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文檔簡介
《傳感器應(yīng)用技術(shù)》課程Magnetoresistanceandapplication磁敏電阻及應(yīng)用Sensorsapplicationtechnology1.
基礎(chǔ)知識(shí)2.基本特性3.磁敏電阻器件4.應(yīng)用分析課程內(nèi)容CourseContents1.
基礎(chǔ)知識(shí)2.
基本特性3.磁敏電阻器件4.應(yīng)用分析課程內(nèi)容CourseContents1.
基礎(chǔ)知識(shí)磁阻效應(yīng)(MR)的定義與特點(diǎn)磁阻效應(yīng)的定義當(dāng)一載流半導(dǎo)體置于磁場(chǎng)中,其電阻值會(huì)隨磁場(chǎng)而變化的現(xiàn)象稱為磁阻效應(yīng)。在磁場(chǎng)作用下,半導(dǎo)體片內(nèi)電流分布是不均勻的,改變磁場(chǎng)的強(qiáng)弱就影響電流密度的分布,故表現(xiàn)為式中:
ρ0——零磁場(chǎng)時(shí)的電阻率;
Δρ——磁感應(yīng)強(qiáng)度為B時(shí)電阻率的變化量;
K——比例因子;
μ——電子遷移率;
B——磁感應(yīng)強(qiáng)度;f(L/b)——形狀效應(yīng)系數(shù)。L,b——分別為磁敏電阻的長(沿電流方向)和寬;1.
基礎(chǔ)知識(shí)磁阻效應(yīng)(MR)的定義與特點(diǎn)磁阻效應(yīng)的特點(diǎn)磁阻效應(yīng)與材料性質(zhì)及幾何形狀有關(guān),一般遷移率大的材料,磁阻效應(yīng)愈顯著;元件的長、寬比愈小,磁阻效應(yīng)愈大。與霍爾效應(yīng)的區(qū)別:霍爾電勢(shì)是指垂直于電流方向的橫向電壓,而磁阻效應(yīng)則是沿電流方向的電阻變化。1.
基礎(chǔ)知識(shí)2.
基本特性3.磁敏電阻器件4.
應(yīng)用分析課程內(nèi)容CourseContents2.
基本特性磁敏電阻的結(jié)構(gòu)和特性磁敏電阻常選用銻化銦(InSb)、砷化銦(InAs)和銻化鈮(NiSb)等半導(dǎo)體材料,在絕緣基片上蒸鍍薄的半導(dǎo)體材料,也可在半導(dǎo)體薄片上光刻或腐蝕成型(柵狀結(jié)構(gòu))。2.
基本特性磁敏電阻的結(jié)構(gòu)和特性磁敏電阻器件一般在襯底上做兩個(gè)相互串聯(lián)的磁敏電阻,或四個(gè)磁敏電阻接成電橋形式,以便于不同場(chǎng)合,其線路形式如下圖所示:2.
基本特性磁敏電阻的結(jié)構(gòu)和特性
磁電特性:電阻的增量與磁場(chǎng)的平方成正比;與磁場(chǎng)的正負(fù)無關(guān);
溫度特性:溫度系數(shù)影響大;
頻率特性:工作頻率范圍大;磁感應(yīng)的范圍比霍爾元件大。1.
基礎(chǔ)知識(shí)2.
基本特性3.磁敏電阻器件4.
應(yīng)用分析課程內(nèi)容CourseContents113.磁敏電阻器件磁敏電阻器件MR214A/223A
MR214A/223A磁敏電阻的阻值為100Ω到幾kΩ,工作電壓一般在12V以下,頻率特性好(可達(dá)MHz),動(dòng)態(tài)范圍寬,噪聲低(信噪比高)。123.磁敏電阻器件磁敏電阻器件M413A/414A
M413A/414A是由四個(gè)磁阻元件組成的器件,由兩相輸出,可測(cè)出旋轉(zhuǎn)方向、角度等參數(shù),其元件配置、外形及等效電路如下圖所示。133.磁敏電阻器件磁敏電阻器件M413A/414A
M413A/414A接線與輸出波形如下圖所示。1.
基礎(chǔ)知識(shí)2.
基本特性3.
磁敏電阻器件4.應(yīng)用分析課程內(nèi)容CourseContents4.應(yīng)用分析磁敏電阻應(yīng)用分析電橋電路三極管電路位移檢測(cè)硬盤磁頭4.應(yīng)用分析磁敏電阻應(yīng)用分析
非接觸式磁阻角度傳感器
非接觸式角度傳感器的外形及工作原理如左圖所示,它是由兩個(gè)半環(huán)形的磁阻元件組成,半圓形磁鐵與磁阻之間的間隙為0.2mm左右,當(dāng)磁鐵轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),磁鐵則以差動(dòng)方式將磁場(chǎng)加于兩個(gè)磁阻元件上,可獲得±500(機(jī)械角度)的線性范圍。其輸出電壓與轉(zhuǎn)角間的特性如右圖所示4.應(yīng)用分析磁敏電阻應(yīng)用分析
磁阻式旋轉(zhuǎn)傳感器磁阻旋轉(zhuǎn)傳感器可以檢測(cè)磁性齒輪、齒輪的轉(zhuǎn)數(shù)或轉(zhuǎn)速,若采用四磁阻元件傳感器,還能檢測(cè)旋轉(zhuǎn)的方向。采用雙元件磁阻旋轉(zhuǎn)傳感器的工作原理如左圖所示,當(dāng)齒輪的齒頂對(duì)準(zhǔn)MR1,而齒根對(duì)準(zhǔn)MR2時(shí),MR1的電阻增加,而MR2的電阻不變,則Uout<Uin/2;另外,當(dāng)齒輪的齒頂對(duì)準(zhǔn)MR2,而齒根對(duì)準(zhǔn)MR1時(shí),則Uout>Uin/2;當(dāng)齒頂(或齒根)在MTR1和MR2之間時(shí),Uout≈Uin/2,其輸出電壓波形見右圖4.應(yīng)用分析磁敏電阻應(yīng)用分析
磁阻式圖形識(shí)別傳感器圖形識(shí)別傳感器能檢測(cè)紙片、紙幣等上面的磁性圖形或標(biāo)記,輸出相對(duì)應(yīng)于圖形的信號(hào)波形。由于磁性圖形印刷在紙片上,所以檢
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