ICS3108099

CCSL.59.

中華人民共和國國家標準

GB/T42597—2023/IEC62047-202014

:

微機電系統MEMS技術陀螺儀

()

Micro-electromechanicalsystemstechnology—Gyroscopes

IEC62047-202014Semiconductordevices—Micro-electromechanicaldevices—

(:,

Part20GroscoesIDT

:yp,)

2023-05-23發布2023-09-01實施

國家市場監督管理總局發布

國家標準化管理委員會

GB/T42597—2023/IEC62047-202014

:

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

基本評級和特征

4…………………………1

陀螺儀的分類

4.1………………………1

絕對最大額定值

4.2……………………2

正常工作額定值

4.3……………………3

性能參數

4.4……………3

測量方法

5…………………5

標度因數

5.1……………5

交叉軸靈敏度

5.2………………………15

零偏

5.3…………………18

輸出噪聲

5.4……………27

帶寬

5.5…………………31

分辨率

5.6………………36

附錄資料性陀螺儀特性測量值的準確度

A()…………38

參考文獻

……………………39

GB/T42597—2023/IEC62047-202014

:

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規則的規定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件等同采用半導體器件微機電器件第部分陀螺儀

IEC62047-20:2014《20:》。

本文件做了下列最小限度的編輯性改動

:

為與現有標準協調將標準名稱改為微機電系統技術陀螺儀

a),《(MEMS)》;

糾正了原文中的錯誤更正了圖中寬帶噪聲范圍的標注

b)IEC62047-20:2014:18;

糾正了原文中的錯誤更正了公式和公式的運算符號

c)IEC62047-20:2014:(20)(21)。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由全國微機電技術標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC336)。

本文件起草單位蘇州市質量和標準化院中機生產力促進中心有限公司工業和信息化部電子第

:、、

五研究所東南大學蘇州市標準化協會北京航天控制儀器研究所華東光電集成器件研究所四川富

、、、、、

生電器有限責任公司中國合格評定國家認可中心北京微元時代科技有限公司

、、。

本文件主要起草人沈俊杰李根梓顧楓張碩董顯山周再發來萍邢朝洋王曉臣張運昌

:、、、、、、、、、、

王志遠閆桂珍

、。

Ⅰ

GB/T42597—2023/IEC62047-202014

:

微機電系統MEMS技術陀螺儀

()

1范圍

本文件規定了陀螺儀的術語和定義額定值性能參數及測量方法

、、。

陀螺儀主要用于消費電子工業和航空航天等陀螺儀廣泛采用和半導體激光器技術

、。MEMS。

2規范性引用文件

本文件沒有規范性引用文件

。

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件

。

31

.

轉臺rotatingtable

速率轉臺ratetable

測量過程中裝載陀螺儀的旋轉裝置

。

32

.

地球自轉速率earthrate

由于地球的自轉而在慣性空間中產生的角速率

。

注根據國際地球自轉和參考系統服務的規定地球在慣性空間中的角速率由恒星日定義為小時分

:(IERS),,2356

鐘秒因此地球在慣性空間中的角速率約為有關定義的詳細信息請參閱網

4.098903691。,15.04°/h。,IERS

站

()。

33

.

標度因數scalefactor

陀螺儀輸出電壓或輸出數字信號與加載角速率的比值