ICS31030

CCSL.90

團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)

T/CEMIA032—2022

顯示面板用氧化層緩沖刻蝕液

Bufferedoxideetchantfordisplaypanels

2022-04-20發(fā)布2022-07-20實(shí)施

中國(guó)電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)發(fā)布

T/CEMIA032—2022

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任

。。

本文件由中國(guó)電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)提出并歸口

。

本文件主要起草單位杭州格林達(dá)電子材料股份有限公司

:。

本文件參與起草單位成都京東方光電科技有限公司邁奇化學(xué)股份有限公司英格爾檢測(cè)技術(shù)服

:、、

務(wù)上海有限公司

()。

本文件主要起草人蔣哲男邢攸美高立江胡濤陳東良張之鈞胡陽(yáng)劉偉鑫閆廣學(xué)周淑飛

:、、、、、、、、、、

張振洋梁龍飛彭澳徐森彪李盈盈洪明衛(wèi)季文濤王小棟劉永南施珂李林佳周利超陳海剛

、、、、、、、、、、、、、

章帥迪徐一航

、。

Ⅰ

T/CEMIA032—2022

顯示面板用氧化層緩沖刻蝕液

1范圍

本文件規(guī)定了顯示面板用氧化層緩沖刻蝕液的縮略語(yǔ)分類要求檢驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志

、、、、、

包裝運(yùn)輸貯存和安全

、、。

本文件適用于由氫氟酸水溶液和氟化銨水溶液組成的顯示面板用氧化層緩沖刻蝕液適用于顯示

,

面板制造中硅氧化物和氮化硅層的蝕刻同樣適用于硅氧化物和氮化硅層的清洗過程

,。

氫氟酸和氟化銨的基本信息見附錄中的

AA.1。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

GB190

化學(xué)試劑標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的制備

GB/T601

化學(xué)試劑雜質(zhì)測(cè)定用標(biāo)準(zhǔn)溶液的制備

GB/T602

化學(xué)試劑試驗(yàn)方法中所用制劑及制品的制備

GB/T603

化工產(chǎn)品采樣總則

GB/T6678—2003

液體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T6680

數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定

GB/T8170

純氮高純氮和超純氮

GB/T8979、

電子級(jí)水

GB/T11446.1

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB15258

常用化學(xué)危險(xiǎn)品貯存通則

GB15603

化學(xué)試劑離子色譜法測(cè)定通則

GB/T34672

潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范

GB50073—2013

集成電路用氧化層緩沖腐蝕液

SJ/T11507—2015

電子化學(xué)品電感耦合等離子體質(zhì)譜法通則

SJ/T11637

電子化學(xué)品中顆粒的測(cè)試方法

SJ/T11638

3術(shù)語(yǔ)和定義

本文件沒有需要界定的術(shù)語(yǔ)和定義

。

4縮略語(yǔ)

下列縮略語(yǔ)適用于本文