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會計實操文庫4/4生產管理-硅襯底生產工藝流程一、?原料預處理?硅片清洗?使用酸性溶液（如HF/H?O?混合液）去除硅片表面金屬雜質和有機污染物，確保表面潔凈度達SEMI標準?；通過RCA標準清洗工藝（SC1+SC2）去除氧化層，形成氫終止表面以增強后續工藝附著力?。表面活化?在超凈環境下進行等離子體處理，提升硅片表面活性，減少外延生長缺陷?。二、?光刻與微納加工?光刻膠涂覆?采用旋涂法均勻覆蓋正/負性光刻膠，厚度控制精度±5nm，通過前烘去除溶劑?；UV曝光（波長193nm）通過掩膜版轉移電路圖案，顯影后形成微米級結構窗口?。刻蝕工藝?干法刻蝕（如ICP-RIE）實現各向異性刻蝕，側壁垂直度誤差≤1°?；濕法腐蝕用于特定晶向的硅結構成形，腐蝕速率通過溫度/濃度精準調控?。三、?外延生長?半導體層沉積?使用MOCVD設備在硅襯底上外延生長GaN/AlN緩沖層，緩解晶格失配應力?；通過精確控制V/III比（如2000:1）和溫度梯度（1000-1100℃），提升外延層晶體質量?。摻雜與結構優化?n型摻雜采用硅烷（SiH?）氣體，p型摻雜使用二茂鎂（Cp?Mg），摻雜濃度控制在1×101?~1×102?cm?3?；生長InGaN/GaN多量子阱結構，阱/壘厚度比精確至1:3，增強發光效率?。四、?后道加工?金屬化與電極制備?磁控濺射Ti/Al/Ni/Au多層金屬棧，退火形成歐姆接觸（比接觸電阻≤1×10??Ω·cm2）?；光刻剝離工藝定義電極圖形，線寬精度達±0.1μm?。襯底剝離與轉移?采用熱壓焊技術將外延層轉移至導電基板，使用HF?混合液腐蝕去除原始硅襯底?；粗化n型GaN表面（粗糙度Ra≤50nm）提升光提取效率?。五、?質量檢測?物性表征?原子力顯微鏡（AFM）檢測表面粗糙度（RMS≤0.2nm），X射線衍射（XRD）分析晶體取向偏差?；電致發光（EL）測試評估器件光電性能，波長均勻性誤差≤2nm?。可靠性驗證?高溫高濕試驗（85℃/85%RH，1000小時）驗證抗老化性能，光衰≤5%?。注?：生產全過程需在百級潔凈室（

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