2023/7/19PECVD生產操作規程1安全警告設備帶有高壓、易燃易爆特種有毒氣體、微波輻射等危險嚴禁無關人員和小孩進入機器黃色區域機器運行時，嚴禁拔出微波銅天線，嚴禁拆設備任何部件。否則可能帶來微波輻射和高壓電擊等危險未經培訓和許可嚴禁操作設備，不正確操作設備可能損壞設備，嚴禁亂操作計算機7/19/202322安全與標識威脅人身傷亡或健康微波輻射危險微波泄露限制：根據最新科學研究和世界許多國家執行規定，距易接近設備部件5cm處微波泄漏小于5mw/cm2熱的表面7/19/20233

觸電危險戴防護眼鏡戴防護手套7/19/202343開機開總電源啟動計算機檢查冷卻水檢查氣源啟動“system”程序7/19/202353.1開總電源檢查三只紅色急停按鈕是否復位，如末復位拉出復位7/19/20236

向右轉動主電源斷路器手柄復位，然后向左轉動手柄，主電源合閘機器上指示燈、溫控儀表點亮可確認總電源已開啟7/19/202373.2啟動計算機輕壓一下工控機主機上“POWER”按鈕，計算機啟動WIN-NT7/19/202383.3檢查冷卻水冷卻水壓力應在4kg/cm2--6kg/cm2范圍內先打開冷卻水出水閥，然后打開進水閥7/19/20239

檢查、調節水流量計，ww1--4為10L/min,ww5--6為6L/min，ww7--12為2.5L/min(設備人員調節)7/19/2023103.4檢查氣源打開壓縮空氣閥，壓縮空氣為5kg/cm2--7kg/cm2打開氮氣閥，氮氣壓力小于5kg/cm27/19/2023113.5啟動“system”程序用鼠標左鍵雙擊Win-nt桌面“system”圖標啟動后登入自己使用權限帳號7/19/2023124選擇工藝單、生產開真空泵，預加熱啟動指定工藝檢查工藝運行情況放置空石墨框進行傳動狀態測試工藝調試，生產7/19/2023134.1開真空泵，預加熱檢查機器無故障顯示后，開真空泵加熱腔和反應腔預加熱當反應腔真空壓力小于1.0e-2mbar,溫度達到預設定的值，方可啟動工藝7/19/2023144.2啟動指定工藝打開墻壁氣箱中特氣閥點擊“control”控制按鈕，“technology”框中選擇規定的工藝單后，加載“load”,啟動工藝“start”，在“transp-ortation”框啟動傳動7/19/2023154.3檢查工藝運行情況過程狀態畫面框顯示過程執行“processrunning”壓力控制微波開啟特氣開啟以上條件滿足方可啟動工藝7/19/2023164.4傳動狀態測試在機器裝載口平穩放置空石墨框進行傳動狀態測試7/19/2023174.5進行工藝調試，生產放入裝有需加工硅片的石墨框進行工藝調試，生產在機器口放置、檢查好石墨框后按壓黑色準備好按鈕，機器傳動才執行帶上高溫手套，及時從機器出口平穩拿出石墨框7/19/2023185停機停止工藝運行關墻壁氣箱中特氣閥,特氣管路吹掃關掉真空泵,向機器腔體沖入凈化N2退出控制程序“system”,關主電源關上壓縮空氣、氮氣、冷卻水7/19/2023195.1停止工藝運行鼠標點擊“control”按鈕，彈出下拉菜單點擊工藝“stop”按鈕點擊傳動“stop”按鈕7/19/2023205.2關墻壁氣箱中特氣閥，特氣管路吹掃關上位于墻壁氣箱中特氣閥通知經過培訓的設備人員進行特氣管路吹掃7/19/2023215.3關掉真空泵，向腔體沖入N2進入“system”狀態畫面，點擊“pumps”控制按鈕，彈出下拉菜單等待真空泵凈化N2氣閥關閉點擊三個真空泵“pumpoff”控制按鈕關掉真空泵點擊反應腔“vent”控制按鈕,向機器腔體沖入凈化N2，等待沖好指示燈點亮7/19/2023225.4退出控制程序，關主電源進入“service”狀態畫面，點擊系統中“switchoff”控制按鈕，計算機顯示回到win-nt畫面進行正常關計算機操作用手按壓一下紅色急停按鈕，關閉主電源，拉出紅色急停按鈕復位7/19/2023235.5關上壓縮空氣、氮氣、冷卻水關上壓縮空氣、氮氣閥等十五分鐘后可關閉冷卻水，先關進水閥，然后關回水閥7/19/202324

7/19/2023257/19/202326

Figure10:Processchamber7/19/202327Figure12:Gassystem7/19/20232