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1、靜電測(cè)試的目的靜電測(cè)試的目的: 為靜電防護(hù)工程設(shè)計(jì)和改善產(chǎn)品自身抗靜電性為靜電防護(hù)工程設(shè)計(jì)和改善產(chǎn)品自身抗靜電性 能設(shè)計(jì)提供數(shù)據(jù)和依據(jù)。能設(shè)計(jì)提供數(shù)據(jù)和依據(jù)。 在實(shí)際運(yùn)行條件下,判斷人體、設(shè)備、工裝器在實(shí)際運(yùn)行條件下,判斷人體、設(shè)備、工裝器 具等是否可能成為靜電放電危害源。具等是否可能成為靜電放電危害源。 檢測(cè)靜電防護(hù)器材(器具、工具、設(shè)備、材料檢測(cè)靜電防護(hù)器材(器具、工具、設(shè)備、材料 )的性能和質(zhì)量。)的性能和質(zhì)量。 評(píng)價(jià)靜電防護(hù)措施的效果。評(píng)價(jià)靜電防護(hù)措施的效果。 當(dāng)發(fā)生靜電放電危害后進(jìn)行模擬測(cè)試,分析事當(dāng)發(fā)生靜電放電危害后進(jìn)行模擬測(cè)試,分析事 故原因,為采取有針對(duì)性的措施提供依據(jù)故原因,

2、為采取有針對(duì)性的措施提供依據(jù)。 評(píng)價(jià)靜電敏感電子產(chǎn)品的設(shè)計(jì)和制造質(zhì)量。評(píng)價(jià)靜電敏感電子產(chǎn)品的設(shè)計(jì)和制造質(zhì)量。 靜電測(cè)試的主要內(nèi)容靜電測(cè)試的主要內(nèi)容 靜電基本參量測(cè)試技術(shù)靜電基本參量測(cè)試技術(shù) 防靜電系統(tǒng)靜電性能測(cè)試技術(shù)防靜電系統(tǒng)靜電性能測(cè)試技術(shù) 包裝材料靜電性能測(cè)試技術(shù)包裝材料靜電性能測(cè)試技術(shù) 人體靜電參數(shù)測(cè)試技術(shù)人體靜電參數(shù)測(cè)試技術(shù) 靜電測(cè)試與一般的強(qiáng)電或弱電測(cè)試相比, 具有自身的特點(diǎn),只有把握這些特點(diǎn),才能 選擇好適宜的測(cè)試儀器,制定出合適的試驗(yàn) 方法和程序,得出準(zhǔn)確的結(jié)果。 由于靜電電量很小,所以在靜電測(cè)試過程中 即使有少量電荷從帶電體流入測(cè)試儀表或泄漏掉, 都會(huì)造成很大的測(cè)量誤差,而且引

3、入的測(cè)試儀器 對(duì)原來場(chǎng)分布也會(huì)產(chǎn)生很大的影響。為降低測(cè)試 儀器對(duì)靜電測(cè)試的影響,要求測(cè)試儀器具有很小 的輸入(耦合)電容和極高的輸入電阻(一般要 求不低于1014)。 目前國內(nèi)外靜電測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)化尚未全面完 成,測(cè)試儀器多種多樣,在實(shí)際工作中往往存在 測(cè)試方法不統(tǒng)一,結(jié)果不一致,再現(xiàn)性差等問題。 這就要求測(cè)試人員盡量采用科學(xué)合理的測(cè)試 方法,選用先進(jìn)的測(cè)試儀器并定期進(jìn)行計(jì)量,以 避免測(cè)試結(jié)果的過大誤差。不同的測(cè)試方法、不 同的帶電歷史、不同的測(cè)試電壓,將導(dǎo)致不同的 測(cè)試結(jié)果,因此,給出測(cè)試結(jié)果時(shí),必須同時(shí)標(biāo) 明其測(cè)試方法和測(cè)試電壓等條件。 靜電測(cè)試受到環(huán)境條件的影響較之普通的強(qiáng) 電或弱電測(cè)試要

4、大,而且顯著得多。用同樣的測(cè) 試方法、同樣的測(cè)試儀器、在同一地點(diǎn)作同樣的 測(cè)試時(shí),如果環(huán)境溫度、相對(duì)濕度、被測(cè)物品與 環(huán)境的平衡時(shí)間等測(cè)試條件不同,則測(cè)試結(jié)果會(huì) 有很大的差別,環(huán)境相對(duì)濕度對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響 尤其顯著。因此,測(cè)試報(bào)告中必須要注明溫、濕 度等環(huán)境條件。 一、靜電基本參量測(cè)試技術(shù)一、靜電基本參量測(cè)試技術(shù) 靜電電位測(cè)量靜電電位測(cè)量 1 1、接觸式測(cè)量、接觸式測(cè)量 測(cè)試原理測(cè)試原理 利用等電位原理進(jìn)行測(cè)試,把被測(cè)帶電體用絕緣電利用等電位原理進(jìn)行測(cè)試,把被測(cè)帶電體用絕緣電 纜直接連在輸入阻抗為纜直接連在輸入阻抗為1012以上靜電電壓表的測(cè)量電以上靜電電壓表的測(cè)量電 極上,由靜電電壓表頭直接

5、讀出被測(cè)帶電體的對(duì)地電極上,由靜電電壓表頭直接讀出被測(cè)帶電體的對(duì)地電 壓,也稱為接觸式測(cè)量。此測(cè)試方法僅適用于對(duì)靜電壓,也稱為接觸式測(cè)量。此測(cè)試方法僅適用于對(duì)靜電 導(dǎo)體帶電電位的測(cè)試,測(cè)試誤差相對(duì)比較小,測(cè)量準(zhǔn)導(dǎo)體帶電電位的測(cè)試,測(cè)試誤差相對(duì)比較小,測(cè)量準(zhǔn) 確度可以優(yōu)于確度可以優(yōu)于2,但對(duì)于某類測(cè)試探頭無法接觸的場(chǎng),但對(duì)于某類測(cè)試探頭無法接觸的場(chǎng) 合此類方法不便使用。合此類方法不便使用。 測(cè)試儀器測(cè)試儀器 接觸式靜電電壓表(或簡(jiǎn)稱靜電伏特計(jì))是利用接觸式靜電電壓表(或簡(jiǎn)稱靜電伏特計(jì))是利用 靜電力矩來進(jìn)行測(cè)試的。靜電力矩來進(jìn)行測(cè)試的。 接觸式靜電計(jì)等效電路接觸式靜電計(jì)等效電路 CC UC U

6、0 00 e CC UC U CCR t 0 00 )(0 U低于帶電體的實(shí)際電壓低于帶電體的實(shí)際電壓U0。為減小測(cè)試誤差,應(yīng)該為減小測(cè)試誤差,應(yīng)該 使使CC0,即盡可能地減小儀表的輸入電容。例如,量程即盡可能地減小儀表的輸入電容。例如,量程 在在3kV以下的靜電電壓表,其輸入電容以下的靜電電壓表,其輸入電容C值都不大于值都不大于30pF。 隨測(cè)試時(shí)間隨測(cè)試時(shí)間t的增加,表頭讀數(shù)按指數(shù)規(guī)律衰減。為的增加,表頭讀數(shù)按指數(shù)規(guī)律衰減。為 了減小由此造成的測(cè)量誤差,應(yīng)盡量提高儀表的輸入電阻了減小由此造成的測(cè)量誤差,應(yīng)盡量提高儀表的輸入電阻 R,一般靜電壓表的輸入電阻選擇在一般靜電壓表的輸入電阻選擇在1

7、012以上。以上。 2、非、非接觸式測(cè)量接觸式測(cè)量 測(cè)試原理測(cè)試原理 運(yùn)用靜電感應(yīng)靜電感應(yīng)原理是將測(cè)試探頭靠近帶電體,運(yùn)用靜電感應(yīng)靜電感應(yīng)原理是將測(cè)試探頭靠近帶電體, 利用探頭與被測(cè)帶電體之間產(chǎn)生的畸變電場(chǎng)測(cè)試帶電體的利用探頭與被測(cè)帶電體之間產(chǎn)生的畸變電場(chǎng)測(cè)試帶電體的 表面電位,實(shí)質(zhì)上是對(duì)帶電體表面電場(chǎng)的測(cè)試;表面電位,實(shí)質(zhì)上是對(duì)帶電體表面電場(chǎng)的測(cè)試; 由于這種測(cè)試不是直接同帶電體相接觸,因此也稱非由于這種測(cè)試不是直接同帶電體相接觸,因此也稱非 接觸式測(cè)量,所使用的測(cè)試儀表,又稱非接觸式測(cè)試儀表。接觸式測(cè)量,所使用的測(cè)試儀表,又稱非接觸式測(cè)試儀表。 與接觸式測(cè)量相比,非接觸式測(cè)量結(jié)果受儀表輸入

8、電與接觸式測(cè)量相比,非接觸式測(cè)量結(jié)果受儀表輸入電 容、輸入電阻的影響較小,測(cè)量準(zhǔn)確度可優(yōu)于容、輸入電阻的影響較小,測(cè)量準(zhǔn)確度可優(yōu)于15,但受,但受 測(cè)試距離、帶電體幾何尺寸的影響較大。測(cè)試距離、帶電體幾何尺寸的影響較大。 測(cè)試儀器測(cè)試儀器 根據(jù)工作原理的不同,該類儀表主要分為靜電感應(yīng)型和電根據(jù)工作原理的不同,該類儀表主要分為靜電感應(yīng)型和電 離型兩種。離型兩種。 直接感應(yīng)式儀表測(cè)試原理直接感應(yīng)式儀表測(cè)試原理 CW Cb Rb L T 被測(cè)帶電體 b bw w CC UC bbCR t e 即使被測(cè)電位U不變,測(cè)試值b仍隨時(shí)間以指數(shù)規(guī)律衰減, 時(shí)間常數(shù)為RbCb。為減小測(cè)試誤差,要求Rb或Cb充分

9、大,但Cb增 大將導(dǎo)致測(cè)試靈敏度降低,反而使測(cè)試發(fā)生困難,因而要求該 類儀表具有很高的輸入電阻,這一點(diǎn)同接觸式測(cè)試儀表是一致 的。即使如此,也只能減緩衰減速度,不能從根本上解決問題, 故該類儀表不能用作固定接入的監(jiān)測(cè)儀表。 振動(dòng)電容式靜電計(jì)振動(dòng)電容式靜電計(jì) 振動(dòng)電容式靜電表也稱振簧式靜電計(jì),主要由振動(dòng)電容式靜電表也稱振簧式靜電計(jì),主要由 測(cè)試探頭、交流放大器、振蕩器、相敏檢波器和測(cè)試探頭、交流放大器、振蕩器、相敏檢波器和 指示器組成。與直接感應(yīng)式儀表不同,其探頭電指示器組成。與直接感應(yīng)式儀表不同,其探頭電 極是一個(gè)可振動(dòng)的金屬片,在振蕩器的驅(qū)動(dòng)下,極是一個(gè)可振動(dòng)的金屬片,在振蕩器的驅(qū)動(dòng)下, 探

10、頭電極與被測(cè)帶電體之間的電容周期性變化,探頭電極與被測(cè)帶電體之間的電容周期性變化, 被測(cè)帶電體在探頭電極上感應(yīng)出一個(gè)周期性變化被測(cè)帶電體在探頭電極上感應(yīng)出一個(gè)周期性變化 的電位信號(hào)。因?yàn)榇诵盘?hào)非常微弱,故采用高阻的電位信號(hào)。因?yàn)榇诵盘?hào)非常微弱,故采用高阻 輸入的阻抗變換器來接受信號(hào),再經(jīng)交流放大和輸入的阻抗變換器來接受信號(hào),再經(jīng)交流放大和 相敏檢波后由直流表顯示被測(cè)電位,而且還可以相敏檢波后由直流表顯示被測(cè)電位,而且還可以 測(cè)試電位的極性。測(cè)試電位的極性。 靜電電量測(cè)量靜電電量測(cè)量 測(cè)量時(shí),將帶電體無摩擦的測(cè)量時(shí),將帶電體無摩擦的 投入內(nèi)筒,內(nèi)筒內(nèi)表面將感應(yīng)出投入內(nèi)筒,內(nèi)筒內(nèi)表面將感應(yīng)出 與帶

11、電體異面等值的電荷,內(nèi)筒與帶電體異面等值的電荷,內(nèi)筒 外表面和外筒內(nèi)表面也會(huì)帶上等外表面和外筒內(nèi)表面也會(huì)帶上等 值異面電荷。因此,內(nèi)外筒間就值異面電荷。因此,內(nèi)外筒間就 有電位差產(chǎn)生。有電位差產(chǎn)生。 將外筒接地,電壓表指示的將外筒接地,電壓表指示的 內(nèi)筒電位即兩筒的電位差。在用內(nèi)筒電位即兩筒的電位差。在用 精密萬用電橋或其它電容測(cè)試儀精密萬用電橋或其它電容測(cè)試儀 器測(cè)得系統(tǒng)電容值器測(cè)得系統(tǒng)電容值C(為內(nèi)外筒為內(nèi)外筒 間的電容、電壓表輸入電容和裝間的電容、電壓表輸入電容和裝 置上并聯(lián)電容的電容之和)置上并聯(lián)電容的電容之和). 然后按照公式然后按照公式Q=CU計(jì)算出計(jì)算出 被測(cè)帶電體靜電電量被測(cè)帶

12、電體靜電電量Q。 1內(nèi)筒內(nèi)筒 2外筒外筒 3絕緣支架絕緣支架 4監(jiān)測(cè)器監(jiān)測(cè)器 電阻、電阻率的測(cè)量電阻、電阻率的測(cè)量 電阻是與靜電泄漏緊密相關(guān)的電氣參數(shù)之一,電阻測(cè)試電阻是與靜電泄漏緊密相關(guān)的電氣參數(shù)之一,電阻測(cè)試 包括絕緣電阻、接地電阻、靜電接地電阻和靜電泄漏電阻的包括絕緣電阻、接地電阻、靜電接地電阻和靜電泄漏電阻的 測(cè)試;電阻率測(cè)試包括表面電阻率和體電阻率的測(cè)試。測(cè)試;電阻率測(cè)試包括表面電阻率和體電阻率的測(cè)試。 1. 絕緣材料電阻與電阻率測(cè)試絕緣材料電阻與電阻率測(cè)試 介質(zhì)材料的試樣上安放兩個(gè)電極,在其間施加一定的直介質(zhì)材料的試樣上安放兩個(gè)電極,在其間施加一定的直 流電壓流電壓U時(shí),測(cè)量電極間

13、就有電流時(shí),測(cè)量電極間就有電流I流過,電壓流過,電壓U與電流與電流I 的比值,稱作絕緣電阻的比值,稱作絕緣電阻R,即即R=U/I。 電極間流過的電流電極間流過的電流I包括沿試樣表面流動(dòng)的泄漏電流包括沿試樣表面流動(dòng)的泄漏電流Is和和 穿過介質(zhì)內(nèi)部的電導(dǎo)電流穿過介質(zhì)內(nèi)部的電導(dǎo)電流Iv兩部分。為詳細(xì)評(píng)價(jià)材料的導(dǎo)兩部分。為詳細(xì)評(píng)價(jià)材料的導(dǎo) 電性質(zhì),把電壓電性質(zhì),把電壓U與表面泄漏電流與表面泄漏電流Is的比值稱作表面電阻的比值稱作表面電阻 Rs,而把電壓而把電壓U與體內(nèi)電導(dǎo)電流與體內(nèi)電導(dǎo)電流Iv的比值稱作體積電阻的比值稱作體積電阻Rv ,即即 s IUR sv IUR v 材料絕緣電阻材料絕緣電阻R是其

14、表面電阻是其表面電阻Rs和體積電阻和體積電阻Rv的并聯(lián)的并聯(lián) 值,這三個(gè)電阻值均與測(cè)量電極的大小、形狀有關(guān),因此值,這三個(gè)電阻值均與測(cè)量電極的大小、形狀有關(guān),因此 ,給出測(cè)量結(jié)果時(shí)應(yīng)同時(shí)表明測(cè)量電極的參數(shù)。,給出測(cè)量結(jié)果時(shí)應(yīng)同時(shí)表明測(cè)量電極的參數(shù)。 為為定量定量描述材料的導(dǎo)電性質(zhì),擺脫測(cè)量值對(duì)測(cè)量電極描述材料的導(dǎo)電性質(zhì),擺脫測(cè)量值對(duì)測(cè)量電極 參數(shù)的依賴關(guān)系,引入?yún)?shù)的依賴關(guān)系,引入表面電阻率表面電阻率和和體電阻率體電阻率的概念。的概念。 表面電阻率表面電阻率定義為單位寬度、單位長度材料的表面電定義為單位寬度、單位長度材料的表面電 阻值,即正方形材料兩對(duì)邊間的表面電阻值,單位為歐姆阻值,即正方形

15、材料兩對(duì)邊間的表面電阻值,單位為歐姆 ( ),其數(shù)值大小與正方形的幾何尺寸無關(guān)。),其數(shù)值大小與正方形的幾何尺寸無關(guān)。 體電阻率體電阻率定義定義為單位橫截面單位長度上材料的體積電為單位橫截面單位長度上材料的體積電 阻值,單位為歐姆阻值,單位為歐姆米米。 二、防靜電系統(tǒng)靜電性能測(cè)試技術(shù)二、防靜電系統(tǒng)靜電性能測(cè)試技術(shù) 防防靜電系統(tǒng)靜電系統(tǒng): 防防靜電碗帶、防靜電服、防靜電鞋、地面、接地設(shè)施、靜電碗帶、防靜電服、防靜電鞋、地面、接地設(shè)施、 工作臺(tái)、儲(chǔ)物架、小推車等防靜電設(shè)施及用品,它們都是實(shí)工作臺(tái)、儲(chǔ)物架、小推車等防靜電設(shè)施及用品,它們都是實(shí) 施靜電防護(hù)必不可缺少的物質(zhì)手段。因此,對(duì)這些防靜電設(shè)施靜

16、電防護(hù)必不可缺少的物質(zhì)手段。因此,對(duì)這些防靜電設(shè) 施進(jìn)行靜電性能測(cè)試,以確保投入使用時(shí)其性能合格,對(duì)靜施進(jìn)行靜電性能測(cè)試,以確保投入使用時(shí)其性能合格,對(duì)靜 電防護(hù)效果的影響是直接而又具體的。這種測(cè)試是靜電防護(hù)電防護(hù)效果的影響是直接而又具體的。這種測(cè)試是靜電防護(hù) 測(cè)試的重要組成部分。測(cè)試的重要組成部分。 ESD防護(hù)腕帶、鞋束(足跟帶)靜電性能測(cè)試防護(hù)腕帶、鞋束(足跟帶)靜電性能測(cè)試 腕帶內(nèi)表面導(dǎo)電性能測(cè)試腕帶內(nèi)表面導(dǎo)電性能測(cè)試圖圖 歐姆表10k檔 電纜扣 鱷魚夾 腕帶連接電纜系統(tǒng)電阻測(cè)試腕帶連接電纜系統(tǒng)電阻測(cè)試 測(cè)試佩戴腕帶時(shí)系統(tǒng)電阻測(cè)試佩戴腕帶時(shí)系統(tǒng)電阻圖圖 歐姆表10k檔 腳跟帶(鞋束)系統(tǒng)

17、電阻測(cè)試腳跟帶(鞋束)系統(tǒng)電阻測(cè)試 GJB3007-97IEC61340-5-1 1998 腕帶腕帶 Rg 1105(從內(nèi)表面對(duì)地從內(nèi)表面對(duì)地 測(cè)量測(cè)量) 7.5105 Rg 3.5107(穿戴穿戴) 7.5105 Re 5.0106(腕帶腕帶 連線端對(duì)端測(cè)量連線端對(duì)端測(cè)量) Rg 1105(未穿戴未穿戴) 7.5105 Rg 3.5107(穿戴穿戴) 7.5105 Re 5106(腕帶線腕帶線) 鞋束鞋束 5104 Rg 1108 ESD防護(hù)腕帶、鞋束(足跟帶)靜電性能參數(shù)防護(hù)腕帶、鞋束(足跟帶)靜電性能參數(shù) ESD防護(hù)工作服靜電性能測(cè)試防護(hù)工作服靜電性能測(cè)試 工作服對(duì)靜電防護(hù)的有效性直接依

18、賴于它的表面電阻。工作服對(duì)靜電防護(hù)的有效性直接依賴于它的表面電阻。 工作服的內(nèi)、外表面要能夠使人體操作中因摩擦等動(dòng)作所工作服的內(nèi)、外表面要能夠使人體操作中因摩擦等動(dòng)作所 產(chǎn)生的電荷順利地到達(dá)于人體表面,并最后通過防靜電腕產(chǎn)生的電荷順利地到達(dá)于人體表面,并最后通過防靜電腕 帶、鞋襪等泄漏于大地而提供通路,這就要求工作服的設(shè)帶、鞋襪等泄漏于大地而提供通路,這就要求工作服的設(shè) 計(jì)應(yīng)能保持其在穿著狀態(tài)下與人體直接或間接接觸,并自計(jì)應(yīng)能保持其在穿著狀態(tài)下與人體直接或間接接觸,并自 身具有良好的表面電阻值。為防萬一出現(xiàn)不良接觸,必要身具有良好的表面電阻值。為防萬一出現(xiàn)不良接觸,必要 時(shí),所穿工作服還應(yīng)設(shè)置

19、專門的接地連接點(diǎn)。服裝上任意時(shí),所穿工作服還應(yīng)設(shè)置專門的接地連接點(diǎn)。服裝上任意 兩點(diǎn)間的電阻為服裝的兩點(diǎn)間的電阻為服裝的表面電阻表面電阻值。值。 儀器 接縫 電極1 對(duì)地連接點(diǎn) A C BD E 服裝對(duì)地電阻測(cè)試原理圖服裝對(duì)地電阻測(cè)試原理圖服裝表面服裝表面(點(diǎn)對(duì)點(diǎn)點(diǎn)對(duì)點(diǎn))電阻測(cè)試原理圖電阻測(cè)試原理圖 儀器 接縫 電極1 A C B D E 電極2 一般要求工作服的表面電阻為一般要求工作服的表面電阻為7.5x105 R 1x1010,對(duì),對(duì) 地電阻為地電阻為7.5x105 R 1x108。 測(cè)試電極為圓柱形,直徑測(cè)試電極為圓柱形,直徑50mm,重量,重量2kg。 防靜電鞋、襪對(duì)地電阻測(cè)試防靜電鞋

20、、襪對(duì)地電阻測(cè)試 防防靜電鞋、襪,也是提供人體靜電荷泄漏通道的靜電鞋、襪,也是提供人體靜電荷泄漏通道的 主要措施,且能在一旦腕帶發(fā)生問題(如斷路)時(shí)或在主要措施,且能在一旦腕帶發(fā)生問題(如斷路)時(shí)或在 不可能使用碗帶的情況下,作為一種基本的人體接地方不可能使用碗帶的情況下,作為一種基本的人體接地方 式。式。 儀器 鞋襪電極 防靜電鞋襪在穿戴狀態(tài)下對(duì)地電防靜電鞋襪在穿戴狀態(tài)下對(duì)地電 阻的要求為阻的要求為51041108。 工作椅、存放架、運(yùn)輸小車對(duì)地電阻和表面電阻的測(cè)試工作椅、存放架、運(yùn)輸小車對(duì)地電阻和表面電阻的測(cè)試 工作椅應(yīng)能通過支腳或輪子接地,在正常情況下與工件、人工作椅應(yīng)能通過支腳或輪子接

21、地,在正常情況下與工件、人 體接觸的表面應(yīng)由靜電耗散材料制作。對(duì)地電阻測(cè)試,一般以體接觸的表面應(yīng)由靜電耗散材料制作。對(duì)地電阻測(cè)試,一般以 支腳架、腳輪等作為接地電極,另一電極接于器具表體的某一支腳架、腳輪等作為接地電極,另一電極接于器具表體的某一 點(diǎn);表面電阻為器具表面上任意兩點(diǎn)之間的電阻數(shù)值。測(cè)試時(shí)點(diǎn);表面電阻為器具表面上任意兩點(diǎn)之間的電阻數(shù)值。測(cè)試時(shí) 應(yīng)保持電極與被測(cè)表面之間良好的電接觸。應(yīng)保持電極與被測(cè)表面之間良好的電接觸。 工作椅的對(duì)地電阻為工作椅的對(duì)地電阻為5x x1051.0 x x1010、表面電阻(點(diǎn)對(duì)點(diǎn)表面電阻(點(diǎn)對(duì)點(diǎn) )小于等于)小于等于1.0 x x1010 儀器 電極1

22、 電極2 導(dǎo)電薄片材料 對(duì)地電阻對(duì)地電阻 儀器 電極1 表面電阻表面電阻 電極2 存放架、運(yùn)輸小車的對(duì)地電阻為存放架、運(yùn)輸小車的對(duì)地電阻為7.5x1051.0 x109 測(cè)試電極 50 2kg 500VDC兆歐表 R 板狀輔助電極 物流車 濕濾紙墊 物流車臺(tái)面對(duì)車輪系統(tǒng)電阻測(cè)試 手套、指套對(duì)地電阻的測(cè)試手套、指套對(duì)地電阻的測(cè)試 在進(jìn)行操作時(shí),防靜電手套、指套的外面直接與工件相在進(jìn)行操作時(shí),防靜電手套、指套的外面直接與工件相 接觸,并通過其壁和人體泄漏電荷,所以它必須能夠耗散靜接觸,并通過其壁和人體泄漏電荷,所以它必須能夠耗散靜 電,又要使電荷耗散的速度不能太快以防突發(fā)放電,這些只電,又要使電荷

23、耗散的速度不能太快以防突發(fā)放電,這些只 能依靠它在穿著情況下具有合適的對(duì)地電阻,測(cè)量時(shí),一般能依靠它在穿著情況下具有合適的對(duì)地電阻,測(cè)量時(shí),一般 使用使用2枚枚20mm的平板形金屬電極作為與測(cè)試導(dǎo)線相接觸的的平板形金屬電極作為與測(cè)試導(dǎo)線相接觸的 面積。如果上述規(guī)定不能實(shí)現(xiàn)時(shí),也可使用接線夾子。面積。如果上述規(guī)定不能實(shí)現(xiàn)時(shí),也可使用接線夾子。 在佩戴情況下在佩戴情況下, ,一般要求一般要求 手套、指套的對(duì)地電阻為手套、指套的對(duì)地電阻為 7.5x107.5x105 51.0 x101.0 x1010 10 。 儀表 手套對(duì)地電阻的測(cè)試手套對(duì)地電阻的測(cè)試 防靜電地面對(duì)地電阻和表面電阻的測(cè)試防靜電地面

24、對(duì)地電阻和表面電阻的測(cè)試 防防靜電地面應(yīng)采用靜電耗散材料并接地良好,其對(duì)地電靜電地面應(yīng)采用靜電耗散材料并接地良好,其對(duì)地電 阻為阻為1x1051x109,表面(點(diǎn)對(duì)點(diǎn))電阻為表面(點(diǎn)對(duì)點(diǎn))電阻為1x1051x1010。 測(cè)試時(shí)每測(cè)試時(shí)每4m2隨機(jī)抽取隨機(jī)抽取5點(diǎn)并取中心對(duì)四角點(diǎn)并取中心對(duì)四角4次測(cè)試結(jié)果次測(cè)試結(jié)果 的平均值,測(cè)試點(diǎn)距地板的邊緣不得小于的平均值,測(cè)試點(diǎn)距地板的邊緣不得小于100mm。 R 地面(防靜電水磨石) 接地母線 500VDC兆歐表 測(cè)試電極 50 2kg 三、人體靜電參數(shù)測(cè)試技術(shù)三、人體靜電參數(shù)測(cè)試技術(shù) 人體由于自身的活動(dòng)及與周圍物體的接觸分離,在干人體由于自身的活動(dòng)及與

25、周圍物體的接觸分離,在干 燥環(huán)境中常常有幾千伏甚至幾萬伏的靜電。當(dāng)沒有形成燥環(huán)境中常常有幾千伏甚至幾萬伏的靜電。當(dāng)沒有形成 火花放電時(shí),自身往往不會(huì)有異常感覺。但是,在靜電火花放電時(shí),自身往往不會(huì)有異常感覺。但是,在靜電 危險(xiǎn)場(chǎng)所,人體作為帶電的靜電導(dǎo)體,一旦形成能量比危險(xiǎn)場(chǎng)所,人體作為帶電的靜電導(dǎo)體,一旦形成能量比 較集中的火花放電,其后果是不堪設(shè)想的。因此,國內(nèi)較集中的火花放電,其后果是不堪設(shè)想的。因此,國內(nèi) 外學(xué)者普遍認(rèn)為人體靜電是靜電防護(hù)工程中主要危害源外學(xué)者普遍認(rèn)為人體靜電是靜電防護(hù)工程中主要危害源 之一。所以,進(jìn)行人體靜電參數(shù)測(cè)試,具有十分重要的之一。所以,進(jìn)行人體靜電參數(shù)測(cè)試,具

26、有十分重要的 應(yīng)用價(jià)值。人體靜電參數(shù)包括人體靜電電位、人體對(duì)地應(yīng)用價(jià)值。人體靜電參數(shù)包括人體靜電電位、人體對(duì)地 電阻、人體對(duì)地電容。電阻、人體對(duì)地電容。 人體靜電電位測(cè)試人體靜電電位測(cè)試 近近3030年來研制的靜電電位儀表,按其測(cè)試原理可分為接觸年來研制的靜電電位儀表,按其測(cè)試原理可分為接觸 式和非接觸式兩大類型。接觸式靜電電位儀表輸入電阻小、阻式和非接觸式兩大類型。接觸式靜電電位儀表輸入電阻小、阻 尼大,不能對(duì)人體等靜電導(dǎo)體的動(dòng)態(tài)電位進(jìn)行測(cè)試,也無法判尼大,不能對(duì)人體等靜電導(dǎo)體的動(dòng)態(tài)電位進(jìn)行測(cè)試,也無法判 斷被測(cè)人體的電位極性;非接觸式靜電電位測(cè)試儀表以日本斷被測(cè)人體的電位極性;非接觸式靜電

27、電位測(cè)試儀表以日本的的 MH型型人體靜電電位儀和美制人體靜電電位儀和美制263型高速靜電表為代表,其輸入型高速靜電表為代表,其輸入 電阻(大于電阻(大于1014)提高了,但儀表指示值提高了,但儀表指示值b仍仍隨時(shí)間衰減,隨時(shí)間衰減, 使得測(cè)試結(jié)果誤差很大。使得測(cè)試結(jié)果誤差很大。DWJ-81型型靜電電位儀通過將感應(yīng)探靜電電位儀通過將感應(yīng)探 頭換成振動(dòng)電容式或旋轉(zhuǎn)式,解決了儀器最終指示值不隨時(shí)間頭換成振動(dòng)電容式或旋轉(zhuǎn)式,解決了儀器最終指示值不隨時(shí)間 衰減的問題,同時(shí)機(jī)械振動(dòng)的頻率限制了儀器對(duì)靜電電位信號(hào)衰減的問題,同時(shí)機(jī)械振動(dòng)的頻率限制了儀器對(duì)靜電電位信號(hào) 的正確響應(yīng)。的正確響應(yīng)。 ZPD-1 1

28、型靜電電位動(dòng)態(tài)測(cè)試儀型靜電電位動(dòng)態(tài)測(cè)試儀 采用采用 “ “信號(hào)自屏蔽電荷耦合信號(hào)自屏蔽電荷耦合” ” 測(cè)試原理,即根據(jù)測(cè)試原理,即根據(jù) 靜電電壓的特點(diǎn),利用靜電信號(hào)高壓電極本身作為傳感器靜電電壓的特點(diǎn),利用靜電信號(hào)高壓電極本身作為傳感器 電極,使屏蔽深度與儀器靈敏度要求相一致,避免了一般電極,使屏蔽深度與儀器靈敏度要求相一致,避免了一般 靜電儀器用接地屏蔽所帶來的問題,在提高儀器靈敏度的靜電儀器用接地屏蔽所帶來的問題,在提高儀器靈敏度的 同時(shí),儀器的抗干擾能力也得到增強(qiáng)。同時(shí),儀器的抗干擾能力也得到增強(qiáng)。“電荷耦合電荷耦合”是指是指 儀器輸入端接收的是電荷量,且使電荷量與被測(cè)電位成正儀器輸入端接收的是電荷量,且使電荷量與被測(cè)電位成正 比,通過對(duì)電荷量的測(cè)試得到被測(cè)電位的數(shù)值。比,通過對(duì)電荷量的測(cè)試得到被測(cè)電位的數(shù)值。 GY-2型傳感器放大器 峰值和極性顯示 動(dòng)態(tài)波形顯示 記錄儀

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