《傳感器應用技術》課程StructureandPrincipleofCapacitivePressureSensor電容式壓力傳感器結構與原理Sensorsapplicationtechnology1.

基礎知識2.基本特性3.工作原理4.應用分析課程內容CourseContents1.

基礎知識2.

基本特性3.工作原理4.應用分析課程內容CourseContents1.

基礎知識電容式傳感器電容式傳感器是以各種類型的電容器作為傳感元件，將被測物理量的變化轉換為電容量的變化；它的敏感部分就是具有可變參數的電容器。1.

基礎知識電容式傳感器的種類d、s、ε三個參數中任一個的變化都將引起電容量變化，并可用于測量。因此電容式傳感器可分為極距變化型、面積變化型、介質變化型三類。極距變化型面積變化型介質變化型1.基礎知識2.

基本特性3.工作原理4.

應用分析課程內容CourseContents2.

基本特性電容式傳感器特點溫度穩定性好，一般與電極材料無關，僅取決于電極的幾何尺寸，且空氣

等介質損耗很小。結構簡單，適應性強，易于制造。靜電引力小：動態響應好、響應時間短，固有頻率很高，能在幾MHz的頻率下工作。可以實現非接觸測量、具有平均效應。

輸出阻抗高，負載能力差。寄生電容影響大，降低了傳感器的靈敏度。輸出特性非線性1.基礎知識2.基本特性3.工作原理4.

應用分析課程內容CourseContents電容式壓力傳感器的工作原理電容式壓力傳感器，是一種可以利用電容敏感的原件把被測量的壓力轉換成為跟它有一定的關系的電信號輸出的精密測量儀器。它通常是使用鍍金屬薄膜或者是圓形金屬薄膜來做電容器的其中一個電極。在薄膜受到壓力時，會發生變形，此時薄膜跟固定的電極間所產生的電容量就會發生改變。測量電路就可以輸出跟電壓形成一定的關系的電信號。電容式壓力傳感器是極距變化型的電容式傳感器，有差動電容式和單電容式之分。3.

工作原理單電容式壓力傳感器的工作原理它是由固定的電極和圓形的薄膜組成的。當受到壓力作用的時候，薄膜就會發生變形，這樣就會改變電容器的容量。它的靈敏度大概是跟薄膜與固定的電極之間的距離和薄膜的張力成反比關系的；而跟壓力和薄膜的面積成正比關系的。3.

工作原理差動電容式壓力傳感器的工作原理差動電容式壓力傳感器，頻率通常在100KHz左右，采用雙電容平板的結構，其受壓膜片電極是處于兩個固定的電極之間的，可以形成兩個電容器。當受到壓力作用的時候，其中一個電容器的容量就會變大，而另一個電容器的容量就會相應地變小，其測量結果是由差動式的電路輸出。相對于其他壓力傳感器其靈敏度明顯提高。3.

工作原理1.基礎知識2.基本特性3.工作原理4.應用分析課程內容CourseContents電容壓力傳感器之電子血壓計——SENSOR1014.應用分析系統無需A/D轉換器即可達到16BIT的分辨率，壓力測量范圍：0~40kPa/0~300mmHg；廣泛用于電子血壓計和壓力計。微壓力變送器4.應用分析微壓力傳感器是工業實踐中最為常用的一種壓力傳感器，其廣泛應用于各種工業自控環境，涉及石油管道、水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產自控、航空航天、軍工、石化、油井、