ICS29.045

CCSL90

團體標準

T/XXXXXXX—2024

半導體單晶硅生產(chǎn)用高純石英砂

High-purityquartzsandforemiconductormonosilicongrowth

（征求意見稿）

在提交反饋意見時，請將您知道的相關專利連同支持性文件一并附上。

2024-XX-XX發(fā)布2024-XX-XX實施

發(fā)布

T/XXXXXXX—2024

半導體單晶硅生產(chǎn)用高純石英砂

1范圍

本文件規(guī)定了半導體單晶硅生產(chǎn)用高純石英砂的術語和定義、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標

志、包裝、運輸和儲存技術內容。

本文件適用于半導體單晶硅生產(chǎn)用高純石英砂。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，

僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本

文件。

GB/T191包裝儲運圖示標志

GB/T6543運輸包裝用單瓦楞紙箱和雙瓦楞紙箱

GB/T8170數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定

GB/T14187包裝容器紙桶

GB/T24984日用塑料袋

JY/T0567電感耦合等離子體發(fā)射光譜分析方法通則

SJ/T10380工業(yè)用酸洗石英砂

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件。

高純石英砂high-purityquartzsand

指具有極高純度的石英砂，通常要求石英含量接近100%，并且少含雜質（如金屬氧化物、碳等）以

確保最終單晶硅的純凈度和電子級要求。

粒度granularity

指砂子中各顆粒粒徑大小的分布范圍及其均勻性。通常采用網(wǎng)孔尺寸、平均直徑或者累積頻率等方

式進行描述。常見的石英砂粒度等級包括粗砂、細砂、細沙、細粉沙等。

雜質元素trampelements

指在石英砂原料中除主要成分二氧化硅（SiO2）以外的其他元素，包括鋁、鈣、鐵、鈉、鉀、鋰、

鎂、鉻、鎳、硼、錳、銅等元素，這些雜質元素的存在可能會對單晶硅的制備過程以及最終產(chǎn)品的性能

產(chǎn)生不利影響。

GDMS法GlowDischargeMassSpectrometry

輝光放電質譜法，簡稱GDMS，是利用輝光放電源作為離子源與質譜儀器聯(lián)接進行質譜測定的一種分

析方法。GDMS被認為是目前對固體導電材料直接進行痕量及超痕量元素分析的最有效的手段。由于其可

以直接固體進樣，已成為無機固體材料，尤其是高純金屬、合金等材料雜質成分分析方法。

4技術要求

外觀

高純石英砂應為透明顆粒、白色顆粒或者淺色顆粒，無結團。

粒度

1

T/XXXXXXX—2024

高純石英砂粒度要求應符合表1的規(guī)定。

表1粒度要求

序號粒徑/μm粒徑范圍的累積質量分數(shù)

170~350≥90%

2＜100或＞300＜1%

雜質元素含量

高純石英砂雜質元素總含量應≤20μg/g，其中鉀、鋰、鈉含量總和＜2.5μg/g，各雜質元素含量應

符合表2的規(guī)定。

表2各雜質元素含量

序號雜質元素允許含量/（μg/g）

1鋁（Al）＜15

2鈣（Ca）＜1.5

3鐵（Fe）＜1

4鈉（Na）＜1

5鉀（K）＜1

6鋰（Li）＜1

7鎂（Mg）＜0.5

8鉻（Cr）＜0.1

9鎳（Ni）＜0.1

10硼（B）＜0.1

11錳（Mn）＜0.2

12銅（Cu）＜0.1

13鈦（Ti）＜1.5

二氧化硅含量

高純石英砂中二氧化硅含量應大于或等于99.998%。

5試驗方法

外觀

在光照度不低于300lx、距離試樣0.5m處，采用目視方式進行檢查，結果應符合4.1的規(guī)定。

粒度

粒度應按SJ/T10380的規(guī)定進行測定，結果應符合4.2的規(guī)定。

雜質元素含量

雜質元素含量應按JY/T0567的規(guī)定進行測定，結果應符合4.3的規(guī)定。

二氧化硅含量

二氧化硅含量應通過輝光放電質譜法（GDMS）設定程序進行測定，結果應符合4.4的規(guī)定。

2

T/XXXXXXX—2024

6檢驗規(guī)則

檢驗分類

高純石英砂檢驗可分為出廠檢驗和型式檢驗。

組批

應以相同原料、相同工藝連續(xù)生產(chǎn)，且一次提交的產(chǎn)品作為一個檢驗批，最大批量不超過20000kg。

出廠檢驗

6.3.1原則

出廠檢驗應采用逐批檢驗方式。

6.3.2檢驗項目

出廠檢驗項目應包括外觀、粒度、雜質元素含量。

6.3.3抽樣

6.3.3.1每批產(chǎn)品應在總包裝單元的5%中抽樣，抽樣包裝單元數(shù)量應小于10個，當批量小于10個包

裝單元時應逐個抽樣。

6.3.3.2抽樣時，將抽樣器垂直插入包裝袋中心料層深度的3/4處抽樣，取樣總重不應少于1kg，并

將采出的樣品混勻后按四分法縮分至不少于250g，再分成二份，一份供檢驗用，一份留樣，保存三個

月備查。

6.3.4判定規(guī)則

6.3.4.1高純石英砂的外觀、粒度、雜質元素含量均符合要求，則判定產(chǎn)品出廠檢驗合格。有一項不

符合要求，則判定產(chǎn)品出廠檢驗不合格。

6.3.4.2檢驗結果的判定應按GB/T8170數(shù)值修約值比較法進行。

型式檢驗

6.4.1原則

有下列情況之一時，應進行型式檢驗：

——新產(chǎn)品或者產(chǎn)品轉廠生產(chǎn)的試制定型鑒定；

——更換主要原料或改變關鍵工藝時；

——正常生產(chǎn)時，每年進行1次；

——停產(chǎn)6個月以上恢復生產(chǎn)時；

——出廠檢驗結果與上次型式檢驗有較大差異時；

——各級質量監(jiān)督機構要求進行型式檢驗時。

6.4.2檢驗項目

型式檢驗項目應包含本文件第4章規(guī)定的全部內容。

6.4.3抽樣

應從出廠檢驗合格的石英砂中隨機抽取樣品，混勻后以四分法縮分至500g，分裝于兩個干燥清潔

的瓶中，一瓶用于檢驗，另一瓶保存?zhèn)洳椋可蠎宄貥嗣鳟a(chǎn)品代號、批號、批量、粒度等內容。

6.4.4判定規(guī)則

6.4.4.1所檢項目全部符合，應判定為合格品。

6.4.4.2檢驗項目如不符合要求，應對該批次產(chǎn)品再次抽樣復查。檢驗結果若有1項不符合要求，應

重新抽取雙倍量產(chǎn)品進行復驗，復驗結果仍有1項指標不符合標準要求，整批產(chǎn)品應判定為不合格。不

合格產(chǎn)品由供需雙方協(xié)商處理。

3

T/XXXXXXX—2024

6.4.4.3檢驗結果的判定應按GB/T8170數(shù)值修約值比較法進行。

表3檢驗要求

序號檢驗項目技術要求試驗方法出廠檢驗型式檢驗

1外觀4.15.1√√

2粒度4.25.2√√

3雜質元素4.35.3√√

4二氧化硅4.45.4-√

注：“√”表示檢驗的項目，“-”表示可選擇檢驗的項目。

7標志、包裝、運輸和貯存

標志

7.1.1產(chǎn)品標志應符合GB/T191規(guī)定。

7.1.2在產(chǎn)品包裝或產(chǎn)品包裝箱的適當位置，應標有顯著、醒目、不易擦除的包裝標志，具體標簽信

息可包括以下內容：

——制造廠名稱或商標；

——產(chǎn)品名稱；

——產(chǎn)品等級；

——產(chǎn)品規(guī)格；

——產(chǎn)品數(shù)量、重量；

——生產(chǎn)日期及生產(chǎn)地點；

——執(zhí)行標準代號、批號；

——質量檢驗合格證明；

——檢驗員代號；

——使用和貯存注意事項；

——到站（港）及收貨單位；

——發(fā)站（港）及發(fā)貨單位；

——包裝箱尺寸（長×寬×高）；

——“防雨、防潮、防倒置”字樣警示語。

包裝

7.2.1產(chǎn)品包裝宜為三層，內層為二層潔凈的塑料袋，塑料袋應符合GB/T24984的規(guī)定；外層是紙板

桶，包裝紙桶應符合GB/T14187規(guī)定。

7.2.2產(chǎn)品封裝前，應將塑料袋中的空氣