公開.中國團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)Testspecificationforvacuumoutgassingrateofencapsulated北京電子儀器行業(yè)協(xié)會(huì)發(fā)布I本標(biāo)準(zhǔn)參與起草單位：中國科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院等離子體物理研封裝電子材料真空放氣率檢測規(guī)范本規(guī)范規(guī)定了封裝電子材料在真空條件下放氣率的檢測用設(shè)備、計(jì)量特性、檢測原理、檢測步驟本規(guī)范適用于采用固定流導(dǎo)法、對(duì)稱結(jié)構(gòu)流導(dǎo)法檢測材料放氣流量（對(duì)于能確定幾何表面積的樣品，檢測項(xiàng)目為材料放氣率），其中固定流導(dǎo)法檢測范圍為（1×10-5~1×10-8）Pa·m3/s，對(duì)稱結(jié)構(gòu)流導(dǎo)法的檢測范圍為（1×10-8~1×10-11）Pa·m3/s。下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有GB/T3163真空技術(shù)術(shù)語封裝電子材料真空放氣率檢測裝置包括固定流導(dǎo)法材料放氣檢測系統(tǒng)和對(duì)稱結(jié)構(gòu)流導(dǎo)法材料放氣檢測系統(tǒng)。裝置原理如圖1所示。檢測中使用的真空計(jì)、四極質(zhì)譜計(jì)、溫度傳感器、檢漏儀應(yīng)通過專門的計(jì)量機(jī)構(gòu)校準(zhǔn)且在校準(zhǔn)周樣品室、參考室和裝置的接口處漏率應(yīng)小于5×10-12Pa·m3/s；四極質(zhì)譜計(jì)質(zhì)量數(shù)檢測范圍1~200）amu；溫度傳感器的測量范圍根據(jù)測量需求確定，測量精度不超過±1℃;標(biāo)準(zhǔn)氣體流量計(jì)可提供的標(biāo)準(zhǔn)流量為1×10-5~1×10-11）Pa·m3/s。（1）Q—材料的放氣流量，單位為帕立方米每秒（Pa·m3/sA—被測材料的幾何表面積，單位為平方厘米（cm2)。（2）pa0—樣品室空載壓力，單位為帕（Pa通過標(biāo)準(zhǔn)氣體流量計(jì)向檢測裝置引入標(biāo)準(zhǔn)氣體流量以模擬不同材料的放氣量，實(shí)現(xiàn)對(duì)裝置的整體校準(zhǔn)。根據(jù)引入的標(biāo)準(zhǔn)氣體流量，在每個(gè)量級(jí)均勻地選擇三個(gè)點(diǎn)進(jìn)行測量，每個(gè)測量點(diǎn)的校準(zhǔn)系數(shù)可（3）Qa—引入裝置的標(biāo)準(zhǔn)氣體流量，單位為帕立方米每秒（Pa·m3/s采用四極質(zhì)譜計(jì)檢測被測材料的放氣成分，得到離子流的變化曲線，通過氣體成分質(zhì)量數(shù)所對(duì)應(yīng)（1）環(huán)境溫度23±3）℃;pa—流導(dǎo)小孔入口處的壓力，單位為帕（Papb—流導(dǎo)小孔出口處的壓力，單位為帕（Pa測量小孔兩端壓力差，計(jì)算出樣品放出的放氣流量。檢測過程中啟用參考室測量本底放氣，將樣品室f)]（5）C—流導(dǎo)小孔C1和C2的流導(dǎo)值，單位為立方米每秒（m3/spd—參考室內(nèi)的壓力，單位為帕（Pa6泵TMP1、TMP2。），當(dāng)標(biāo)準(zhǔn)流量計(jì)引入的標(biāo)準(zhǔn)流量大小為（1×10-5~1×10-8）Pa·m3/s時(shí)，裝置校準(zhǔn)步驟為：泵TMP2、TMP3。（5）打開閥門V5，向裝置引入標(biāo)準(zhǔn)氣體流量Qa。當(dāng)標(biāo)準(zhǔn)流量計(jì)引入的標(biāo)準(zhǔn)流量大小為（1×10-8~1×10-11）Pa·m3/s時(shí)，裝置校準(zhǔn)步驟為：8TestReportReportNo.地址Address編號(hào)S/NDate：Approvedby:日Day日IssuedDate：DayMeasurementEquipmentsUsedEquipmentsS/NDueDate////檢測所依據(jù)的技術(shù)文件（編號(hào)、名稱）或校準(zhǔn)ReferenceDocument（code、name）orDescriptionoftheUsedTes檢測時(shí)的環(huán)境條件：溫度：相對(duì)濕度：EnvironmentalCondition：Temperature：Rela表面積/cm2注：如果被測樣品的幾何表面積可獲得，可通過計(jì)算得到