1、整理課件微波在材料科學與工程中微波在材料科學與工程中的應(yīng)用的應(yīng)用Microwave Power Applications in Science & Engineering of Materials 張兆鏜張兆鏜 Prof. Zhang Zhao tang 電子科技大學電子科技大學 University of Electronic Science & Technology of China整理課件1.概述概述Introduction 二次大戰(zhàn)后不久二次大戰(zhàn)后不久,美國美國的的Spence首先發(fā)現(xiàn)首先發(fā)現(xiàn)了了微波與物質(zhì)的相互作用微波與物質(zhì)的相互作用(interaction of m

2、icrowave and matters),于是他就發(fā)明了于是他就發(fā)明了世界上第一臺世界上第一臺微波爐微波爐,他用微波爆玉米花他用微波爆玉米花,觀觀看雞蛋爆炸等實驗看雞蛋爆炸等實驗,因為他是搞雷達的因為他是搞雷達的,因此因此取名為取名為“雷雷達達爐爐 ”radar oven,后改名后改名為為“烹飪爐烹飪爐”cooking oven,最后才改最后才改名為今天名為今天 的的“微波爐微波爐”microwave oven 。整理課件 上世紀七十年代上世紀七十年代,民用領(lǐng)域內(nèi)民用領(lǐng)域內(nèi),微波功率微波功率主要主要應(yīng)用于應(yīng)用于食品食品(food)與與橡膠橡膠(rubber)兩個行兩個行業(yè)。不久后業(yè)。不久后,

3、微波功率微波功率在在橡膠硫化技術(shù)橡膠硫化技術(shù),光纖光纖棒預(yù)制技術(shù)棒預(yù)制技術(shù),微波等離子體刻蝕、掩膜及氣相微波等離子體刻蝕、掩膜及氣相沉積技術(shù)沉積技術(shù),陶瓷燒結(jié)技術(shù)陶瓷燒結(jié)技術(shù)等方面取得了突破等方面取得了突破,發(fā)展成相應(yīng)的產(chǎn)業(yè)發(fā)展成相應(yīng)的產(chǎn)業(yè),令材料學界刮目相看。令材料學界刮目相看。 今天今天,微波微波在在新材料制備與制造新材料制備與制造,材料改性材料改性,材料合成材料合成,材料處理等材料處理等領(lǐng)域領(lǐng)域,扮演著極為重要扮演著極為重要和不可缺失的角色和不可缺失的角色,成為材料制備中一種先進成為材料制備中一種先進的加工手段。的加工手段。整理課件 近十年來近十年來,微波功率不僅在微波功率不僅在固態(tài)固態(tài)

4、與與液態(tài)液態(tài)物料領(lǐng)域跨學物料領(lǐng)域跨學科地被廣泛推廣應(yīng)用科地被廣泛推廣應(yīng)用,而且逐漸擴大至而且逐漸擴大至氣態(tài)氣態(tài) 和和等離子態(tài)等離子態(tài)領(lǐng)域中的應(yīng)用領(lǐng)域中的應(yīng)用,可以明顯地看到下面一些誘人的潛在應(yīng)可以明顯地看到下面一些誘人的潛在應(yīng)用市場用市場,具有很大的經(jīng)濟與社會效益，例如具有很大的經(jīng)濟與社會效益，例如:1.固體垃圾固體垃圾(包括醫(yī)療垃圾包括醫(yī)療垃圾,放射性垃圾放射性垃圾)的微波焚燒或處的微波焚燒或處理理; solid waste microwave disposal2.廢棄輪胎的微波處理與加工廢棄輪胎的微波處理與加工; waste tyre disposal3.微波化工工程的探索微波化工工程的探

5、索(例如天然氣制造乙烯例如天然氣制造乙烯); microwave chemical engineering4.廢氣微波治污廢氣微波治污(如有毒氣體的消解如有毒氣體的消解); polluted air microwave prevention and decomposition5.微波等離子體及火炬微波等離子體及火炬(MPT)的應(yīng)用的應(yīng)用(微電子及固體器件微電子及固體器件及其它領(lǐng)域及其它領(lǐng)域) 。Microwave Plasma Torch (MPT)整理課件2.微波功率在材料科學與工程中的應(yīng)用領(lǐng)域微波功率在材料科學與工程中的應(yīng)用領(lǐng)域Microwave power applications fi

6、elds in science & engineering of materialsA.陶瓷類材料陶瓷類材料(ceramic materials) (1)電子陶瓷的干燥及粉體合成與燒結(jié)電子陶瓷的干燥及粉體合成與燒結(jié) (2)電瓷、日用陶瓷、建筑陶瓷的干燥與燒成電瓷、日用陶瓷、建筑陶瓷的干燥與燒成 (3)結(jié)構(gòu)陶瓷、蜂窩陶瓷的干燥與燒成結(jié)構(gòu)陶瓷、蜂窩陶瓷的干燥與燒成 (4)保溫耐火材料的干燥與燒成保溫耐火材料的干燥與燒成 (5)氧化鋯陶瓷的燒制氧化鋯陶瓷的燒制 (6)陶瓷衛(wèi)生潔具的干燥與燒成陶瓷衛(wèi)生潔具的干燥與燒成 (7)陶瓷工藝品的燒制陶瓷工藝品的燒制 (8)工程陶瓷制品的預(yù)烘與燒結(jié)工程陶

7、瓷制品的預(yù)烘與燒結(jié) (9)微波介質(zhì)陶瓷的燒結(jié)微波介質(zhì)陶瓷的燒結(jié)整理課件 B.冶金類材料冶金類材料(metallurgic materials )(1)粉末冶金和硬質(zhì)合金材料的燒結(jié)粉末冶金和硬質(zhì)合金材料的燒結(jié)(2)粉體或顆粒材料的鍛燒或合成粉體或顆粒材料的鍛燒或合成(3)氮化鐵合金材料氮化鐵合金材料(氮化釩氮化釩,氮化錳氮化錳,氮化硅氮化硅,氮氮化鉻化鉻)的制備與生產(chǎn)的制備與生產(chǎn)(4)碳酸錳焙燒碳酸錳焙燒(5)各種金屬碳化物氮化物氧化物的焙燒與合各種金屬碳化物氮化物氧化物的焙燒與合成成(6)金屬熔融及熱處理金屬熔融及熱處理(7)金屬氧化礦的碳熱還原金屬氧化礦的碳熱還原(8)金屬硫化礦的脫琉金屬硫

8、化礦的脫琉(9)特種合金的制備特種合金的制備 整理課件C.納米材料的制備納米材料的制備(nanometer materials) (1)納米硅粉熔融提純納米硅粉熔融提純 (2)納米鎢粉碳化加工納米鎢粉碳化加工 (3)炭納米管的制備炭納米管的制備D.磁性類材料磁性類材料(magnetic materials) (1)磁性材料粉體預(yù)燒和器件燒結(jié)磁性材料粉體預(yù)燒和器件燒結(jié) (2)硬磁、旋磁等鐵氧體材料的燒結(jié)硬磁、旋磁等鐵氧體材料的燒結(jié) (3)釹鐵硼稀土永磁材料的燒結(jié)釹鐵硼稀土永磁材料的燒結(jié) (4)Ni-Zn材料的燒結(jié)材料的燒結(jié)整理課件E.鋰電池正極材料的干燥與高溫合成鋰電池正極材料的干燥與高溫合成

9、(lithium battery positive plate materials) (鈷酸鋰、錳酸鋰、三元素、磷酸鐵鋰的干燥與合成鈷酸鋰、錳酸鋰、三元素、磷酸鐵鋰的干燥與合成) F.人造金剛石生產(chǎn)工藝人造金剛石生產(chǎn)工藝(artificial diamond) (1)葉蠟石模具的干燥葉蠟石模具的干燥 (2)石墨加觸媒顆粒料的焙燒還原石墨加觸媒顆粒料的焙燒還原 (3)人造金剛石的氧化焙燒人造金剛石的氧化焙燒 (4)人造金剛石成品的干燥人造金剛石成品的干燥 G.稀土熒光粉的高溫合成稀土熒光粉的高溫合成(RE phosphor powder) (LED、燈用三基色長余輝等稀土材料的制備、燈用三基色長

10、余輝等稀土材料的制備)整理課件H.橡膠的硫化與脫硫橡膠的硫化與脫硫 curing & desulphurization I.高分子材料的固化高分子材料的固化 solidification of high molecule materialsJ.發(fā)泡材料的膨化或熱處理發(fā)泡材料的膨化或熱處理 swelling of foaming materialsK.分子篩催化材料的干燥與焙燒分子篩催化材料的干燥與焙燒 roasting of catalytic materials L.玻璃纖維的干燥玻璃纖維的干燥 drying of glass fiberM.尼龍繩索的定形尼龍繩索的定形 formal

11、ization of nelon ropeN.各種化工材料、無機粉體或顆粒材料的干燥各種化工材料、無機粉體或顆粒材料的干燥O.中西藥材的干燥中西藥材的干燥 drying of medicineP.模具材料、建筑材料、玻璃制品、鑄造型芯的干燥與模具材料、建筑材料、玻璃制品、鑄造型芯的干燥與固化固化 drying & solidification of mould materialsQ.活性炭及炭黑的制備活性炭及炭黑的制備 active carbon makingR.微波隱身吸波材料的制備微波隱身吸波材料的制備 microwave absorb materials making整理課件3.

12、材料的物電特性材料的物電特性Physical & electrical properties of materials 3.1材料的分類材料的分類 Classification of materials按按形態(tài)形態(tài)分分: 固體固體,液體液體,氣體氣體,等離子體等離子體;按按導電率導電率分分: 導體導體,絕緣體絕緣體(電介質(zhì)電介質(zhì)),半導體半導體;按按結(jié)晶結(jié)晶分分: 晶體晶體(單晶單晶,多晶多晶),非晶體非晶體;按按極化率極化率分分: 極性材料極性材料,非極性材料非極性材料;按按分子量分子量分分: 低分子物質(zhì)低分子物質(zhì),高分子物質(zhì)高分子物質(zhì);按按分子結(jié)構(gòu)分子結(jié)構(gòu)分分: 鏈狀結(jié)構(gòu)鏈狀結(jié)構(gòu),

13、網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)網(wǎng)狀結(jié)構(gòu);整理課件低分子材料低分子材料分為：晶體與非晶體分為：晶體與非晶體;高分子材料高分子材料分為：結(jié)晶結(jié)構(gòu)與無定形結(jié)構(gòu)分為：結(jié)晶結(jié)構(gòu)與無定形結(jié)構(gòu); 也可分為天然與人工合成兩類也可分為天然與人工合成兩類;前者如纖維素前者如纖維素, 天然天然 橡膠橡膠,紙張紙張等等,后者如塑料后者如塑料,合成纖維合成纖維,人人 造涂料造涂料等。等。鏈狀高分子物質(zhì)鏈狀高分子物質(zhì)特點特點: 具有可溶性具有可溶性,易于加工易于加工,可可 反復使用反復使用,具有熱塑性具有熱塑性;網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)物質(zhì)網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)物質(zhì)特點特點: 具有不溶或不熔性具有不溶或不熔性,有較大有較大 強度和硬度強度和硬度,具有耐熱性具有耐熱性,耐溶

14、性。耐溶性。整理課件3.2 電介質(zhì)的分類電介質(zhì)的分類Classification of electrical dielectric 1.非極性電介質(zhì)非極性電介質(zhì):(non-polar materials) 如如氬氬,碳碳,CF4,甲烷甲烷(CH4),四氯化碳四氯化碳(CCl4), 丙烯丙烯(C8H8),聚乙烯聚乙烯,聚四氟乙烯聚四氟乙烯,聚苯乙烯聚苯乙烯,石蠟石蠟,地蠟地蠟,礦物油礦物油,聚異丁烯聚異丁烯,未硫化的橡膠未硫化的橡膠. 所有碳氫化合物所有碳氫化合物都都是非極性或弱極性是非極性或弱極性物質(zhì)物質(zhì),如如其中的氫原子為鹵族元素或其中的氫原子為鹵族元素或OH,NH2,NO2基團基團所取代時

15、所取代時,就變成就變成極性極性化合物了化合物了 。整理課件2.極性電介質(zhì)極性電介質(zhì):(polarity materials) 與非極性電介質(zhì)相反與非極性電介質(zhì)相反,當無外電場時當無外電場時,分子的正分子的正 負電荷重心不重合負電荷重心不重合,即分子具有即分子具有偶電矩偶電矩,由這些由這些 分子組成的電介質(zhì)稱為分子組成的電介質(zhì)稱為“極性電介質(zhì)極性電介質(zhì)”。 分子結(jié)構(gòu)不對稱的為分子結(jié)構(gòu)不對稱的為極性材料極性材料,如如水水,甲醇甲醇,乙醇乙醇,尿素尿素,丙酮丙酮,蛋白質(zhì)蛋白質(zhì),血紅蛋白血紅蛋白,多乙酸乙烯酯多乙酸乙烯酯(C2H6O2),丙種血清擬球蛋白丙種血清擬球蛋白,聚氯乙烯聚氯乙烯,酚醛樹酚醛樹

16、脂脂. 整理課件3.3 介質(zhì)損耗與溫度的關(guān)系介質(zhì)損耗與溫度的關(guān)系Relation between dielectric loss & temperature 在低濕度時在低濕度時,由于物理上的束縛效應(yīng)減弱以及偶由于物理上的束縛效應(yīng)減弱以及偶極子易于重新取向極子易于重新取向,使得損耗因子隨溫度上升而使得損耗因子隨溫度上升而增加增加 。當濕度超過。當濕度超過25%時時,損耗因子隨溫度的上損耗因子隨溫度的上升反而減小了。許多含水食品如升反而減小了。許多含水食品如牛肉牛肉,豬肉豬肉,土豆土豆泥泥,胡蘿卜胡蘿卜,鱈魚鱈魚,豬肝豬肝等都是如此。等都是如此。整理課件a.介質(zhì)損耗的溫度特性介質(zhì)損耗的溫

17、度特性Temperature characteristics of dielectric loss (a)負斜率負斜率 (b)正斜率正斜率 (c)正斜率正斜率negative slope positive slope positive slope整理課件b.尼龍尼龍66的介質(zhì)損耗的正斜率特性的介質(zhì)損耗的正斜率特性positive slope characteristic of dielectric loss of nelon 66整理課件c.水的介質(zhì)損耗的負斜率特性水的介質(zhì)損耗的負斜率特性經(jīng)驗公式經(jīng)驗公式: 320/Tpermittivity & dielectric loss of

18、water整理課件水的介電常數(shù)實部與溫度及頻率的關(guān)系水的介電常數(shù)實部與溫度及頻率的關(guān)系Relation between permittivity of water and temperature & frequency (UESTC)整理課件水的介電常數(shù)虛部與溫度及頻率的關(guān)系水的介電常數(shù)虛部與溫度及頻率的關(guān)系Relation between dielectric loss of water and temperature & frequency (UESTC)整理課件d.熱平衡與熱失控熱平衡與熱失控heat balance & thermo runaway介質(zhì)損耗的介質(zhì)

19、損耗的正斜率正斜率d”/dT 特性會引起材料在特性會引起材料在加熱過程中的加熱過程中的“熱失控熱失控”現(xiàn)象現(xiàn)象,通常通常,在單位體積在單位體積內(nèi)的監(jiān)溫度上升速率比例于內(nèi)的監(jiān)溫度上升速率比例于”f E2,而同一體而同一體積內(nèi)的熱逸散則比例于積內(nèi)的熱逸散則比例于 2T, 這里這里為熱擴為熱擴散率散率;當當”f E2等于熱逸散率時等于熱逸散率時,就建立起一個就建立起一個平衡平衡的溫度的溫度,否則可能導致否則可能導致熱失控熱失控現(xiàn)象現(xiàn)象,最終導最終導致物料內(nèi)產(chǎn)生致物料內(nèi)產(chǎn)生“熱斑熱斑”,或損壞或燒毀。或損壞或燒毀。 介質(zhì)損耗系數(shù)介質(zhì)損耗系數(shù)” 隨溫度急劇變化并上升的隨溫度急劇變化并上升的溫度稱為溫度稱

20、為“臨界溫度臨界溫度”。整理課件損耗因子與溫度的關(guān)系損耗因子與溫度的關(guān)系Relation between dielectric loss and temperature整理課件正斜率材料臨界溫度的近似值正斜率材料臨界溫度的近似值Critical temperature of positive slope materials 材材 料料 名名 稱稱 頻率頻率 f(GHz) Tc (C)氧氧 化化 鋁鋁 3.613.89 800氧化鋁氧化鋁(NDS10F2) 3.713.94 650700熱熱 壓壓 氮氮 化化 硼硼 4.965.17 750800熱熱 解解 氮氮 化化 硼硼 9.049.21 1

21、700云云 母母 塊塊 2.45 450尼尼 龍龍 3.0 140150陶陶 瓷瓷 8.52 400玻玻 璃璃 陶陶 瓷瓷 9.37 180合成橡膠合成橡膠(未硫化未硫化) 2.8 40滑滑 石石 2.45 400450整理課件4.微波功率對材料的作用微波功率對材料的作用Microwave power action on materials 微波對材料微波對材料(包括無機材料、有機材料、高分包括無機材料、有機材料、高分子材料、功能材料、磁性材料、壓電材料、生子材料、功能材料、磁性材料、壓電材料、生物材料物材料.)的作用存在以下各種效應(yīng)的作用存在以下各種效應(yīng)(單一效應(yīng)單一效應(yīng)或復合效應(yīng)或復合效應(yīng)

22、): a.熱效應(yīng)熱效應(yīng) (thermal effect) b.電場效應(yīng)電場效應(yīng) (electric field effect) c.物化效應(yīng)物化效應(yīng) (physical chemical effect) d.電磁生物效應(yīng)電磁生物效應(yīng) (electromagnetic biologic effect)整理課件5.微波加熱原理微波加熱原理Principle of microwave heating 微波微波加熱方式的溫度適應(yīng)范圍分為加熱方式的溫度適應(yīng)范圍分為:50100C: 加熱加熱,脫水脫水,真空干燥真空干燥,煮白煮白,滅滅菌菌, 散包散包,整形整形,解凍解凍,100200C: 膨化膨化,發(fā)泡發(fā)

23、泡,焙燒焙燒,脫硫脫硫, .200400C: 硫化硫化,微波熱風微波熱風,微波熬油微波熬油, 400C: 高溫燒結(jié)高溫燒結(jié),粉末冶金粉末冶金,廢氣處廢氣處理理,材料合成材料合成,整理課件5.1材料單位體積內(nèi)吸收的微波功率材料單位體積內(nèi)吸收的微波功率Microwave power loss in unit volume of materials 微波在非金屬材料單位體積內(nèi)的功率耗散微波在非金屬材料單位體積內(nèi)的功率耗散為為: p = o” E2rms = 2fo” E2rms - ( W/m3)式中式中: f-微波頻率微波頻率; o真空電容率真空電容率; ” -介質(zhì)損耗介質(zhì)損耗; E2rms-電場

24、有效值電場有效值.在輸入微波功率已定時在輸入微波功率已定時,材料吸收功率與材料吸收功率與工工作頻率作頻率f及微波損耗及微波損耗”的乘積成正比。的乘積成正比。整理課件 5.2整理課件整理課件整理課件d.水與固態(tài)物加熱過程中的溫升及溫度水與固態(tài)物加熱過程中的溫升及溫度分布變化分布變化Temperature distribution change water solid matter整理課件e.微波加熱工藝技術(shù)的選擇微波加熱工藝技術(shù)的選擇Selection of microwave heating technology根據(jù)被加熱材料的介質(zhì)損耗根據(jù)被加熱材料的介質(zhì)損耗,導熱率導熱率,材料的體積、形狀等

25、物電特性材料的體積、形狀等物電特性,適當適當選擇微波加熱功率和加熱時間選擇微波加熱功率和加熱時間,可使可使材料在加熱過程中材料在加熱過程中,均勻地加熱均勻地加熱,里外里外的的溫度梯度溫度梯度接近接近為零。為零。整理課件5.3 不同材料形狀對微波電場極化方向不同材料形狀對微波電場極化方向的要求的要求Requirements of polarization direction of electrical field of various materials shape整理課件電場的線極化與圓極化電場的線極化與圓極化Linear polarization & circular polariz

26、ation1.對具有纖維或紋理方向的板料或片狀料對具有纖維或紋理方向的板料或片狀料,如如紙張、木板、紡織品等應(yīng)使電場方向與板紙張、木板、紡織品等應(yīng)使電場方向與板片平行片平行,如上圖如上圖(b),而不是相垂直如圖而不是相垂直如圖(a);2.對塊狀物對塊狀物,應(yīng)使電場與較厚方向平行應(yīng)使電場與較厚方向平行;如圖如圖(c)及及(d);3.對球狀物對球狀物,無特殊要求無特殊要求;4.對桿料或絲狀物料對桿料或絲狀物料,最好采用圓極化場最好采用圓極化場,即極即極化方向是不斷快速旋轉(zhuǎn)的化方向是不斷快速旋轉(zhuǎn)的,而線極化場的方而線極化場的方向是恆定不變的。向是恆定不變的。最近我們申報的圓極化最近我們申報的圓極化加

27、熱系統(tǒng)發(fā)明專利獲得了批準加熱系統(tǒng)發(fā)明專利獲得了批準 。整理課件6.微波處理方法及應(yīng)用微波處理方法及應(yīng)用Microwave processing method & applications 6.1微波處理方案的選擇依據(jù)微波處理方案的選擇依據(jù) Selection principles of microwave heating methods a.物料的性質(zhì)物料的性質(zhì):導體導體,介質(zhì)或半導體介質(zhì)或半導體? property? b.物料的形態(tài)物料的形態(tài):固態(tài)固態(tài),液態(tài)或氣態(tài)液態(tài)或氣態(tài)? shape? b.物料的介質(zhì)損耗物料的介質(zhì)損耗:低損耗低損耗,中損耗或高損耗中損耗或高損耗? loss? c

28、.物料的形狀物料的形狀,體積體積,長度等幾何參數(shù)長度等幾何參數(shù)? form? volume? d.物料中的含水量物料中的含水量:高高,中中,低低? moisture content? e.材料的比熱材料的比熱;是否熱敏材料是否熱敏材料? specific heat? f. 需要達到的最終溫度需要達到的最終溫度? finally temperature? g.處理的目的處理的目的:脫水脫水,干燥干燥,焙燒焙燒,膨化膨化,定形定形,固化固化, 燒結(jié)燒結(jié),冶煉冶煉,合成合成,熔融熔融,? processing object ?整理課件6.2其它因素的考慮其它因素的考慮Consideration of

29、 other factorsa.單件間隔加熱還是連續(xù)作業(yè)加工單件間隔加熱還是連續(xù)作業(yè)加工?Single processing or continuous processing ?b.常溫常壓加熱常溫常壓加熱,還是高溫常壓還是高溫常壓?還是高溫高壓還是高溫高壓?General pressure & temperature or high pressure & temperature/c.常壓還是真空干燥常壓還是真空干燥?還是冷凍干燥還是冷凍干燥?Vaccum drying or freezed drying?d.加熱過程中是否有有害或有毒氣體排出加熱過程中是否有有害或有毒氣體排出

30、?Whether exhaust harmful gas or toxic gas?e.加熱時會否發(fā)生爆炸加熱時會否發(fā)生爆炸?Whether explosion or not?f.工件或物料的進出口尺寸限制工件或物料的進出口尺寸限制?Import & export dimensions limitation?g.爐體的保潔與維護。爐體的保潔與維護。Clear & service.整理課件6.3 微波加熱與處理技術(shù)微波加熱與處理技術(shù)Microwave heating & processing technologya.常溫常壓時的微波加熱、脫水、干燥技術(shù)常溫常壓時的微波加熱

31、、脫水、干燥技術(shù) 特點特點:1.微波輸出功率幾微波輸出功率幾kW至幾百至幾百kW,甚至更大甚至更大; 2.工作頻率工作頻率: f = 2450MHz或或f=915MHz; 3.采用箱式爐或隧道爐采用箱式爐或隧道爐; 4.有強大的抽風設(shè)備有強大的抽風設(shè)備; 5.采用直接耦合或裂縫天線饋能采用直接耦合或裂縫天線饋能; 6.傳送帶帶速連續(xù)可調(diào)傳送帶帶速連續(xù)可調(diào); 7.一般無測溫裝置一般無測溫裝置; 8.產(chǎn)量幾十至幾百公斤每小時產(chǎn)量幾十至幾百公斤每小時; 9.售價低廉售價低廉;適合于常規(guī)的脫水干燥適合于常規(guī)的脫水干燥,可用作化學材料可用作化學材料,各種粉料或顆粒料各種粉料或顆粒料,煙葉煙葉煙絲煙絲,玻

32、璃纖維玻璃纖維,茶葉茶葉,中藥材及中藥丸中藥材及中藥丸,消毒殺菌等領(lǐng)域。消毒殺菌等領(lǐng)域。 整理課件915MHz 20kW 微波干燥設(shè)備微波干燥設(shè)備(四川宏普公司四川宏普公司)915MHz microwave heating equipment整理課件b. 烘房低溫干燥技術(shù)烘房低溫干燥技術(shù)Low temperature drying technology in room特點特點: 1.間歇式作業(yè)間歇式作業(yè); 2.適用于大體積大尺寸物料適用于大體積大尺寸物料; 3.烘房內(nèi)確保物料干燥均勻烘房內(nèi)確保物料干燥均勻; 4.低溫脫水與干燥低溫脫水與干燥,使物料不開裂使物料不開裂,不變形不變形; 5.無污染

33、無污染; 6.泄漏符合國標。泄漏符合國標。適用于適用于: 各種化工原料各種化工原料,模具材料模具材料,食品食品,藥材藥材,阿膠阿膠, 農(nóng)副產(chǎn)品農(nóng)副產(chǎn)品,水產(chǎn)品水產(chǎn)品,木材木材,建材建材,.整理課件微波低溫干燥烘房微波低溫干燥烘房(長沙隆泰公司長沙隆泰公司)Microwave low temperature drying room整理課件c.微波真空處理技術(shù)微波真空處理技術(shù) Microwave vacuum processing technology 在壓力為在壓力為(1.3326.66)kPa范圍內(nèi)范圍內(nèi),采用微波真空處采用微波真空處理來干燥理來干燥熱敏材料如藥品熱敏材料如藥品,蔬菜和化學制品

34、蔬菜和化學制品是非常是非常有效的有效的,干燥必須在低于干燥必須在低于100C時進行時進行,防止材料的防止材料的損壞。由下圖可知損壞。由下圖可知,區(qū)內(nèi)的空氣擊穿場強大大高區(qū)內(nèi)的空氣擊穿場強大大高于最低擊穿場強于最低擊穿場強,加熱器內(nèi)的臨界電場限制了一定加熱器內(nèi)的臨界電場限制了一定壓力壓力,溫度溫度,介質(zhì)材料性質(zhì)時的耗散功率密度。真空介質(zhì)材料性質(zhì)時的耗散功率密度。真空處理時的最大障礙是由于管壁和負載的形狀造成處理時的最大障礙是由于管壁和負載的形狀造成電電場集中處存在的場集中處存在的局部放電局部放電,它會引起局部過熱它會引起局部過熱,造成造成微波功率的浪費。微波功率的浪費。 整理課件不同頻率時擊穿場

35、強與氣壓的關(guān)系不同頻率時擊穿場強與氣壓的關(guān)系Relation between breakdown electric field & pressure 整理課件冰和水的飽和蒸汽壓與溫度的關(guān)系冰和水的飽和蒸汽壓與溫度的關(guān)系Relation between saturation steam pressure and temperature整理課件 c1.真空低溫干燥技術(shù)真空低溫干燥技術(shù)Vacuum low temperature drying technology特點特點: 1.在真空環(huán)境下加熱與干燥在真空環(huán)境下加熱與干燥; 2.真空度真空度3kpa; 3.可對干燥箱內(nèi)進行測溫和控溫可對干燥

36、箱內(nèi)進行測溫和控溫; 4.箱內(nèi)可測濕箱內(nèi)可測濕; 5.低沸點低溫或超低溫干燥；低沸點低溫或超低溫干燥； 6.微波泄漏符合國標。微波泄漏符合國標。適用于適用于: 各種熱敏材料各種熱敏材料.食品食品,蔬菜蔬菜(生姜生姜,大蒜大蒜,蘑蘑菇菇,.),藥品藥品,易氧化物料易氧化物料,高水分強粘稠性物料高水分強粘稠性物料,整理課件微波真空干燥機微波真空干燥機 Vacuum low temperature drying equipment(長沙隆泰公司長沙隆泰公司)整理課件C2. 微波冷凍干燥技術(shù)微波冷凍干燥技術(shù)Microwave freezed drying technology在在冷凍干燥區(qū)冷凍干燥區(qū)內(nèi)

37、內(nèi)(13133)Pa,水分從冷凍材料水分從冷凍材料中不經(jīng)過液相直接變成蒸汽而中不經(jīng)過液相直接變成蒸汽而升華升華,普通的冷凍普通的冷凍干燥是一個很慢的過程干燥是一個很慢的過程,如在后期采用如在后期采用微波干燥微波干燥,可大大加速其過程可大大加速其過程,因為微波有效地作為一個體因為微波有效地作為一個體積熱源通過干燥層積熱源通過干燥層,加速其能量吸收而使冰層減加速其能量吸收而使冰層減薄。薄。 主要問題是空氣或冷凍材料附近滯留在大氣中主要問題是空氣或冷凍材料附近滯留在大氣中的水蒸汽的的水蒸汽的微波擊穿微波擊穿。整理課件微波冷凍干燥低溫冷阱微波冷凍干燥低溫冷阱(四川宏普公司四川宏普公司)Freezed

38、drying equipment整理課件冷凍微波干燥機及微波源冷凍微波干燥機及微波源Microwave power supply整理課件整理課件 d. 微波高溫干燥與燒結(jié)技術(shù)微波高溫干燥與燒結(jié)技術(shù) Microwave high temperature drying & sintering technology 特點特點: 1.常溫常壓下加熱常溫常壓下加熱; 2.實現(xiàn)快速與超快速升溫實現(xiàn)快速與超快速升溫; 3.間歇式作業(yè)間歇式作業(yè); 4.可直接測量樣品溫度可直接測量樣品溫度; 5.特制專用坩堝特制專用坩堝,對物料無污染對物料無污染; 6.多重防泄漏裝置多重防泄漏裝置,安全可靠。安全可靠。

39、適用于適用于:空氣氣氛下各類固體材料的鍛燒空氣氣氛下各類固體材料的鍛燒,焙燒焙燒, 燒結(jié)燒結(jié),高溫合成高溫合成,灰化灰化,熔融及熱處理等。熔融及熱處理等。整理課件微波高溫馬弗爐微波高溫馬弗爐/灰化爐灰化爐Microwave high temperature drying equipment (長沙隆泰公司長沙隆泰公司)整理課件e. 微波高溫氣氛燒結(jié)技術(shù)微波高溫氣氛燒結(jié)技術(shù)Microwave high temperature sintering technology特點特點: 1.適用多種氣氛適用多種氣氛(空氣空氣,氧氣氧氣,氮氣氮氣,惰性氣體惰性氣體, 還原性氣體還原性氣體); 2.最高可達最

40、高可達1600C; 3.微波功率連續(xù)可調(diào)微波功率連續(xù)可調(diào); 4.設(shè)置二路氣體通道設(shè)置二路氣體通道,氣壓精確可控氣壓精確可控; 5.直接對樣品測溫直接對樣品測溫; 6.專用坩堝和耐火材料專用坩堝和耐火材料; 7.多重防泄漏裝置多重防泄漏裝置,安全可靠。安全可靠。適用于適用于: 各類固體材料高高溫合成各類固體材料高高溫合成,鍛燒鍛燒,焙燒焙燒,燒燒 結(jié)結(jié),灰化灰化,焚化焚化,.整理課件微波高溫氣氛爐微波高溫氣氛爐 Microwave high temperature sintering equipment (長沙隆泰公司長沙隆泰公司)整理課件陶瓷微波燒結(jié)技術(shù)陶瓷微波燒結(jié)技術(shù)Microwave si

41、ntering of ceramics 本世紀初以來，本世紀初以來，微波燒結(jié)陶瓷微波燒結(jié)陶瓷材料的研究更趨于材料的研究更趨于成熟，許多研究者都針對納米結(jié)構(gòu)陶瓷的微波燒成熟，許多研究者都針對納米結(jié)構(gòu)陶瓷的微波燒結(jié)以獲得更為出色的性能。如美國賓州大學利用結(jié)以獲得更為出色的性能。如美國賓州大學利用微波單模腔燒結(jié)了納米晶的氧化鎂、氧化鋁、氮微波單模腔燒結(jié)了納米晶的氧化鎂、氧化鋁、氮化鋁、和氮氧化鋁透明陶瓷，還曾有人對多晶透化鋁、和氮氧化鋁透明陶瓷，還曾有人對多晶透明氧化鋁陶瓷進行明氧化鋁陶瓷進行1880C微波高溫處理后得到微波高溫處理后得到單晶的寶石級氧化鋁，其透光性提高了單晶的寶石級氧化鋁，其透光性

42、提高了20%。俄。俄羅斯的科學家用毫米波加熱燒結(jié)了接近理論密度羅斯的科學家用毫米波加熱燒結(jié)了接近理論密度的氧化鋁納米陶瓷，晶粒尺寸大小為的氧化鋁納米陶瓷，晶粒尺寸大小為(8590)nm 。整理課件f. 微波橡膠硫化技術(shù)微波橡膠硫化技術(shù)Microwave rubber vulcanized technology 這是一種新技術(shù)這是一種新技術(shù),先將橡膠通過一個模子先將橡膠通過一個模子,擠壓擠壓成形成形,同時將其溫度盡快地提高到同時將其溫度盡快地提高到200 C,并進并進行硫化行硫化,然后在這個溫度上維持足夠長的時間然后在這個溫度上維持足夠長的時間,保保證產(chǎn)生證產(chǎn)生硫化或聚合硫化或聚合所需的化學反應(yīng)

43、。所需的化學反應(yīng)。 由于微波的體積加熱特性由于微波的體積加熱特性,有可能在很短時間有可能在很短時間內(nèi)提供橡膠件整個斷面所需的溫升。然后內(nèi)提供橡膠件整個斷面所需的溫升。然后,還需還需要提供一種常規(guī)加熱的保溫通道要提供一種常規(guī)加熱的保溫通道,其目的是防止其目的是防止橡膠在發(fā)生反應(yīng)之前冷卻。橡膠在發(fā)生反應(yīng)之前冷卻。整理課件微波橡膠硫化設(shè)備微波橡膠硫化設(shè)備 Microwave rubber vulcanized (南京三樂公司南京三樂公司)整理課件g.微波爐制備高溫超導材料微波爐制備高溫超導材料Manufacture of high temperature superconductivity mate

44、rials in microwave oven 當將當將CuOZnOV2O3等放入一個等放入一個微波爐微波爐中中時，其結(jié)果是出乎人們意料的時，其結(jié)果是出乎人們意料的!它們在一分鐘內(nèi)它們在一分鐘內(nèi)熔化了，其中熔化了，其中V2O3達到了達到了700，ZnO達到了達到了800，PbO被加速加熱到被加速加熱到200。其性質(zhì)衰變。其性質(zhì)衰變成另一種紅色氧化物成另一種紅色氧化物Pb3O4，而后者并不吸收微，而后者并不吸收微波。用普通方法將波。用普通方法將CuO，F(xiàn)e3O4混合物制備混合物制備CuFe2O4需要在爐中加熱一整天需要在爐中加熱一整天!而用而用微波爐微波爐則則只需化半小時左右即可。而另一種化合物

45、只需化半小時左右即可。而另一種化合物KVO3用同一方法只化了用同一方法只化了7min，可見節(jié)能效果的明顯。，可見節(jié)能效果的明顯。整理課件 1988年，年，英國牛津大學英國牛津大學物理學家通過實驗發(fā)物理學家通過實驗發(fā)現(xiàn)，有幾種無機氧化物包括現(xiàn)，有幾種無機氧化物包括CuO對對2450MHz的的微波輻射有強烈的吸收。他們將微波輻射有強烈的吸收。他們將(15)g的氧化銅的氧化銅樣品放在普通的樣品放在普通的微波爐微波爐中，僅中，僅1 min時間，溫升時間，溫升就超過就超過550，進而他們將，進而他們將La2O3(12.28g)，CuO(3g)用可變功率用可變功率(130500)W的的微波爐微波爐加熱加熱

46、不到不到40min就合成了通常方法需耗時就合成了通常方法需耗時(1224) h才能得到的才能得到的 La2CuO4超導材料超導材料。后來他們又使。后來他們又使用用CuO，YO3，Ba(NO3)2在改裝的微波爐中約在改裝的微波爐中約1 h就成功地合成了就成功地合成了Yba2Cu3O7-x高溫超導材料高溫超導材料。他們的試驗證明，他們的試驗證明，微波加熱微波加熱也許為制備新一類也許為制備新一類高高溫超導材料溫超導材料提供了更方便更迅速的途徑和方法。提供了更方便更迅速的途徑和方法。整理課件 h. 微波制備碳納米管技術(shù)微波制備碳納米管技術(shù) Carbon nm tube microwave manufa

47、cture technology 美國賓州大學采用美國賓州大學采用TE103單模腔單模腔(2450MHz)在在Si襯底上用襯底上用Fe作觸媒于作觸媒于C2H2氣氛中氣氛中,700C在在H場中制成了多場中制成了多層層碳納米管碳納米管。 可制作納米電子元件可制作納米電子元件;納米電機納米電機 (NEMS);整理課件多層納米碳管的顯微照片多層納米碳管的顯微照片D. K. Agrawal整理課件i.等離子體制備納米粉末技術(shù)等離子體制備納米粉末技術(shù)Plasma manufacture technology of nm powder 其基本原理是：利用其基本原理是：利用等離子體等離子體的的高溫與急驟冷高溫

48、與急驟冷卻卻技術(shù)相結(jié)合的方法，使原料在高溫區(qū)域內(nèi)迅速技術(shù)相結(jié)合的方法，使原料在高溫區(qū)域內(nèi)迅速發(fā)生發(fā)生熱解和氣化熱解和氣化反應(yīng)，形成混合性氣相物質(zhì)，并反應(yīng)，形成混合性氣相物質(zhì)，并在在急冷環(huán)境急冷環(huán)境中中凝聚凝聚產(chǎn)生產(chǎn)生晶核晶核，進而長大形成一定，進而長大形成一定粒徑的粒徑的納米粉末。納米粉末。根據(jù)原料的不同，可采用根據(jù)原料的不同，可采用等離等離子體物理蒸發(fā)法、反應(yīng)性等離子體蒸發(fā)法、等離子體物理蒸發(fā)法、反應(yīng)性等離子體蒸發(fā)法、等離子體氣相沉積法子體氣相沉積法等三種。等三種。 等離子體等離子體可制備納米粉末可制備納米粉末氮化鋁、多晶硅粉、氮化鋁、多晶硅粉、硼粉等。硼粉等。整理課件J. 微波制備光纖棒技

49、術(shù)微波制備光纖棒技術(shù) Microwave manufacture technology of optical fiber rod 微波等離子體化學氣相沉積法微波等離子體化學氣相沉積法(MPCVD法法)其沉其沉積溫度較低積溫度較低(約約1 000)，沉積效率可接近，沉積效率可接近100%，光纖特性優(yōu)良，因此性能價格比非常突，光纖特性優(yōu)良，因此性能價格比非常突出。荷蘭菲利浦公司是世界上生產(chǎn)光纖利用出。荷蘭菲利浦公司是世界上生產(chǎn)光纖利用MPCVD法的最大廠商，日本瑞典等國也采用法的最大廠商，日本瑞典等國也采用了了MPCVD法。我國早在法。我國早在80年代在武漢郵電科年代在武漢郵電科學研究院就開展了學

50、研究院就開展了MPCVD法拉制光纖的研究和法拉制光纖的研究和實驗工作，取得了成功，目前已完成幾代的微實驗工作，取得了成功，目前已完成幾代的微波法拉制光纖的設(shè)備研發(fā)工作，取得了優(yōu)異的波法拉制光纖的設(shè)備研發(fā)工作，取得了優(yōu)異的成績。成績。整理課件k.微波等離子體化學氣相沉積微波等離子體化學氣相沉積,刻蝕刻蝕,掩膜掩膜技術(shù)技術(shù)(MPCVD) 微波等離子體微波等離子體CVD法法可以在較低溫度可以在較低溫度(365)較低氣壓較低氣壓(800Pa)條件下，使金剛石薄膜沉積在硅片石英玻璃片條件下，使金剛石薄膜沉積在硅片石英玻璃片等基片上。該薄膜光滑透明，具有極佳的機械和電氣性等基片上。該薄膜光滑透明，具有極佳

51、的機械和電氣性能。前能。前蘇聯(lián)日本美國蘇聯(lián)日本美國等都早已沉積出實用的大面積等都早已沉積出實用的大面積和厚度達和厚度達1mm多的金剛石膜，取得了突破性的進展。對多的金剛石膜，取得了突破性的進展。對已沉積出來的薄膜進行多種手段的檢測，對其結(jié)構(gòu)進行已沉積出來的薄膜進行多種手段的檢測，對其結(jié)構(gòu)進行分析，證明質(zhì)量較高，與天然金剛石數(shù)據(jù)非常接近。分析，證明質(zhì)量較高，與天然金剛石數(shù)據(jù)非常接近。 下一步的工作是增大沉積面積，進步提高沉積厚度，下一步的工作是增大沉積面積，進步提高沉積厚度，為半導體集成電路，光學元器件，微波電子管零件及航為半導體集成電路，光學元器件，微波電子管零件及航空航天材料提供實用原料。我

52、國近年來也取得了很大進空航天材料提供實用原料。我國近年來也取得了很大進展。展。整理課件l.等離子體輔助加工技術(shù)等離子體輔助加工技術(shù)Auxiliary processing technology of plasma 等離子體輔助加工等離子體輔助加工被用來制造特種優(yōu)良性能的新被用來制造特種優(yōu)良性能的新材料、研制新的化學物質(zhì)和化學過程，加工、改材料、研制新的化學物質(zhì)和化學過程，加工、改造和精制材料及其表面，具有極其廣泛的工業(yè)應(yīng)造和精制材料及其表面，具有極其廣泛的工業(yè)應(yīng)用用-從從薄膜沉積、等離子體聚合、微電路制造到薄膜沉積、等離子體聚合、微電路制造到焊接、工具硬化、超微粉的合成、等離子體噴涂、焊接、工

53、具硬化、超微粉的合成、等離子體噴涂、等離子體冶金、等離子體化工、微波源。等離子體冶金、等離子體化工、微波源。 等離子體輔助加工等離子體輔助加工已開辟的和潛在的應(yīng)用領(lǐng)域已開辟的和潛在的應(yīng)用領(lǐng)域包括：包括：整理課件 半導體集成電路及其它微電子設(shè)備的制造半導體集成電路及其它微電子設(shè)備的制造工具、模具及工程金屬的硬化工具、模具及工程金屬的硬化 藥品的生物相溶性包裝材料的制備藥品的生物相溶性包裝材料的制備表面防蝕及其它薄層的沉積表面防蝕及其它薄層的沉積特殊陶瓷（包括超導材料）特殊陶瓷（包括超導材料）新的化學物質(zhì)及材料的制造新的化學物質(zhì)及材料的制造金屬的提煉金屬的提煉聚合物薄膜的印刷和制備聚合物薄膜的印刷

54、和制備有害廢物的處理有害廢物的處理焊接焊接磁記錄材料和光學波導材料磁記錄材料和光學波導材料精細加工精細加工照明及顯示照明及顯示電子電路及等離子體二極管開關(guān)電子電路及等離子體二極管開關(guān)等離子體化工等離子體化工(氫等離子體裂解煤制乙炔、等離子氫等離子體裂解煤制乙炔、等離子體煤氣化、等離子體裂解重烴、等離子體制炭黑、體煤氣化、等離子體裂解重烴、等離子體制炭黑、等離子體制電石等等離子體制電石等)整理課件等離子體增強等離子體增強化學氣相沉積化學氣相沉積制備的用于制備的用于太陽能電池的太陽能電池的非晶硅薄膜非晶硅薄膜 Amorphous Si film of sun energy cell 整理課件由等離

55、子體由等離子體刻蝕刻蝕制備的超大規(guī)模制備的超大規(guī)模 集成電路局部集成電路局部Etching of large scale integrated circuit by plasma整理課件m.微波等離子體炬的應(yīng)用微波等離子體炬的應(yīng)用(Korea)Applications of microwave plasma torch炭粉合成裝置炭粉合成裝置carbon powder synthesized整理課件 放電用放電用石英管石英管外徑外徑20mm,管壁厚管壁厚1.5mm,長長1200mm,放電管置于另一內(nèi)徑為放電管置于另一內(nèi)徑為50mm長長500mm的石英管中的石英管中,此石英管又置于一長為此石英管

56、又置于一長為500mm的爐內(nèi)的爐內(nèi),爐溫為爐溫為900C,放電管有四個放電管有四個切向小孔切向小孔,使注入氣流成使注入氣流成渦流狀渦流狀,保護放電管壁保護放電管壁.微波功率為微波功率為1kW,利用三銷釘調(diào)配器可使反射利用三銷釘調(diào)配器可使反射功率在功率在10%以下以下. MPT可產(chǎn)生電子濃度為可產(chǎn)生電子濃度為1013/c.c, 和和6000k的高的高溫溫.該裝置用于制備該裝置用于制備炭粉炭粉,在不同在不同N2及及Ar比例時比例時,由由CH4制備的制備的炭粉炭粉的的X光衍射和掃描電鏡照片光衍射和掃描電鏡照片如下圖如下圖所示所示:整理課件Ar:15 L/min; N2:0 L/min;CH4: 0.

57、2L/minX光衍射照片光衍射照片F(xiàn)ETEM整理課件N2 :8 L/min;Ar:8 L/min;50%(N2/N2+Ar)透平結(jié)構(gòu)透平結(jié)構(gòu)(掃描電鏡像掃描電鏡像)turbostratic structure整理課件指紋結(jié)構(gòu)指紋結(jié)構(gòu)onionlike structure整理課件n. 微波消解技術(shù)微波消解技術(shù)Microwave decomposition technology 美國一公司曾對燃煤煙氣中中美國一公司曾對燃煤煙氣中中SO2和和NO2的的微波消解微波消解進行了研究，利用活性炭作為進行了研究，利用活性炭作為還原劑制成炭床，再將還原劑制成炭床，再將SO2、NO2通過炭通過炭床吸附到飽和后進

58、行床吸附到飽和后進行微波加熱微波加熱，將吸附物，將吸附物還原成單質(zhì)硫和氮氣，而炭則轉(zhuǎn)化為二氧還原成單質(zhì)硫和氮氣，而炭則轉(zhuǎn)化為二氧化碳，化碳，NO2的去除率可達的去除率可達98%，而且還發(fā)，而且還發(fā)現(xiàn)炭床循環(huán)使用多次后，它對硫及硝的吸現(xiàn)炭床循環(huán)使用多次后，它對硫及硝的吸附能力和吸附速率還有明顯提高。附能力和吸附速率還有明顯提高。整理課件光氣消解裝置光氣消解裝置(Korea)Decomposition system of phosgene整理課件 石英管外徑石英管外徑28mm,管內(nèi)設(shè)有管內(nèi)設(shè)有15kV的的ac點火裝置點火裝置,石英管內(nèi)壁上有四個切向小孔石英管內(nèi)壁上有四個切向小孔,藉以產(chǎn)生藉以產(chǎn)生渦

59、流渦流,使火炬在中心部分使火炬在中心部分保持穩(wěn)保持穩(wěn)定定,而使其而使其離開管壁。離開管壁。 在在NH3和空氣協(xié)同的作用下和空氣協(xié)同的作用下,COCl2產(chǎn)產(chǎn)生生離解離解的化學反應(yīng)如下的化學反應(yīng)如下,最后分解成最后分解成氯氣氯氣(Cl2)和和HCl被除去。被除去。整理課件o.微波消解微波消解PFCSMicrowave decomposition of PFCS 在在半導體工業(yè)的刻蝕半導體工業(yè)的刻蝕,印染行業(yè)印染行業(yè),冶金工業(yè)冶金工業(yè),材料改性材料改性等等含氟含氟工藝過程中工藝過程中,都會產(chǎn)生和排出都會產(chǎn)生和排出PFCS氣體氣體(CF4,C2F6,C3F8,C4F8,CHF3,SF6),這些氣體對紅

60、外這些氣體對紅外線有較強的吸收線有較強的吸收,在大氣中停留時間較長在大氣中停留時間較長,是一種與是一種與CO2一樣的溫室效應(yīng)氣體一樣的溫室效應(yīng)氣體,是使地球變暖的重要因是使地球變暖的重要因素。在目前的素。在目前的油氣燃燒法油氣燃燒法,摧化劑結(jié)合放電法摧化劑結(jié)合放電法,介質(zhì)介質(zhì)阻擋放電法阻擋放電法等除去等除去PFCS過程中過程中,能耗大能耗大,去除率低去除率低,而采用而采用微波等離子體法微波等離子體法的的去除率去除率可達可達99%以上以上,加加入入H2O,O2添加劑后添加劑后,可使去除率進一步提高可使去除率進一步提高,是一是一種種高效節(jié)能高效節(jié)能,無二次污染無二次污染,低成本低成本的先進技術(shù)手段。的先進技術(shù)手段。整理課件p. 微波處理放射性垃圾技術(shù)微波處理放射性垃圾技術(shù)Microwave processing of radioactive waste