二次配工程施工界面J023二次配工程包括且不限定于本項目中從一次配管線系統預留Take-off點至生產設備及業主可能增加的設備接口之間的連接管線及相關附件、設備運行維護所需的動力支持系統（三合一地板、插座、亞克力隔斷等）、設備基礎、PUMP-LINE等部分機臺主機和輔機之間的連接管線。J023二次配工程應根據機臺的UM表數據、設備圖紙、現場會勘成果、業主需求等資料對整個潔凈室機臺所需的各種動力支持和檢測系統的使用和連接配線進行深化設計和規劃。除明確由業主提供的器材外，J023二次配工程應按規定提供全部材料、設備及完成本工程安裝、制作、測試工作所需的人工、機具等，其范圍包括：機臺需求的各動力系統的深化設計（PID圖、ISO圖、BIM圖等）、制作、安裝及測試。設備運行維護所需的動力支持系統，包括且不限定于三合一地板、插座、亞克力隔斷等的深化設計、制作、安裝及測試。設備基礎、安裝支架的深化設計、制作、安裝及測試。Pumpingline等部分機臺主機和輔機之間的連接管線的深化設計、制作、安裝及測試。J023二次配工程應按合同規定供給全部材料、設備及完成本工程安裝、制作、測試、安全、管理工作所需之人工、機具（含各類焊機、自動套絲機、風管翻邊機、圓盤鋸、人字梯、腳手架、鋁制跳板等），完成本工程所有的采購、運輸、拆卸、吊運、儲存、安裝、試驗、竣工圖、測試至本工程內各系統設備完全正常運轉為止。提供完成配管和保證質量所必需的服務，使之與全世界的半導體工業的標準水平相等或更好。提供所有深化設計、主要材料和配件及細目分類的文件。J023二次配工程應自備工地內、外的一切臨時設施，如臨時水電、交通、倉庫、辦公室、工務所等，并負責維護臨時設施現場安全。于業主需用或工程竣工后，應無條件拆除。J023二次配工程應自備施工中需用的一切動力源（含水、電、氣等）、消耗品、服裝（含Class100凈化服）、勞防用品、清潔用品。J023二次配工程負責設備性能測試與調整中所需的調試用料，J023二次配工程負責系統試運行與調整中所需的試運行用料。本招標文件中所涉內容，除已明確定義由招標方提供外，其余均視為J023二次配工程的工作，由中標單位提供材料、深化設計、安裝、測試、驗收、資料、管理、質保。招標圖紙供承包商參考規劃，具體配管需根據機臺實際情況以及用量進行深化設計后再行實施。二次配與主系統的分界面為各主系統takeoff點，與設備機臺之間的分界面為設備接口。機臺內部管路連接、機臺與附屬機臺之間管路連接、附屬機臺與附屬機臺之間管路連接、配置spare管路、增加主系統takeoff點亦屬二次配工程范圍之內。例如：J023二次配工程不得因設備機臺端接頭特殊或機臺端接頭位于機臺內部而拒絕施工、影響hookup進度。如果機臺端接頭為特殊接頭，J023二次配工程必須使用合格的配套接頭完成銜接。部分二次配工作內容及界面舉例說明序號二次配工作界面1主系統takeoff點至工藝設備（含附屬設備、Scrubber）2工藝設備主機與附屬設備之間管道（如pumping-line、PCW等）、橋架（含開孔、恢復及封堵）3工藝設備自帶變壓器、UPS時，從變壓器、UPS到工藝機臺的動力電纜、橋架4當工藝設備Gasbox與主機之間因安裝原因需要單獨配管5安全防護設施供貨及安裝6Scrubber與Tool、特氣監控系統之間的通訊，由J023二次配工程負責提供材料、施工，并在SCASDA增加Scrubber監控畫面，接收報警信息等（Scrubber廠商及J006特氣包配合調試）工程系統范圍二次配工程包含如下系統：Bulkgas大宗氣體系統：CDA/GN2/PV/PN2/HV/BAExhaust排氣系統：EX-GEX（一般排氣）,EX-AEX（堿排）,EX-SEX（酸排）,EX-VOC（有機）,EX-AsEX（砷排）Water:UPW、CW、DIW(軟化水）PCW系統Pumpingline系統SG特氣系統（含高純氣）Chemical系統PDS廢水廢液收集系統電力系統及防靜電接地閥門、閥盤、儀表、調壓閥、流量計等附件高架地板、墻面、樓板、隔斷、天花板、PVC板、PVC地磚的開孔及封堵和保護。提供閥表區域上方視窗高架地板，檢修維護使用的三合一地板。根據業主需要對機臺維護區使用亞克力板進行隔斷，其開孔、封堵等需滿足潔凈室要求。根據業主需要對機臺檢修區使用的排氣系統接口預留點位。以上系統所需的輔料包含但不限于以上系統二次配的設計、材料采購、空間管理、組織安裝、測試、調試、標識、turnon及完工后的運行。工藝排氣系統工作范圍及界面說明工藝排氣系統二次配工作范圍包含以下部分:包含但不限于本項目全廠工藝機臺及附屬設備（含Scrubber、化學品柜等）的酸性、堿性、有機、砷烷、一般熱排氣等的二次配接管工程；包含但不限于業主后續增加機臺的二次配接管工程；包含一次配預留點位不夠時二次配的擴管工作；上述風管、閥門、儀表及附件、支吊架等的提供及安裝；包含上述管道施工中的開孔及開收邊、封堵工作；包含二次配系統調試測試驗收工作；二次配界面說明風管界面：從一次配takeoff點至工藝機臺、化學品柜排氣的接管；工藝主機臺與輔機臺之間的排氣接管。機臺附近設置手動閥，壓力表，預留測試孔。管道系統：風管廢液從二次配風管就近接至廢水管網。通信系統化學品系統自主系統預留RIO盤連接至機臺需求點之工作。包含管道，配件，標示，開關掛牌等安裝,J023二次配工程應根據機臺的UM表和工藝化學品控制邏輯對整個潔凈室chemical系統的使用和連接配線進行設計和規劃，J023二次配工程必須按照業主負責工程師的要求進行安裝。J023二次配工程安裝所有chemical二次配管路時，必須保證所有機臺的chemical質量以及日后運行階段的質量。負責對工藝機臺二次配的化學品控制相關管線、信號點接入、系統調試等工作，調試時不影響主系統的正常使用。根據業主方要求，按照系統規格書、配置圖及原理圖等，完成化學品系統之監控系統，包括對原主系統PLC、RIO、儀器儀表、電纜橋架、工作站、服務器等的測試、調試等工作。如需要在主系統橋架基礎上增加支路橋架及配管，支路橋架及配管的采購、安裝及調試均在J023二次配工程工程范圍內。以下訊號之間的線纜、橋架供貨及安裝、調試等均在J023二次配工程范圍：Chemicaldemand、ready訊號由設備機臺端(POU)提供。CDSReady訊號為化學供應系統端(CDS)提供。訊號輸入方式：設備端獨立要酸訊號(REQ)輸入、緊急開關訊號(EMO)輸入(由設備端提供干接點)。訊號輸出方式：以Ready/Trouble干接點訊號輸出、蜂鳴器、警報指示燈，警報聲響功能需能判別其警報等級功能，包含所有Unit及監控顯示計算機。氣體系統（GDS）J023二次配工程需對GDS系統進行深化設計，負責增加RIO盤，并接入主系統預留的PLC盤，并對整個二次配GDS系統進行調試，不影響主系統的正常使用。如主系統預留的PLC盤中CPU不足，則由二次配單位負責增加。工藝機臺及機臺環境的氣體泄漏偵測器采購、安裝及調試。工藝機臺生產區的三色聲光報警器采購、安裝及調試。VMB二次配管道加熱、雙套管真空信號反饋接入等二次配儀表所需的信號接入。VMB支路閥門與氣體偵測器的聯動。二次配RIO盤的采購、安裝及調試，并負責接入原主系統預留的PLC盤中，并對PLC盤進行編程調試工作。在主系統預留的SCADA處（FMCS、ERC、氣化控制室）更新圖控軟件，不影響主系統的正常使用。特殊氣體二次配偵測器監測系統偵測器根據UM表及氣體特性，負責機臺及機臺環境的偵測器采購、安裝及調試。并負責與應急廣播、門禁、事故排風等系統、特氣一次配系統VMB支路閥門與環境及工藝機臺的聯動線管、系統調試等工作。根據業主指示，在包括但不限于CUB、FAB環境、機臺端Exhaust、ScrubberExhaust、Pumpingline接頭處等相應位置安裝氣體檢知探測器，以檢知各類有毒、有害、易燃、易爆氣體的泄漏。偵測器類型包括：電化學式偵測器、紅外線氣體偵測器、紙帶式氣體偵測器。紙帶偵測器需提供使用1年紙帶，電化學偵測器需保證Sensor使用3年。GDS監控系統J023二次配工程負責擴展二次配所需的RIO盤，并接入二次配專用的PLC盤。PLC：J023二次配工程負責對二次配專用的PLC進行編程調試工作。自動化儀表特氣自動化儀表包含但不限于：電磁閥需為一次性操作可手動強制開啟/關閉類型；壓力傳感器，可在線監測VMB/Pstick供應壓力；管路加熱控制低蒸汽壓氣體、鋼瓶及盤面需安裝管路加熱和保溫裝置，鋼瓶/氣柜盤面/管路/分配箱獨立感溫器及控制(帶數位顯示功能，4~20mA輸出)。長距離管路加熱保溫需采用分段加熱方式，并包覆保溫棉和錫箔紙，保溫材料及加熱電源線要有UL認證，要求每隔50M設置一組感溫器及控制(帶數位顯示功能)(不足50M依50M設置)。具體加熱的氣體種類見設備功能表具體加熱的氣體種類見設備功能表，溫度感應器安裝位置處做明顯標識。管道系統雙套管的外套和內套之間抽真空并安裝真空儀表，壓力信號傳回二次配系統作監控。二次配網絡布線系統自主系統預留的點位（網絡面板、機柜）連接至機臺需求點之工作。包含管道、配件、標示等安裝及調試。J023二次配工程應根據機臺的UM表和工藝網絡需求對整個潔凈室網絡布線系統的使用和連接配線進行設計和規劃，二次配中標廠商必須按照業主負責工程師的要求進行安裝。J023二次配工程所有網絡二次配管線時，必須保證所有機臺的網絡數據運行質量以及日后運行階段的質量。負責對工藝機臺二次配的網絡布線相關管線、信號點接入、系統調試等工作，調試時不影響主系統的正常使用。配電系統工程范圍：本工程范圍內，所有用電設備的配電，包括但不限于以下工作內容：機臺配電和機臺外殼接地、防靜電接地等；機臺間電纜橋架、管線配置；設備PM用插座、插座箱的配置安裝工程；與機臺配套使用的桌面型設備、電腦、三合一地板等配電；根據需求配置現場分電盤；工程界面：二次配與主系統的分界面在主系統設置的I-line盤內，其中I-line盤及總進線開關由主系統提供，二次配在I-line盤內安裝饋線開關，從饋線開關（含）至末端負載之間的所有配電工作均屬于J023二次配工程范圍。當主系統預留的I-line盤不足，無法滿足現場配電需求時，則由J023二次配工程負責增加I-line盤及其配電。從設備端到二次配接入點優先采用二次配統一線纜，若原廠有自帶線纜，但無法滿足施工要求，優先選擇二次配方提供的線纜，設備內部連線，需要在無塵室內穿管走線，由J023二次配工程提供標準的施工方案及施工，設備廠家提供內連線及進行線路連接；給排水系統超純水系統（UPW）：自主系統UPWLoop管道takeoff點以及部分主管預留隔膜閥連接至機臺需求點的工作。包括管線、配件、標示、掛牌、支架等的安裝。機臺本身無回路的，需要在接近供水點之前安裝回路，設置閥盤。UPWJ023二次配工程根據機臺的UM表從UPW主系統的take-off點到潔凈室機臺POU對整個潔凈室機臺UPW系統的使用和連接配管進行深化設計規劃及安裝。J023二次配工程安裝完所有二次配UPW管路，必須保證所有機臺與管路的銜接質量以及日后運行階段的質量。工程范圍如下：UPW二次配管的深化設計、制作、安裝及測試。UPW二次配管的保壓測試及清洗。本工程所有之安裝、試驗、測試至本工程內各系統設備完全正常運轉為止。圖UPW工作界面示意圖排水系統（PDS）:PDS二次配管工程的工作范圍是從潔凈室的排水主系統Takeoff接點到潔凈室機臺接點之間，自機臺排水點連接至主系統PDS管道takeoff點堵頭或閥門的工作。包括管線、配件、標示、掛牌、支架等的安裝。J023二次配工程應根據機臺的UM表和接頭銜接圖對整個潔凈室排水系統的使用和連接進行深化設計和規劃，J023二次配工程必須按照業主負責工程師的要求以及滿足深化設計要求和行業標準要求進行安裝。J023二次配工程安裝所有排水二次配管路時，必須保證所有機臺的排水質量以及日后運行階段的質量。工程范圍包括機臺及潔凈室內的各種排水、排液系統二次配管的深化設計、制作、安裝及測試。圖2PDS系統加壓給水系統系統（CW）:機臺設備及輔助設施所用的加壓給水系統管道及(CW)二次配管（從主系統Take-off點到機臺）的深化設計、制作，運輸，安裝，測試等；圖3CW系統氣動工程二次配工藝冷卻水、制程真空（PCW/PV）：二次配機臺設備制程冷卻水(PCW)二次配管（從主系統Take-off點到機臺）的設計、制作，運輸，安裝，測試等（如參考圖6）。二次配機臺設備制程真空(PV)二次配管（從主系統Take-off點到機臺）的設計、制作，運輸，安裝，測試等（如參考圖7）。圖6PCW系統圖7PV系統J023二次配工程應根據機臺的UM表和接頭銜接圖對整個PCW/PV系統的使用和連接配線進行設計和規劃，J023二次配工程必須按照業主負責工程師的要求進行安裝（根據機臺UM表及現場會堪需加裝放氣閥，壓力表）。中標廠商安裝完所有二次配PCW/PV管路，必須保證所有機臺與管路的銜接質量以及日后運行階段的質量。化學品工程（Chemical）：自主系統預留takeoff點閥門（不含）連接至機臺需求點之工作（如參考圖包含管道，配件，標示，開關掛牌等安裝,ChemicalJ023二次配工程應根據機臺的UM表和接頭銜接圖對整個潔凈室chemical系統的使用和連接配線進行深化設計和規劃，J023二次配工程必須按照業主負責工程師的要求以及滿足深化設計要求和行業標準要求進行安裝。J023二次配工程安裝所有chemical二次配管路時，必須保證所有機臺的chemical質量以及日后運行階段的質量。J023二次配工程的工作范圍是從的主系統take-off點接到潔凈室機臺接點之間。工程范圍如下：機臺設備酸性&腐蝕化學品系統二次配管（從主系統Take-off點）的深化設計、制作和安裝測試等；機臺設備溶解化學品系統二次配管（從主系統Take-off點）的深化設計、制作和安裝測試等；圖10Chemical系統二次配氣體系統（Gas）：二次配氣體管路工程的工作范圍是從潔凈室的主系統take-off點接到潔凈室機臺接點之間（如參考圖12）。J023二次配工程應根據機臺的UM表（機臺對廠務氣體二次配的具體要求，包括所需氣體種類，數量，流量，壓力，接頭形式和尺寸）和接頭銜接圖對整個潔凈室氣體管路系統的使用和連接配線進行深化設計和規劃，J023二次配工程必須按照業主負責工程師的要求以及滿足深化設計要求和行業