）。2.0 六、蝕刻主要參數(shù)及控制要點(diǎn) 6.1 吹氣 吹氣壓力：（0.150.2）MPa ； 吹氣角度：45°（吹氣角度）； 氣刀高度： （5.0±1.0）mm 。 6.2 蝕刻液噴淋 蝕刻液（小王水）：HCl（濃）：HNO3（濃）：H2O1：（0.050.1）：1 （體積比）； 總酸濃度 C（H+） ：（6.06.5） mol/L（酸堿滴定分析）； 蝕刻液溫度：（46±1） ；6.2.4 不同方阻玻璃的蝕刻速度和蝕刻時(shí)間： 標(biāo)稱方

3、阻速度（表顯示值） 時(shí)長(zhǎng) 100/ 2.40±0.10 m/min 230±10 80/ 2.00±0.10 m/min 300±10 60/ 1.80±0.05 m/min 320±10 40/ 1.60±0.05 m/min 340±10 20/ 1.35±0.05 m/min 420±10 15/ 0.90±0.05 m/min 630±20 10/ 0.80±0.05 m/min730±206.2.5 蝕刻液的噴淋方式：搖擺式噴淋； 6.2.6 噴

4、淋角度：略向后約 15°（以噴嘴的垂直向下方向?yàn)?°） 。 6.3 液切風(fēng)刀 6.3.1 吹氣壓力：液切風(fēng)刀 1 壓力（0.20±0.05）MPa，液切風(fēng)刀 2 壓力（0.20±0.05）MPa ； 6.3.2 吹氣角度：45°（吹氣角度）； 6.3.3 氣刀高度：（5.0±1.0）mm 。 6.4 軟水噴淋 6.4.1 軟水溫度：常溫； 6.4.2 噴淋角度：略向后約 15°（以噴嘴的垂直向下方向?yàn)?°） 。6.5 蝕刻檢查（收取蝕刻后玻璃） 7.5.1 每批玻璃抽查兩片，用兆歐表測(cè)定玻璃邊角沒有圖形的地方四點(diǎn)以

5、及中間無圖形處一點(diǎn)（共 5 點(diǎn)），電阻均應(yīng)為無窮大，同時(shí)觀察圖形線條完整，自檢合格在生產(chǎn)流程單上簽名，由 QC 進(jìn)行抽檢； 7.5.2 若所測(cè)電阻不為無窮大或圖形、線條不完整（如光刻膠剝落等），停產(chǎn)并報(bào)工藝人員處理； 7.5.3 用兆歐表檢查時(shí)只能測(cè)邊緣沒有圖形的地方，絕對(duì)不能點(diǎn)到單元內(nèi)有圖形的區(qū)域； 7.5.4 正常情況下，蝕刻后玻璃收取時(shí) TN、普通 STN采用疊紙方式，存放時(shí)最高不超過4 疊（100 片）；COG（STN類）及細(xì)線條的 STN產(chǎn)品采用插架方式； 7.5.5 收取玻璃時(shí)應(yīng)在玻璃完全露出出口氣刀時(shí)才將玻璃提取，將玻璃拉出氣刀可能導(dǎo)致玻璃未吹干或造成 ITO劃傷； 7.5.6

6、玻璃插架應(yīng)小心謹(jǐn)慎，從上到下，對(duì)缺少插輪或有壞損的插框暫不使用，待設(shè)備人員維修后恢復(fù)使用，維修后再拿進(jìn)廠房的插框，必須徹底清潔后方可使用； 7.5.7 收玻璃人員生產(chǎn)過程不得離開崗位，確保此處不發(fā)生疊玻璃。 八、清潔操作要求8.1 每周周一、周四需進(jìn)行大清潔，較長(zhǎng)時(shí)間停產(chǎn)時(shí)需清潔，復(fù)產(chǎn)時(shí)需進(jìn)行大清潔；a、 關(guān)閉爐電源，過 30 分鐘后打開蓋子；b、 用 M3 紙或白潔布蘸丙酮擦拭蓋子底部、底部邊緣、密封圈橡膠、爐子內(nèi)壁、機(jī)械手及機(jī)械手橫桿，除去表面污垢和凝結(jié)物；c、 蓋上蓋子，用擰干濕毛巾擦拭爐蓋和爐身的外壁，擦去表面灰塵；d、 打開爐子底下機(jī)器擋板，用吸塵器吸去表面灰塵，再用 M3 紙或白潔

7、布蘸丙酮擦拭機(jī)器支架、線盒表面污物和油污；e、用擰干濕毛巾擦拭擋板內(nèi)外側(cè)，蓋上擋板；清潔完畢。8.2 后固化爐：九、 停產(chǎn)及交接班管理 9.1 生產(chǎn)結(jié)束時(shí)，確認(rèn)機(jī)器內(nèi)無玻璃殘留，清點(diǎn)玻璃數(shù)量。 9.2 交接班時(shí)需等接班人員到達(dá)后方可離開崗位，同時(shí)轉(zhuǎn)交并確認(rèn)已生產(chǎn)及在線玻璃數(shù)量，生產(chǎn)產(chǎn)品種類及特殊要求。 9.3 需要較長(zhǎng)時(shí)間停產(chǎn)或停電時(shí)，必須先關(guān)掉機(jī)器，再用布或紙用水浸濕后把蝕刻段的所有出口堵緊，確保所有門緊閉，防止停產(chǎn)過程酸霧外冒； 9.4 長(zhǎng)假（國(guó)慶、春節(jié)期間）要排放蝕刻液并做好蝕刻機(jī)的清潔。蝕刻液須降到室溫時(shí)方可排放，排放時(shí)須同軟水同時(shí)排放。 十、 注意事項(xiàng)及異常處理 蝕刻液為強(qiáng)揮發(fā)性和腐蝕性酸液，蝕刻間保持相對(duì)大環(huán)境保持負(fù)壓狀態(tài)，壓差保持 1