微電子工藝之摻雜技術(shù)微電子工藝之摻雜技術(shù)微電子工藝之摻雜技術(shù)第二章?lián)诫s技術(shù)目的:改造半導(dǎo)體的電特性■定義:用人為的方法,將所需的雜質(zhì),以一定的方式摻入到半導(dǎo)體基片規(guī)定的區(qū)域內(nèi),并達(dá)到規(guī)定的數(shù)量和符合要求的分布。應(yīng)用:制作①PN結(jié)②IC中的電阻③歐姆接觸區(qū)④硅柵⑤多晶硅互連線方法:①熱擴(kuò)散②離子注入③合金§1擴(kuò)散定義:將摻雜氣體導(dǎo)入放有硅片的高溫爐中,從而達(dá)到將雜質(zhì)擴(kuò)散到硅片內(nèi)的目的。方法①液態(tài)源擴(kuò)散②粉狀源擴(kuò)散③片狀源擴(kuò)散④乳膠源擴(kuò)散⑤固體源(CV摻雜Si0,)擴(kuò)散語(yǔ)文課程標(biāo)準(zhǔn)指出：學(xué)生學(xué)習(xí)不僅要用自己的腦子思考，而且要用自己的眼睛看，用自己的耳朵聽，用自己的嘴說(shuō)話，用自己的手操作，即用自己的身體去親自經(jīng)歷，用自己的心靈親自感悟，這不僅是理解知識(shí)的需要，而是激發(fā)學(xué)生生命活力，促進(jìn)學(xué)生成長(zhǎng)的需要。這一理念雖然已被大多數(shù)教師認(rèn)同，但多數(shù)時(shí)候并沒(méi)有落實(shí)到實(shí)際教學(xué)之中。表現(xiàn)在閱讀教學(xué)中就是教師用自己“教的活動(dòng)”取代學(xué)生“學(xué)的活動(dòng)”，這種傾向下的閱讀教學(xué)設(shè)計(jì)普遍存在著著眼于“教師的教”而較少顧及“學(xué)生的學(xué)”，那么，怎樣才能在閱讀教學(xué)中以“教的活動(dòng)”為基點(diǎn)轉(zhuǎn)變成以“學(xué)的活動(dòng)”為基點(diǎn)呢？我覺(jué)得關(guān)注以下幾個(gè)細(xì)節(jié)很重要。一、課堂上一定要給學(xué)生讀書的時(shí)間語(yǔ)文新課程標(biāo)準(zhǔn)指出：閱讀是搜集處理信息，認(rèn)識(shí)世界，發(fā)展思維，獲得審美體驗(yàn)的重要途徑。閱讀教學(xué)是學(xué)生、教師、文本之間對(duì)話的過(guò)程。應(yīng)該讓學(xué)生更多地直接接觸語(yǔ)文材料，在大量的語(yǔ)文實(shí)踐中掌握運(yùn)用語(yǔ)文的規(guī)律。這一理念要求要確立學(xué)生閱讀的主體地位，教師要發(fā)揮好主導(dǎo)作用，并充分利用文本閱讀，從而多方面多角度地提升學(xué)生的閱讀能力。因此，在閱讀課上，教師一定要讓學(xué)生自己讀書，甚至是反復(fù)地讀，不同形式地讀，讓學(xué)生實(shí)實(shí)在在地去觸摸文本，切不可以教師的讀代替學(xué)生的讀，以教師的講代替學(xué)生的讀。如果沒(méi)有學(xué)生充分的閱讀做基礎(chǔ)，老師講得再多再精彩也是枉然的。因?yàn)榻處熯€是站在如何教的角度，沒(méi)有落實(shí)到學(xué)生“學(xué)的活動(dòng)”上來(lái)。二、問(wèn)題的設(shè)計(jì)要有明確的思維導(dǎo)向眾所周知，閱讀課上，為了引發(fā)學(xué)生的思考，老師是要設(shè)計(jì)一些問(wèn)題的。但不少老師只是為了問(wèn)而問(wèn)，并沒(méi)有站在學(xué)生的角度考慮問(wèn)題，沒(méi)有給學(xué)生指明一個(gè)思考的方向，也就是問(wèn)題的設(shè)計(jì)沒(méi)有明確的思維導(dǎo)向。一次聽課，老師講的是古代詩(shī)歌《錢塘湖春行》。朗讀疏通文意之后，老師便引導(dǎo)學(xué)生賞析這首詩(shī)，其中在講到“幾處早鶯爭(zhēng)暖樹”時(shí)，老師提了這樣一個(gè)問(wèn)題：“早鶯為什么要‘爭(zhēng)’呢？”問(wèn)題拋出之后，學(xué)生們是眉頭緊鎖，一直沒(méi)人舉手回答。這時(shí)老師只好“釣魚”式的提問(wèn)，有的學(xué)生說(shuō)“鳥兒就是好爭(zhēng)斗”；有的說(shuō)“爭(zhēng)著向高的樹上飛”；還有的說(shuō)“在爭(zhēng)食吃吧”……答案可謂是五花八門。最后老師說(shuō)：“你們說(shuō)的都不對(duì)，因?yàn)樘鞖膺€冷，鳥兒們爭(zhēng)著往向陽(yáng)的樹上飛，這樣就突出了西湖早春的特點(diǎn)。”從教師最后拋出的答案來(lái)看，老師提“鳥兒為什么要爭(zhēng)”這個(gè)問(wèn)題的目的，就是想引導(dǎo)學(xué)生理解這首詩(shī)的每一句都是在圍繞西湖早春的特點(diǎn)來(lái)寫的，而這一句呢，是在寫西湖早春春寒料峭的特點(diǎn)。可是學(xué)生們的答案卻是五花八門，無(wú)論老師問(wèn)幾次，學(xué)生也沒(méi)有答出老師預(yù)設(shè)的答案，原因何在呢？我覺(jué)得主要原因就是老師設(shè)計(jì)的問(wèn)題沒(méi)有明確的思維導(dǎo)向。“鳥兒為什么爭(zhēng)”？原因很多，學(xué)生可以從很多角度去思考，所以得出的答案也自然會(huì)很多。如果將問(wèn)題改成“鳥兒為什么要爭(zhēng)‘暖樹’”，問(wèn)題的思維導(dǎo)向就明確多了。因?yàn)椤芭瘶洹奔词恰跋蜿?yáng)的樹”，早鶯爭(zhēng)著往向陽(yáng)的樹上飛，顯然天氣還是比較冷。這樣學(xué)生就不難得出“這句話寫出了西湖早春的特點(diǎn)”這個(gè)結(jié)論了。由此看來(lái)，教師在設(shè)計(jì)問(wèn)題時(shí)，一定要有明確的思維導(dǎo)向，切不可信手拈來(lái)就問(wèn)啊！三、設(shè)計(jì)好適合討論的問(wèn)題新的課程標(biāo)準(zhǔn)倡導(dǎo)自主、合作、探究的學(xué)習(xí)方式，于是，不少老師在閱讀教學(xué)中喜歡設(shè)計(jì)一些問(wèn)題讓學(xué)生討論，這在當(dāng)下是很時(shí)髦的，好像一節(jié)課要是沒(méi)有討論的環(huán)節(jié)，就是沒(méi)有課改意識(shí)的課，就是太傳統(tǒng)的課。但有的老師在設(shè)計(jì)討論的問(wèn)題時(shí)，只是為了迎合新課改，并沒(méi)有以學(xué)生“學(xué)的活動(dòng)”為基點(diǎn)來(lái)設(shè)計(jì)討論的問(wèn)題。我曾聽過(guò)一節(jié)閱讀課，教學(xué)的是《魯提轄拳打鎮(zhèn)關(guān)西》。初讀課文之后，就讓學(xué)生討論：文章一共寫了幾個(gè)人物。之后學(xué)生們開始沸沸揚(yáng)揚(yáng)地討論起來(lái)，有的說(shuō)寫了4個(gè)人物，有的說(shuō)了5個(gè)人物，還有的說(shuō)寫了6個(gè)。課堂氣氛似乎很活躍，殊不知，文章寫了幾個(gè)人物，一數(shù)便知，這個(gè)問(wèn)題根本沒(méi)有思維量，更沒(méi)有討論的價(jià)值。那么，從學(xué)生“學(xué)的活動(dòng)”來(lái)看，什么樣的問(wèn)題適合討論呢？我認(rèn)為以下三類問(wèn)題適合討論：有一定難度的問(wèn)題；答案多元化的問(wèn)題；容易產(chǎn)生分歧的問(wèn)題。因?yàn)檫@三類問(wèn)題讓學(xué)生討論，學(xué)生之間可以互相啟發(fā)，互相補(bǔ)充，辨明是非。總之，這些問(wèn)題是站在學(xué)生學(xué)的角度來(lái)設(shè)計(jì)的，而不僅僅是從教師教的角度。四、要給學(xué)生活動(dòng)以足夠的時(shí)間語(yǔ)文閱讀課上，我們經(jīng)常看到老師在交給學(xué)生任務(wù)時(shí)，總是強(qiáng)調(diào)“要快，要抓緊時(shí)間”“快點(diǎn)，快速地閱讀課本”等等，總有催促學(xué)生之意，給人的感覺(jué)是特別急切，學(xué)生在催促之下進(jìn)行閱讀、思考、討論、交流，確實(shí)是有了緊迫感，活動(dòng)的速度確實(shí)是提高了，但另一方面，也影響了學(xué)生的活動(dòng)，致使閱讀、思考、討論、交流等活動(dòng)的質(zhì)量降低，影響了課堂教學(xué)效率。如果老師在給學(xué)生布置任務(wù)后，給學(xué)生足夠的時(shí)間，讓學(xué)生認(rèn)真地閱讀教材、積極思考、反復(fù)領(lǐng)會(huì)，在真正理解問(wèn)題的基礎(chǔ)上，再去參與討論，與同學(xué)們合作、交流。我想，絕大多數(shù)學(xué)生都會(huì)愉快地、積極地、充滿自信地參與到活動(dòng)之中，都能成為課堂教學(xué)的“主角”而不再是“聽眾”或“旁觀者”。還有的老師讓學(xué)生讀書，兩千多字的課文，時(shí)間剛過(guò)去兩分鐘，老師就開始提問(wèn)，殊不知，一篇2000字的課文，學(xué)生至少要4分鐘才能讀完（新課標(biāo)規(guī)定初中生的默讀速讀是每分鐘500字），給學(xué)生2分鐘讀的時(shí)間就提問(wèn)，課文都讀不完，又怎能回答老師的問(wèn)題呢？讓學(xué)生在大量、廣泛的語(yǔ)文實(shí)踐活動(dòng)中逐步掌握、運(yùn)用語(yǔ)文的規(guī)律，是課標(biāo)的核心理念之一，那么在課堂上組織與開展學(xué)生活動(dòng)是必然的，但保證學(xué)生活動(dòng)質(zhì)量的首要因素就是給學(xué)生足夠的時(shí)間。總之，我們?cè)谠O(shè)計(jì)教學(xué)時(shí)心里要有學(xué)生，在閱讀課堂上，眼里要有學(xué)生，并有意識(shí)地注重教學(xué)過(guò)程中的一些細(xì)節(jié)問(wèn)題，這樣，教學(xué)的核心也就轉(zhuǎn)向了“學(xué)的活動(dòng)”。體育課有一定的特殊性與課堂里教學(xué)決然不同，體育課有外界環(huán)境的影響，而且學(xué)每項(xiàng)基本技術(shù)時(shí)，光聽、看是學(xué)不會(huì)的。要做到聽、看、做、并且反復(fù)進(jìn)行某一項(xiàng)練習(xí)才能掌握。那么就要教師講解時(shí)，示范時(shí)簡(jiǎn)單易懂，一點(diǎn)就明，結(jié)合正確示范，結(jié)合輔助練習(xí)，學(xué)生就很容易掌握動(dòng)作要領(lǐng)，學(xué)起來(lái)就很快，理解也就很深。作為一名好體育教師就要做到又會(huì)講解、示范標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范，而且要有一定的專業(yè)水平，才能適應(yīng)現(xiàn)代教學(xué)的需要。農(nóng)村學(xué)校學(xué)生大部分身強(qiáng)體壯，能吃苦耐勞，但也有部分學(xué)生懶惰，怕太陽(yáng)?，怕苦，不愛做運(yùn)動(dòng)，比如借故身體不舒服，對(duì)技術(shù)難，有危險(xiǎn)性動(dòng)作避而不做，教師要扭轉(zhuǎn)這種對(duì)教學(xué)不利因素，首先要從我做起，以自己良好的師德教育學(xué)生，處處以實(shí)際行動(dòng)做學(xué)生表率，并通過(guò)平時(shí)的談吐舉止，結(jié)合教學(xué)實(shí)際，做好學(xué)生思想工作使學(xué)生明確上好體育課的重要性，從而更好地提高教學(xué)效果。素質(zhì)教育的發(fā)展環(huán)境中，初中體育教師對(duì)自己的教學(xué)手段進(jìn)行了深入的研究，并在一定程度上取得了良好的效果。但是，從目前初中體育教學(xué)的現(xiàn)狀出發(fā)，其存在的問(wèn)題還是比較多的，尤其體現(xiàn)在初中學(xué)生體育學(xué)習(xí)積極性無(wú)法得到有效調(diào)動(dòng)上，以此制約著初中體育教學(xué)全面發(fā)展。在提高初中體育教學(xué)的效果中，加強(qiáng)對(duì)初中體育教學(xué)調(diào)動(dòng)學(xué)生體育學(xué)習(xí)積極性策略的研究非常重要與迫切。一、初中學(xué)生體育學(xué)習(xí)積極性影響因素分析初中體育教學(xué)中，學(xué)生學(xué)習(xí)積極性的影響因素主要體現(xiàn)在四個(gè)方面：①講解示范對(duì)學(xué)生練習(xí)情緒的影響。教師的講解若簡(jiǎn)單明了，學(xué)生的領(lǐng)會(huì)和練習(xí)欲望就比較高；教師的講解若含糊不清，學(xué)生的練習(xí)積極性就無(wú)法得到調(diào)動(dòng)。②體育教師練習(xí)方法對(duì)學(xué)生練習(xí)積極性的影響。在學(xué)生練習(xí)成功時(shí)及時(shí)給予表?yè)P(yáng)，在學(xué)生練習(xí)失敗時(shí)及時(shí)給予鼓勵(lì)，若表?yè)P(yáng)和鼓勵(lì)的方式不當(dāng)，學(xué)生的練習(xí)積極性就會(huì)受到影響。③體育練習(xí)安全性對(duì)學(xué)生練習(xí)積極性的影響。體育運(yùn)動(dòng)具有快速、多變的特點(diǎn)，練習(xí)過(guò)程中若學(xué)生稍不注意就會(huì)導(dǎo)致身體的傷害，此時(shí)學(xué)生的安全若得不到保障，他們的練習(xí)積極性就會(huì)受挫。④學(xué)生個(gè)性心理特征對(duì)練習(xí)積極性的影響。每一個(gè)學(xué)生的性格都是不同的，個(gè)性心理差異的存在導(dǎo)致著學(xué)生在練習(xí)的過(guò)程中會(huì)表現(xiàn)出不同的情緒，在各種心理壓力的存在下，學(xué)生的練習(xí)積極性就會(huì)發(fā)生一定的變化。二、初中體育教學(xué)中學(xué)生積極性調(diào)動(dòng)策略1.設(shè)計(jì)趣味教學(xué)內(nèi)容。學(xué)生練習(xí)積極性調(diào)動(dòng)需要從學(xué)習(xí)的興趣出發(fā)，初中體育教學(xué)中，只有學(xué)生對(duì)所學(xué)的內(nèi)容真正的感興趣，他們?cè)诰毩?xí)中的積極性才能得到調(diào)動(dòng)。因此，體育教材和練習(xí)內(nèi)容的選定非常重要，并需要從學(xué)生的生理和心理發(fā)展特征出發(fā)，根據(jù)學(xué)生不同體質(zhì)的健康狀況合理設(shè)計(jì)體育教學(xué)的內(nèi)容。例如，初中階段是學(xué)生的生長(zhǎng)發(fā)育期，此時(shí)，女同學(xué)的生理發(fā)育是比較快的，體育練習(xí)中，女同學(xué)出于對(duì)自身體重增加和力量減弱變化的影響，在單雙杠的練習(xí)中會(huì)出現(xiàn)一定的畏懼心理，還擔(dān)心著對(duì)體形美觀所產(chǎn)生的影響，以此造成了很多女同學(xué)在單雙桿練習(xí)中的積極性不是很強(qiáng)。在這個(gè)問(wèn)題上，教師可以嘗試在單雙桿的練習(xí)中增加舞蹈基本功、藝術(shù)體操等方面的內(nèi)容，此時(shí)，女同學(xué)的學(xué)習(xí)積極性便能得到大幅度的提高，進(jìn)而促進(jìn)著全體學(xué)生的體育積極性的調(diào)動(dòng)。2.從學(xué)生心理特征出發(fā)。初中階段學(xué)生的好奇心非常強(qiáng)，對(duì)體育學(xué)習(xí)的興趣也是比較濃厚的，從心理的接受程度上來(lái)講是比較愿意接受教師的指導(dǎo)和要求的。那么，體育教學(xué)中，教師就要抓住學(xué)生的這一心理特點(diǎn)，利用學(xué)生的好奇性激發(fā)學(xué)生的學(xué)習(xí)興趣，進(jìn)而促進(jìn)學(xué)生體育學(xué)習(xí)中自主學(xué)習(xí)的形成。同時(shí)，教師還需要對(duì)學(xué)生提出適當(dāng)?shù)谋頁(yè)P(yáng)，合理的表?yè)P(yáng)對(duì)學(xué)生體育學(xué)習(xí)自我信心的增強(qiáng)非常重要。教師通過(guò)贊許的語(yǔ)言和微笑給予學(xué)生表?yè)P(yáng)，不僅能夠及時(shí)的對(duì)學(xué)生的思想品德和體育學(xué)習(xí)成效給予肯定，而這種公開表?yè)P(yáng)的方式還強(qiáng)化著學(xué)生的上進(jìn)心，更好的調(diào)動(dòng)了學(xué)生體育學(xué)習(xí)的積極性。3.采取多種教學(xué)手段。千篇一律的練習(xí)是每一個(gè)人都討厭的，而初中生正處于生長(zhǎng)發(fā)育的探索階段，體育教學(xué)中要想提高學(xué)生的學(xué)習(xí)積極性，對(duì)教學(xué)的內(nèi)容和練習(xí)的方法一定要不斷的變化，并采取新的方式。初中體育教學(xué)中，短跑是一項(xiàng)基本性的練習(xí)項(xiàng)目，每節(jié)體育課中體育教師都會(huì)要求學(xué)生進(jìn)行短跑練習(xí)，對(duì)于這項(xiàng)非常枯燥的體育項(xiàng)目，教師可以采用拍手、口號(hào)、激情語(yǔ)言激勵(lì)、相互比拼的方式調(diào)動(dòng)學(xué)生的積極性，與一種輕松的氛圍中完成短跑項(xiàng)目。同時(shí)，在體育教學(xué)中融入游戲環(huán)節(jié)也能取得不錯(cuò)的效果，同樣以短跑為例，練習(xí)中融入《找朋友》、《丟手絹》的游戲，在相互的追逐中就訓(xùn)練了短跑的技能。而彈跳練習(xí)中，融入《跳繩》這一游戲，在游戲的互動(dòng)中鍛煉了學(xué)生的彈跳能力，游戲中學(xué)習(xí)對(duì)體育學(xué)習(xí)的熱情也逐漸的增強(qiáng)著。4.建立有效評(píng)價(jià)機(jī)制。任何階段體育教學(xué)的發(fā)展都需要一套完善的評(píng)價(jià)機(jī)制來(lái)促進(jìn)。總所周知，體育知識(shí)的學(xué)習(xí)需要課后的鞏固來(lái)實(shí)現(xiàn)它的練習(xí)效果，初中體育教學(xué)的實(shí)踐在每周的課時(shí)并不是很多，而課堂也只有40分鐘的時(shí)間。學(xué)生體育學(xué)習(xí)的目的不僅是為了學(xué)業(yè)，更重要的是增強(qiáng)體魄，提高自己的運(yùn)動(dòng)技能。三、結(jié)語(yǔ)綜上所述，初中體育教學(xué)中，學(xué)習(xí)體育學(xué)習(xí)積極性的影響是由多種因素所造成的，在初中學(xué)生體育學(xué)習(xí)積極性的調(diào)動(dòng)中，體育教師需要根據(jù)學(xué)生的這些影響進(jìn)行，從學(xué)習(xí)的心理和生理以及學(xué)習(xí)動(dòng)機(jī)著手，及時(shí)的對(duì)自己的教學(xué)方法、教學(xué)內(nèi)容進(jìn)行改進(jìn)，以讓初中學(xué)生對(duì)體育課程產(chǎn)生學(xué)習(xí)的興趣，全面的提高學(xué)生的體育技能，這對(duì)學(xué)生體魄的增強(qiáng)和體育教學(xué)的發(fā)展都有著重要的作用。第二章?lián)诫s技術(shù)目的:改造半導(dǎo)體的電特性■定義:用人為的方法,將所需的雜質(zhì),以一定的方式摻入到半導(dǎo)體基片規(guī)定的區(qū)域內(nèi),并達(dá)到規(guī)定的數(shù)量和符合要求的分布。應(yīng)用:制作①PN結(jié)②IC中的電阻③歐姆接觸區(qū)④硅柵⑤多晶硅互連線方法:①熱擴(kuò)散②離子注入③合金§1擴(kuò)散定義:將摻雜氣體導(dǎo)入放有硅片的高溫爐中,從而達(dá)到將雜質(zhì)擴(kuò)散到硅片內(nèi)的目的。方法①液態(tài)源擴(kuò)散②粉狀源擴(kuò)散③片狀源擴(kuò)散④乳膠源擴(kuò)散⑤固體源(CV摻雜Si0,)擴(kuò)散§1擴(kuò)散擴(kuò)散原理本質(zhì)上:擴(kuò)散是微觀粒子做無(wú)規(guī)則熱運(yùn)動(dòng)的統(tǒng)計(jì)結(jié)果。方向上:高濃度向低濃度擴(kuò)散1.菲克第一定律J=D·ND—擴(kuò)散系數(shù)(cm2/s)VN濃度梯度“-”—從高濃度向低濃度擴(kuò)散J—擴(kuò)散流密度§1擴(kuò)散2擴(kuò)散模型(機(jī)構(gòu))雜質(zhì)原子的能量一波爾茲曼分布①間隙式擴(kuò)散一雜質(zhì)運(yùn)動(dòng)在原子間的間隙②替位(代位)式擴(kuò)散一雜質(zhì)原子從一個(gè)晶格點(diǎn)替位位置運(yùn)動(dòng)到另一個(gè)替位位置前提:鄰近格點(diǎn)有空位、擴(kuò)散原理①D與E成反比替位擴(kuò)散:Ea=Es+E’能量高,慢擴(kuò)散:間隙擴(kuò)散:Ea=E,能量低,快擴(kuò)散■②D與T成正比a.高溫?cái)U(kuò)散,T=800-1000℃例如,室溫下S中替位雜質(zhì)要等1045年才能躍遷步b.精確控溫,若ΔT=±1℃,則△D=5%-10%。、擴(kuò)散原理3.菲克第二定律—擴(kuò)散方程對(duì)S平面工藝,擴(kuò)散流近似沿垂直Si表面方向(X方向),則NJ=J(x=-D根據(jù)質(zhì)量守恒:單位時(shí)間內(nèi),在相距dx的兩個(gè)平面之間,雜質(zhì)數(shù)的變化量等于通過(guò)兩個(gè)平面的流量差,3.菲克第二定律一擴(kuò)散方程aNatdx=j2