湖北省地方計量技術(shù)規(guī)范JJF(鄂)110—2024晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)校準(zhǔn)規(guī)范（片上標(biāo)準(zhǔn)電阻法）CalibrationSpecificationforWaferMaterialResistanceCharacteristicTestingEquipment(On-WaferReferenceResistorMethod)2024-05-14發(fā)布2024-09-01實施湖北省市場監(jiān)督管理局發(fā)布JJF（鄂）110—2024晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)校準(zhǔn)規(guī)范CalibrationSpecificationforWaferMaterialResistanceCharacteristicTestingEquipment (On-WaferReferenceResistorMethod）歸口單位：湖北省市場監(jiān)督管理局主要起草單位：中國船舶集團有限公司第七〇九研究所JJF（鄂）110—2024本規(guī)范主要起草人：周厚平（中國船舶集團有限公司第七〇九研究所）胡勇（中國船舶集團有限公司第七〇九研究所）李軒冕（中國船舶集團有限公司第七〇九研究所）張明虎（中國船舶集團有限公司第七〇九研究所）JJF（鄂）110—2024 （1） （1） （1） （1） （1） （1） （2） （2） （2） （2） （3） （3） （3） （3） （4） （5） （7） （8）JJF（鄂）110—2024JJF（鄂）110—2024晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)校準(zhǔn)規(guī)范（片上標(biāo)準(zhǔn)電阻法）本規(guī)范適用于新購進、使用中、修理后的晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)的校準(zhǔn)。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本規(guī)范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用本規(guī)范。3.1晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)AWaferMaterialResistanceCharacteristicTestingEquipment通過測試晶圓材料的電阻并計算電阻率進而測3.2片上標(biāo)準(zhǔn)電阻On-WaferReferenceResistor加工過程中的工藝參數(shù)，比如刻蝕厚度和寬度集成電路加工過程中的最重要的工藝控制手段準(zhǔn)電阻值復(fù)現(xiàn)在晶圓片上，晶圓材料電阻特性2JJF（鄂）110—2024晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)校準(zhǔn)規(guī)范探針晶圓片標(biāo)準(zhǔn)電阻塊圖1標(biāo)準(zhǔn)電阻校準(zhǔn)晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)原理圖RX——測試系統(tǒng)的測量值，Ω;RS——片上標(biāo)準(zhǔn)電阻對應(yīng)量的標(biāo)準(zhǔn)值，Ω。環(huán)境條件及其要求如：a)環(huán)境溫度：20℃28℃;b)相對濕度：4580%;3JJF（鄂）110—2024表1片上標(biāo)準(zhǔn)電阻計量特性參數(shù)名標(biāo)稱值準(zhǔn)確度等級R7校準(zhǔn)項目和校準(zhǔn)方法表2校準(zhǔn)項目一覽表序號校準(zhǔn)項目校準(zhǔn)方法條款1外觀及附件檢查7.2.12工作正常性7.2.237.2.3對晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)的外觀進行檢查。被校準(zhǔn)的測試系統(tǒng)，應(yīng)配有使用說明書和相應(yīng)的編程手冊；應(yīng)具有產(chǎn)品合格證書7.2.2工作正常性按照說明書要求進行預(yù)熱，連接晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)自帶的自校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)件，執(zhí)片上標(biāo)準(zhǔn)電阻片上標(biāo)準(zhǔn)電阻<>晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)圖2晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)電阻校準(zhǔn)連接示意圖晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)將含有標(biāo)準(zhǔn)電阻塊的片上標(biāo)準(zhǔn)電阻視為普通的待測部位，經(jīng)探針連接到待測試標(biāo)準(zhǔn)電阻塊上，4JJF（鄂）110—2024a)標(biāo)題，如“校準(zhǔn)證書”；b)實驗室名稱和地址；c)進行校準(zhǔn)的地點（如果與實驗室的地址不同）。d)證書或報告的唯一性標(biāo)識（如編號），每頁及總頁數(shù)的標(biāo)識；e)客戶的名稱和地址；f)被校對象的描述和明確標(biāo)識；g)進行校準(zhǔn)的日期；h)對校準(zhǔn)所依據(jù)的技術(shù)規(guī)范的標(biāo)識，包括名稱及代號；i)本次校準(zhǔn)所用測量標(biāo)準(zhǔn)的溯源性及有效性說明；j)校準(zhǔn)環(huán)境的描述；k)校準(zhǔn)結(jié)果及其測量不確定度的說明；l)如果與校準(zhǔn)結(jié)果的有效性和應(yīng)用有關(guān)時，應(yīng)對校準(zhǔn)過程中被校對象的設(shè)置和操作進行說明；m)對校準(zhǔn)規(guī)范的偏離的說明；n)校準(zhǔn)證書和校準(zhǔn)報告簽發(fā)人的簽名或等效標(biāo)識；o)校準(zhǔn)結(jié)果僅對被校對象有效的聲明；p)未經(jīng)實驗室書面批準(zhǔn)，不得部分復(fù)制證書或報告的聲明。5JJF（鄂）110—2024測量不確定度評定示例準(zhǔn)項目的測量不確定度評定的程序。由于校準(zhǔn)方法和所用設(shè)備相同或近似，其他項目校準(zhǔn)A.2.1測量模型A.2.2不確定度來源表3不確定度分量表序號不確定度來源不確定度分量1片上標(biāo)準(zhǔn)電阻的不確定度uB12探針接觸引入的不準(zhǔn)確3晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)測量電阻阻值的重復(fù)性uAA.2.3測量不確定度評定A.2.3.1標(biāo)準(zhǔn)電阻的不準(zhǔn)確引入的不確定度uB1A.2.3.2探針接觸引入的不確定度uB26JJF（鄂）110—2024類評定，視為均勻分布，k2=J5，u類評定，視為均勻分布，k2=J5，uB2=A.2.3.3晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)測量電阻阻值的重復(fù)性引入的不確定度uA表A.1電阻測量重復(fù)性數(shù)據(jù)記錄次數(shù)12345測量值(Ω)9.959.969.959.959.96次數(shù)6789測量值(Ω)9.959.969.969.959.95校準(zhǔn)結(jié)果由10次重復(fù)測量的平均值得到，則由測量電阻的重復(fù)性引入的不確定度分量A.2.4合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度A.2.5擴展不確定度7JJF（鄂）110—2024校準(zhǔn)記錄格式表B.1電阻測量校準(zhǔn)數(shù)據(jù)記錄表送校單位：送校單位地址：環(huán)境溫度：℃相對濕度：