歐洲微電子研究中心IMEC簡介提起比利時的小城魯汶，從事半導體行業的人無不知曉。盡管魯汶的市中心面積不足九平方公里，僅相當于北京天安門廣場加上故宮的面積之和，就是這 樣一個小得不能再小的城市里卻擁有世界著名的獨立的微電子研究中心，歐洲領先的獨立納米技術研究機構比利時弗拉芒校際微電子研究中心Inter- university Microelectronics Center (IMEC, 2010年后改名為imec)。 1984年，比利時法拉德斯省政府出資6200萬歐元創建了非營利組織IMEC，成立的主要宗旨在結合荷語區內各大學學術研究的力量，致力信息通訊系統 發展所需的技術研究與開發，以下一世紀的集成電路、封裝技術、芯片設計和系統發展為研究重心，進而帶動外圍相關科技的發展，以因應電子科技產業界三至十年 后的需要。時隔27年，IMEC早已成為歐洲最大的微電子、信息及通信的研發中心，已從原來不足70人發展到2008年超過1650人，2008年年收入 達2億7千萬歐元。其實驗室占地3600、超無塵實驗室占地6200、電腦室占地10400，為歐洲最大半導體制造及設計中心，其每年預算約為六百 億臺幣。實驗室可以生產到0.25微米的積體電路。IMEC的重點在微機的部份，由其大型無塵室及晶片設計制造中心頗富盛名，其微機電的制造技術室采用傳 統的蝕刻技術，該組聞名的研究有視覺、加速度及壓力的感測器，尤其在比電路方面技術十分先進。 IMEC的研究活動主要是由三個技術單位所組成： 制程技術(Process Technology)單位包含了IMEC所有關于縮小集成電路尺寸(IC scaling)的研究活動；智能系統與能源技術(Smart Systems and Energy Technology)針對無線通訊、自動化感應網絡、生物醫學手段、以及太陽能等各種領域開發創新性整合運用；生產與制程研究開發(FAB and Process R&D)單位統籌所有支持制程與工具的知識。 IMEC的研究廣泛，目前主要研究領域包括：納米電子尺寸（Scaling-driven nanoelectronics）、異質整合技術（CMORE - heterogeneous integration）、綠色無線電（Green radios）、電子組件（Digital components）、光電技術（Photovoltaics）、生醫電子科技（Human+ - biomedical electronics）、神經電子學（ NERF - Neuroelectronics Research Flanders）、生物電子（Organic electronics）、無線自主轉換器解決方案（Wireless autonomous transducer solutions）九大方向等。在半導體方面，以0.13至0.07微米CMOS制程整合技術為主要重點，其中包含了193和157納米光刻技術、高介 電質柵極 (gate dielectric) 材料、銅導線及低介電質材料開發。CMOS組件微小化有助于未來系統單芯片(system on chip, SoC) 的開發。在微波組件上，SiGe BiCMOS 模塊也是開發重點，此模塊適用于數字模擬混和信號 (analog/digital mixed signal)電路，并對于無線通信相關之應用有很大的影響。在非揮發性內存 (non-volatile memory)上，鐵電材料內存 (ferroelectric memory) 為主要研究重點，今天IMEC已成為歐洲最大非揮發性內存研究中心。至于在材料、組件及封裝方面，則希望其技術發展能符合未來市場的需求、提供微系統及高 產出的解決方案，并朝向太陽能領域發展。而在芯片方面，雖然芯片的未來發展難以預測，但IMEC仍致力于研發芯片科技和各個實用領域結合的可能性，影響將 遍及健康、經濟、能源、環境等層面。 與其他國家相比，研究機構創立之初都可以從政府得到大筆的經濟資助，而比利時政府預算有限，最初投入只有6200萬歐元。在2007年3月IMEC與政 府簽訂的最新協議中，法拉德斯省政府在2007-2011年間向IMEC提供總計2億1千萬歐元的資助，而這五年間IMEC的總預算已超過12億歐元，相 差的近10億歐元全部要靠研發收入獲得。正是由于這種緊迫感，促使IMEC的研發項目與產業發展緊密結合，創造出與企業合作、共同開發、共享研發成果的獨 特商業模式。 研發成本隨著線寬的不斷縮小而呈非線性地急速上升，任何一家公司獨立來承擔研發費用已變得越來越困難，因此越來越多的公司開始尋求外部資源，而IMEC 的模式正好迎合了市場的需要。IMEC以這種與企業合作、共同研發的商業模式，與合作伙伴共同分擔研發成本與風險，并提供給每一個合作者所需要的研發成 果，以滿足他們未來技術的開發，并實現利益最大化。 IMEC除了設在魯汶的總部與西法蘭德斯的伊佩爾(Ieper)有辦事處之外，在荷蘭的艾恩德霍芬(Eindhoven)、美國的加州圣荷西(San Jose)、中國的上海和日本的東京千代田區都設有代表處，并于二零零八年在新竹科學園區成立臺灣辦事處。其國際合作的對象與方式也各有不同。合作的類型 有IMEC產業聯盟計劃(IMEC industrial affiliation programs, IIAPs)、雙邊合作(bilateral collaborations)、技術授權與認證(technology transfers and licenses)、歐盟合作計劃(EU consortium programs)、訓練與服務(training and services)等不同的模式。 IMEC產業聯盟計劃(IIAPs)模式以其優異地結合研究與開發的方式而知名全球。這個商業模式主要是共同分享智能財產權和優秀人才，也共同分擔風險和 成本。參與這種方案的合作單位可以派遣研究人員到此與IMEC的研究人員以及其它IIAPs合作伙伴的研究員組成研究團隊。每一個參與單位，每一個研究計 劃，都可以量身訂做R&D的內容與方式。IMEC擁有的技術可以轉移給參與單位，而研究計劃內創新的研究成果也可以共同分享。當然，IIAPs合 作伙伴仍然保有自己珍貴的研究數據與機密文件。例如，2008年臺灣的力晶半導體(Powerchip Semiconductor Corp.)加入了IMEC的合作伙伴，為32納米以下的內存技術(sub-32nm memory technology)開發解決方案，特別是在處理先進光學微影(advanced lithography options)。 雙邊合作(bilateral collaborations)的模式是由主導的產業合作伙伴與IMEC簽署雙邊合作的協議，共同開發新產品與科技的運用(例如與Panasonic Corporation的合作方式)。服務的內容可以是特定需求的開發(development-on-demand)、原型創制、或是少量生產。 技術授權與認證(technology transfers and licenses)可以將IMEC所擁有的制程步驟、模具、甚至完整的制程技術跟IP blocks完全授權。而IMEC也積極地參與多項的歐盟合作方案(EU consortium programs)，在2008年就有52個研究在歐盟的第七架構計劃下進行。同時在訓練與服務(training and services)的理念下，IMEC主動協助研究成果的商業化(spin-off)與培育(incubaition)新興中小型企業的創立與運作。 近幾年來，全球各公司單位及研究中心均因經濟衰退而成長受到極大的影響，然而IMEC的整體營收卻仍然逆勢成長，這樣的成就多歸功其與世界的對手合 作的關鍵策略。現在，IMEC正與世界上五百多個來自世界上頂尖的公司與研發中心合作，共同分擔經費、想法、及智慧財產權，一起開發多項尖端的技術。 IMEC現在已建立起了一個穩固的合作網絡，然而最初如何讓合作伙伴相信自己的價值和實力，IMEC確實下了一番功夫。IMEC通過持續不斷地給合作伙 伴提供有價值的數據、研發成果，逐步