標準解讀

《T/CEMIA 006-2018 膜厚監(jiān)控用石英晶振片》是一項由中國電子材料行業(yè)協會發(fā)布的團體標準,旨在規(guī)范膜厚監(jiān)控過程中使用的石英晶體振蕩片(簡稱石英晶振片)的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及標志、包裝、運輸和貯存等方面的內容。該標準適用于在半導體制造等領域的薄膜沉積工藝中用于實時監(jiān)測膜層厚度變化的石英晶振片。

根據標準內容,石英晶振片應滿足特定尺寸精度與頻率穩(wěn)定性要求,以確保其能夠準確地反映膜層生長過程中的質量變化情況。此外,還規(guī)定了不同類型石英晶振片的工作溫度范圍、耐腐蝕性等性能指標,并對如何通過實驗驗證這些性能給出了詳細的方法指導。

對于石英晶振片的出廠檢驗項目包括外觀檢查、尺寸測量及電氣特性測試等;而型式檢驗則需按照更加嚴格的標準來進行,涵蓋更全面的產品性能評估。標準還特別強調了產品標識的重要性,要求每個石英晶振片都必須清晰標注制造商名稱或商標、型號規(guī)格、生產日期等信息。


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  • 現行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2018-12-14 頒布
  • 2019-03-14 實施
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文檔簡介

ICS31140

L21.

團體標準

T/CEMIA006—2018

膜厚監(jiān)控用石英晶振片

Quartzcrystalresonatorforfilmthicknesscontrol

2018-12-14發(fā)布2019-03-14實施

中國電子材料行業(yè)協會發(fā)布

中國電子材料行業(yè)協會

團體標準

膜厚監(jiān)控用石英晶振片

T/CEMIA006—2018

*

中國標準出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號

16(100045)

網址

:

服務熱線

:400-168-0010

年月第一版

20194

*

書號

:155066·2-34127

版權專有侵權必究

T/CEMIA006—2018

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構不承擔識別這些專利的責任

。。

本標準由中國電子材料行業(yè)協會提出并歸口

本標準主要起草單位唐山萬士和電子有限公司武漢海創(chuàng)電子股份有限公司唐山國芯晶源電子

:、、

有限公司北京晨晶電子有限公司江蘇省東海硅產業(yè)科技創(chuàng)新中心

、、。

本標準主要起草人王麗娟毛晶張立強宮桂英李健德李劍李潔陳中康張翔

:、、、、、、、、。

T/CEMIA006—2018

膜厚監(jiān)控用石英晶振片

1范圍

本標準規(guī)定了膜厚監(jiān)控用石英晶振片的產品分類技術要求試驗和測量方法檢驗規(guī)則標志包

、、、、、

裝運輸貯存的要求

、、。

本標準適用于半導體激光紅外光學鏡片器材等行業(yè)鍍膜用膜厚監(jiān)控石英晶振片

、LED、OLED、、。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

包裝儲運圖示標志

GB/T191—2008

電子電工產品環(huán)境試驗概述和指南

GB/T2421.1—2008

計數抽樣檢驗程序第部分按接收質量限檢索的逐批檢驗抽樣

GB/T2828.1—20121:(AQL)

計劃

人造石英晶體規(guī)范與使用指南

GB/T3352—2012

有質量評定的石英晶體元件第部分總規(guī)范

GB/T12273.1—20171:

利用有并電容補償的網絡相位法測量頻率高達的石英晶體元

SJ/Z9154.3—1987C0π200MHz

件兩端網絡參數的基本測量方法

指令關于在電子設備中限制使用有害物質的歐盟議會和歐盟理事會第

RoHS/2011/65/EU2011/

號指令

65/EU

3術語和符號

界定的術語和定義適用于本文件

GB/T12273.1—2017、GB/T3352—2012。

4分類和標記

41型號

.

按照石英晶振片外徑電極膜材料電極形狀差異分為不同型號的產品

、、。

42標記

.

產品標記方法應符合以下規(guī)定

:

WXXYYZZ

電極圖形代碼滿電極圖形雙錨形電極

,01———,02———

電極膜材代碼鉻金膜銀鋁膜銀膜

,Au———,A1———,Ag———

直徑代碼直徑為直徑為

,14———13.97mm,12———12.45mm

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