半導體工藝實習報告姓 名：_褚金磊_學 號：_131002205_專 業：_電子科學與技術_班 級：_2013級2班 _實習單位：_錦州遼晶電子科技有限公司實習時間：_2016_年_07_月_13_日 半導體工藝實習報告實習單位：錦州遼晶電子科技有限公司實習時間：2016年7月13日實習內容：實地參觀雙極型硅晶體管生產全流程。實習目的：1、鍛煉自己的動手能力，將學習的理論知識運用于實踐當中，反過來檢驗書本上理論的正確性。將自己的理論知識與實踐融合，進一步鞏固、深化已經學過的理論知識，提高綜合運用所學過的知識，并且培養自己發現問題、解決問題的能力。 2、更廣泛的直接接觸社會，了解社會需要，加深對社會的認識，增強對社會的適應性，將自己融合到社會中去，培養自己的實踐能力，縮短我們從一名大學生到一名工作人員之間的思想與業務距離，為以后進一步走向社會打下堅實的基礎。一、實習單位介紹 錦州遼晶電子科技有限公司是在市場經濟深化改革的進程中對原遼寧晶體管廠實施改制后的一家高科技企業，坐落于風景秀麗的沿海城市-錦州，公司占地3.4萬平方米，建筑面積1.76萬平方米。公司注冊資本3500萬元，資產總額六千余萬元。現有員工148人，其中博士1人，碩士研究生5人，具有高級及以上專業技術職稱11人。公司專業致力于中小規模集成電路、分立器件產品。現主導產品有二極管、三極管、達林頓晶體管、MOSFET以及三極管陣列、達林頓晶體管陣列、場效應晶體管陣列等；三端集成穩壓器、電流型PWM控制器、厚膜電路、混合集成電路等多門類的產品，并在此基礎上，逐步發展了軸角轉換器系列產品、LDO低壓差線性電源部分系列產品、高效DC-DC電源部分系列產品、CAN總線隔離收發器系列產品等，以期上述產品在最短時間內替代進口，達到國產化目標，竭誠為廣大用戶打造更多高質量、高可靠的產品，為國防事業和經濟的發展做出貢獻。二、實習內容和過程1.實習內容本次實習主要參觀公司的芯片加工中心、封裝、篩選、老化等車間，通過總工程師的講解，讓我們熟悉和了解車間內器件的工藝流程和車間內各個機器的功能及使用注意事項，使我們了解實際現實的操作，提高我們的知識與實際操作相結合的能力。 2.實習過程 本次實習由三名老師帶隊，我們班級二十名同學被分成三組，各自跟隨一名老師，我們組是七個人跟著老師進行實習參觀，負責給我們講解的是廠子里有著豐富經驗的總工程師，一頭花白的頭發象征他豐富的學識和操作經驗，我們最開始進入的是芯片加工中心，聽著老師的講解這個車間主要加工分離器件和大功率器件，為了保持車間的衛生，我們穿了便捷的鞋套進入，一進入車間就聽到了嘈雜的機器運作的聲音。首先，車間內展示的磨片機器，添加金剛砂懸浮液進行研磨，將硅片一面拋光打平，為之后在這面上做器件做準備；因為車間主演加工三極管，所以用結深測定儀測定PN結的結深，采用的是切角法；接下來是化學處理的機器，所采用的是1號液和2號液，之后是清洗硅片，主要去除硅片上的重金屬和雜志；在擴散車間中，擴散主要是擴散磷和硼，擴散分為預擴散和再擴散，車間中用固態陶瓷片擴散硼，主要用恒定源擴散和有限源擴散，老師說在溫度升高時，結深會升高，高溫下器件缺陷會增加；氧化車間中，機器沒運行，聽總工程師的講解，氧化主要分為干氧、濕氧和水汽氧化，每種方法都有各自的優點和缺點，但車間主要采用的是干氧和濕氧；工藝中比較核心的步驟是光刻，車間中的光刻機是比較老的，但基本的操作和功能都是相同的；在蒸發步驟中，采用的是電子束蒸發，之后參觀的是鈍化車間。參觀芯片加工中心后，上午就結束了，之后我們在廠子的食堂和員工們一起吃飯，中午的伙食很不錯，實惠又美味，物美價廉，而且食堂的秩序井然有序，不禁為公司的管理感到佩服。因為我們參觀學習只有一天的時間，所以下午的任務較重，主要參觀的有封裝、篩選、老化車間，這部分的工藝步驟在我們學校的實驗室中是沒有的，所以下午參觀學習中我精神格外集中；我們先參觀的是封裝車間，第一個進入的是參數測量室，室內還有不少工作人員忙碌的身影，老師講解的過程中我認真的記了筆記，同學還有用錄音筆錄音，此房間中主要是三極管的直流特性測試，門口邊的是三極管的輸出特性機器，通過顯示屏的圖像參數來確定三極管的放大倍數，第二個是測定雪崩電壓的，雪崩電壓是三極管的重要直流特性，晶體管的直流電壓超過閾值電壓時會發生擊穿，此時的閾值電壓就是擊穿電壓。工作人員特別認真的把每一個器件放在機器上進行測試，然后進行記錄，工作人員工作時認真負責的態度給我們留下了深刻的印象；車間里還有特征頻率測試儀、最大工作頻率測試儀等等測量晶體管直流參數的機器，此外還有晶體管讀示儀、多功能測試儀等，老師為我們詳細的介紹了機器的用處和操作步驟，過程中我們也提出了自己遇見的難題，老師也為我們進行詳細的解答，同學們之間也相互討論，場面十分熱鬧；經老師介紹說，公司產品都是頻率低、功率大的器件，功率1W300W的是大功率器件，小于1W的是小功率器件。接下來我們進入的是封裝車間的氣密性測試室，老師介紹時說，氣密性的好壞直接影響器件的質量問題，房間內用檢漏的方式檢查器件的氣密性，檢漏的方法是浮游檢漏，老師還介紹了檢漏的原理，使我們恍然大悟；然后老師帶我們進入打印室，打印室主要采用油墨打印和激光打印，其中油墨打印清晰可見，但使用周期不長，激光打印使用周期長，但不易見。接下來我們進入的是篩選車間，車間內的篩選機器大而且排列緊密，篩選通過氣密性、高溫、老化等方法進行環境測試篩選，找出其中存在固有缺陷的器件，例如位錯等缺陷；最后我們進入的是老化車間，由于使用環境等原因會使器件發生老化，老化會影響器件的性能和使用壽命。大功率器件老化測試的條件是75，工作12小時。實習參觀后我們師生全體和總工程師及公司的相關人員進行了合影，帶著老師的祝福，我們返回了校園。三、實習心得體會經過這一天的參觀實習，讓生活在大學象牙塔的我們學會了很多，明白了理論與實踐結合的重要性和大學實驗室與工廠生產線之間的區別。這一次的學習，讓我學會了其他的知識比如晶體管的封裝、老化和篩選等工藝，也認識了許多新的儀器，這些儀器原理更復雜，操作也更繁瑣，但測量的參數更加精準，因為這個公司生產的器件主要對軍工提供。此外，我們也學習了企業的管理文化和員工們之間的辛苦，為我們將來的就業和創業提供許多新的理念和指導。四、