ICS2522020

CCSA.29.

中華人民共和國國家標準

GB/T43104—2023/ISO205232017

:

碳基薄膜分類及命名

Carbonbasedfilms—Classificationanddesignations

ISO205232017IDT

(:,)

2023-09-07發布2024-04-01實施

國家市場監督管理總局發布

國家標準化管理委員會

GB/T43104—2023/ISO205232017

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

縮略語

4……………………1

沉積

5………………………2

分類

6………………………2

概述

6.1…………………2

主要的碳基薄膜類型

6.2………………2

分類標準

6.3……………2

薄膜結構

6.4……………3

分類表

6.5………………3

類聚合物碳基薄膜

7………………………5

非晶碳基薄膜

8……………5

金剛石薄膜

9………………6

石墨薄膜

10…………………6

附錄資料性沉積方法

A()………………7

附錄資料性表征方法

B()………………8

參考文獻

………………………9

Ⅰ

GB/T43104—2023/ISO205232017

:

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規則的規定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件等同采用碳基薄膜分類及命名

ISO20523:2017《》。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由中國機械工業聯合會提出

。

本文件由全國金屬與非金屬覆蓋層標準化技術委員會歸口

(SAC/TC57)。

本文件起草單位中國科學院寧波材料技術與工程研究所武漢材料保護研究所有限公司寧波新

:、、

材料測試評價中心有限公司中國科學院蘭州化學物理研究所廣東省科學院新材料研究所中國礦業

、、、

大學東莞市華升真空鍍膜科技有限公司

、。

本文件主要起草人汪愛英段海濤郭鵬柯培玲謝開鋒王鵬柴利強林松盛石倩李曉偉

:、、、、、、、、、、

林海天

。

Ⅲ

GB/T43104—2023/ISO205232017

:

碳基薄膜分類及命名

1范圍

本文件規定了碳基薄膜的分類命名及簡稱本文件所述的碳基薄膜是以碳為主要成分并由物理

、。,

氣相沉積或化學氣相沉積制備所得的薄膜碳基薄膜包括非晶碳基薄膜又稱為類金剛

(PVD)(CVD)。[

石薄膜金剛石薄膜石墨薄膜和類聚合物碳基薄膜

(DLC)],CVD、。

本文件適用于工業規模生產的碳基薄膜本文件不適用于尚未實現工業規模生產的其余種類碳基

。

薄膜

。

本文件只涉及碳基薄膜材料不涉及由主體功能層和上下附加層組成的復合涂層

,/。

薄膜中各層組分和或性能隨厚度變化的薄膜稱為梯度薄膜本文件涉及的碳基薄膜均指非梯度

/。

薄膜

。

碳基薄膜可能包含如氫金屬或其他元素其中金屬成分還包含金屬碳化物本文件涵蓋的摻雜

、。。

碳基薄膜只包括以碳元素為主要成分的薄膜體系對于碳以碳化物形式存在的含碳基薄膜也不適用

。,

于本文件中的金屬摻雜非晶碳基薄膜體系

(a-C:Me,a-C:H:Me)。

本文件不適用于富勒烯碳納米管石墨烯石墨炔等碳材料

、、、。

2規范性引用文件

本文件沒有規范性引用文件

。

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件

。

和維護的標準化工