ChemicalSupplySystem

化學(xué)品供給系統(tǒng)介紹

第1頁課程大綱系統(tǒng)之目標(biāo)化學(xué)品之種類與用途系統(tǒng)之基本要求化學(xué)品供給質(zhì)量要求系統(tǒng)之流程圖CDU之流程圖TEE-BOX之結(jié)構(gòu)VMB之結(jié)構(gòu)SAMPLINGBOX之結(jié)構(gòu)系統(tǒng)設(shè)備之材料要求運(yùn)轉(zhuǎn)操作注意事項(xiàng)第2頁系統(tǒng)之目標(biāo)供給高純度化學(xué)品以清洗芯片上之雜質(zhì)、微粒子供給高純度化學(xué)品以蝕刻芯片圖案供給高純度化學(xué)品以顯影芯片圖案供給高純度化學(xué)品認(rèn)為化學(xué)氣相沉積前置反應(yīng)物供給高純度化學(xué)品以研磨芯片供給高純度化學(xué)品以清洗制程設(shè)備零配件第3頁化學(xué)品之種類與用途(一)酸性:腐蝕性:H2SO4,HCl,HNO3,HF,H3OP4...毒性:HF,HNO3,Poly-Mix,BOE...堿性:NH4OH,KOH,Developer...有機(jī)溶劑易燃液體:IPA,Acetone,NBA,光阻液...腐蝕性有機(jī)溶劑:EKC,EBR,HMDS...氧化性:HNO3,H2O2...第4頁化學(xué)品之種類與用途(二)第5頁系統(tǒng)之基本要求操作安全：腐蝕性、毒性、耐壓、防爆之考慮化學(xué)品零污染：與化學(xué)品接觸部份完全與化學(xué)品

兼容微粒子控制：過濾器循環(huán)過濾滿足最大需求流量：高濃度化學(xué)品如H2SO4、

H3PO4自動控制操作運(yùn)轉(zhuǎn)：系統(tǒng)單元與機(jī)臺界面自動化取樣分析：系統(tǒng)、管路之粒子數(shù)、金屬離子含量

取樣分析泄漏警報(bào)：偵測泄漏及緊急關(guān)閉系統(tǒng)(EMO)系統(tǒng)診療：Pump、Filter、Valve運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)數(shù)維修保養(yǎng)管路AutoPurge/Flush功效化學(xué)品用量統(tǒng)計(jì)第6頁化學(xué)品供給質(zhì)量要求第7頁系統(tǒng)之流程圖(一)CCBStorge

Tank

12m3CDUVMBTTTVMBVMBVMBTool-1Tool-2Tool-3Tool-46m3Tote

1m3200LDrum化學(xué)槽車充填銜

接站將化學(xué)品由

槽車以N2加壓直

接輸送至Tank適合使用量較

大之化學(xué)品,如

H2O2,H2SO4等適合使用量中

等之化學(xué)品,如

HF,H3PO4等適合使用量較

小之化學(xué)品,如

BOE,HNO3等將化學(xué)品經(jīng)循環(huán)

過濾,再經(jīng)N2或

Pump加壓輸送

至有需求之生產(chǎn)

機(jī)臺內(nèi)將化學(xué)品經(jīng)管路分

配至不一樣生產(chǎn)機(jī)臺S可依實(shí)際用量需求選擇使用TeeBoxSamplingBox第8頁系統(tǒng)之流程圖(二)ProvidedBySystemsChemistry,INCFMCSOCPHUBCDUVMBToolTeeBox第9頁系統(tǒng)之流程圖(三)TOOL

機(jī)臺OCPSCADA

ComputerHUBCDUT-BOX主管路GN2加強(qiáng)訊號循環(huán)過濾25”后供酸開啟CDU循環(huán)過濾后，同時(shí)由OCP供給GN2，

打開VMB內(nèi)氣動閥，將化學(xué)品供給至TOOLCHEMICALLINEGN2LINESIGNALLINE供酸VMB泄漏警報(bào)第10頁系統(tǒng)之流程圖(四)ToolSideOCPSideTroubleReadyStopRequestElectricSignalInterfaceBetweenBCDS&ToolEMO1.當(dāng)機(jī)臺需求化學(xué)品時(shí),傳送Request訊號給OCP．

2.OCP收到訊號后,會先檢驗(yàn)CDU是否Ready供給

若是，則回傳Ready訊號．若否，則回傳Trouble訊號

3.機(jī)臺端EMO被壓下時(shí)，則停頓供給化學(xué)品．+24V+24V+24V第11頁CCB之流程圖ProvidedByNOVAGN2

inletStorage

Tank充填槽車CDU第12頁CDU之流程圖(型一)ProvidedByNOVAOutletPumpTransfer

FilterSupply

FilterGN2

inletCDA

inletDrumDayTankTank第13頁CDU之流程圖(型二)ProvidedBySystemsChemistry,INCOutletDrumTankPumpTrans/Rec

FilterSupply

Filter第14頁TEE-BOX之結(jié)構(gòu)主管路主管路VMBDrainPort手動閥箱體內(nèi)側(cè)下方裝

設(shè)泄漏偵測器ProvidedByNOVA1.箱體以PP制成

2.CPVC外蓋

3.箱體與外蓋間以

O-Ring密合

4.管件以PFA制成普通酸堿類適用第15頁VMB之結(jié)構(gòu)箱體內(nèi)側(cè)下方裝

設(shè)泄漏偵測器DrainPortinletToToolsCDAinletFrom

OCPto氣動閥ForTheFutureUsePurgeinletDrainPortExhaust氣動閥手動閥保養(yǎng)管路時(shí)需先

以PN2將化學(xué)品

Purge至機(jī)臺端

Drain4132ProvidedByNOVA1.箱體以PP制成

2.CPVC外蓋

3.箱體與外蓋間以

O-Ring密合

4.管件以PFA制成普通酸堿類適用第16頁SAMPLING-BOX之結(jié)構(gòu)1.將取樣瓶置入,并關(guān)閉

箱門2.按壓按鈕,再打開取樣

手動閥3.化學(xué)品流出達(dá)需求之

量后,關(guān)閉手動閥,放開

按鈕4.打開箱門,蓋上瓶蓋,取

出取樣瓶5.清潔取樣箱按鈕手動閥箱體內(nèi)側(cè)下方裝

設(shè)泄漏偵測器DrainPortinletProvidedByNOVA1.箱體以SUS制成

2.鋼絲玻璃外蓋

3.箱體與外蓋間以

O-Ring密合有機(jī)溶劑類適用第17頁系統(tǒng)設(shè)備之材料要求普通無機(jī)酸堿類外管：CPVC內(nèi)管：PFAPiping&Tubing管件：鐵弗龍材質(zhì)制品有機(jī)溶劑類外管：SUS304內(nèi)管：SUS316LEP管件：SUS316L以上制品有機(jī)堿類外管：SUS304內(nèi)管：PFAPiping&Tubing管件：鐵弗龍材質(zhì)制品第18頁運(yùn)轉(zhuǎn)操作注意事項(xiàng)(一)充份閱讀MSDS，認(rèn)識化學(xué)品之物質(zhì)特征，危害性，危害標(biāo)示，危害路徑及防護(hù)辦法工作前，先行思索及演練各細(xì)節(jié)后，再行動工作時(shí)應(yīng)雙人以上搭配作業(yè)，事前事后確認(rèn)正確選取及使用適當(dāng)防護(hù)器具正確處理化學(xué)品廢棄物，防止造成后續(xù)傷害良好個(gè)人安全衛(wèi)生環(huán)境保護(hù)習(xí)慣認(rèn)知工作安全”意外”意識第19頁運(yùn)轉(zhuǎn)操作注意事項(xiàng)(二)熟知化學(xué)品泄漏處理七項(xiàng)步驟遠(yuǎn)離泄漏源辨示泄漏情況尋求幫助支持管制隔離污染區(qū)拯救傷員圍堵外泄物去除污染物及環(huán)境檢測事故調(diào)查統(tǒng)計(jì)留存第20頁運(yùn)轉(zhuǎn)操作注意事項(xiàng)(三)熟知化學(xué)品淋濺燒傷之搶救處理稀釋、去除污染在皮膚或粘膜上之有害化學(xué)物質(zhì)自救--救人前應(yīng)先保護(hù)自己沖--清水不停沖洗最少15分鐘脫--邊沖邊脫并防止二次傷害支持--請求支持成立緊急處理ERT

對HF時(shí)-須不停地涂抹葡萄酸鈣

(涂抹-按摩-擦凈-涂抹)送--盡速送醫(yī)第21頁運(yùn)轉(zhuǎn)操作注意事項(xiàng)(四)熟知化學(xué)品吸入/食入/眼睛接觸之處理標(biāo)準(zhǔn)

1.維持呼吸，血液循環(huán)，維持患者生命

2.減輕患者病痛，促使其能早日康復(fù)呼吸道吸入

1.離開污染區(qū)(防止自