一、設備主要組成及技術指標1、劃片機系統(tǒng)主要組成部分、功能和隨機清單：1.1劃片機系統(tǒng)主要由貼膜模塊，高精度激光切割模塊，裂片模塊，工作氣路，工作電路，控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)等部分組成，適用于超凈間安裝；1.2貼膜模塊要能夠在硅片切割前進行保護膜的手動貼附；*1.3高精度激光切割模塊不僅要滿足單晶硅、多晶硅、非晶硅、錯、石墨、金剛石、碳化硅等四族半導體襯底材料，氧化鋁、氮化鋁、氧化鋯、鍍銀陶瓷等陶瓷襯底材料，藍寶石、氧化硅、氮化硅、鐵氧體等脆性材料，還要滿足不銹鋼、銅、硅鋼、鐵鉆合金、鋁合金、鈦合金等多種金屬的切割、打孔，以及LED器件、MEMS器件、微流道芯片等微納器件的加工工藝；*1.4裂片模塊要能夠對劃線的硅片（硅片尺寸N6英寸）進行裂片。2、主要技術指標：*2.1貼膜模塊：支持直徑6英寸以內晶圓貼膜；2.1.1允許晶圓厚度不低于150?800pm厚度區(qū)間；2.1.2可貼膜種類：藍膜、UV膜；2.1.3晶圓收益：N99.9%；2.1.4貼膜質量要求：無氣泡；2.1.5要求產能：N90片/小時；2.1.6雙彈性壓合，不易碎片；2.1.7軸承式圓周刀；2.1.8皮帶式收料結構和抽取式換膜裝置；2.1.9帶無排式靜音真空和可調式加熱裝置；2.1.10帶機械式橫切刀；相對省膜設計原理;2.2高精度激光切割模塊：包括光纖激光發(fā)生器、高精度大理石平臺、專用切割頭、專用切割軟件，高精度直線電機，一體式機柜，真空吸附系統(tǒng)等主要組成部分，滿足±0.015mm切割精度；*2.2.1準連續(xù)光纖激光發(fā)生器：波長1064nm，功率不低于150w，連續(xù)輸出能量偏差控制在W3%,激光器性能與原裝進口IPG等品牌相當，風冷模式制冷；2.2.2光束傳輸系統(tǒng)：激光聚焦系統(tǒng)，同軸輔助吹氣系統(tǒng)；2.2.3高精度大理石平臺基座：高精度花崗巖平臺，尺寸1.3mx1.2mx0.18m重量不低于0.5噸，主要目的是為了提高設備自重，另外大理石受溫度變化相對其它材料變化系數較小，能與直線電機更好的配合。2.2.4專用切割頭:高精度切割頭，性能與原裝進口普雷斯特品牌相當；*2.2.5專用切割軟件:PMAC控制卡配套專用激光切割軟件，可識別調用CADdxf格式文件并進行加工，具有圖形排樣及尖角平滑處理功能，可實現高速打孔及標刻功能；*2.2.6XY軸配置高精度直線電機，切割幅面為400x400mm,定位精度不低于±0.004mm,重復定位精度不低于±0.003mm,Z軸可上下調節(jié)，調節(jié)范圍0-100mm，調節(jié)精度0.02mm，電動調焦；*2.2.7最小切割線寬不超過0.05mm,切割厚度：藍寶石襯底不低于1mm,碳化硅襯底不低于1mm，氮化鋁軟陶瓷不低于1mm；不銹鋼不低于2mm，紫銅不低于0.3mm；銀不低于0.3mm；有以上的材料的切割經驗并提供相應的工藝報告；告；*2.2.8CCD定位:高清晰攝像頭，像素不低于200萬，性能與基恩士等品牌相當；2.2.9采用一體式機柜，選用優(yōu)質鋼材料（性能不低于45號鋼材）制造，氬弧焊接，表面進行防銹處理；2.2.10帶聲光報警以及門磁保護功能，確保人員與設備使用安全；2.2.11控制系統(tǒng)：采用進口工控機，配置不得低于雙核3.3HzCPU；4G內存；500G硬盤；20寸液晶顯示器，控制系統(tǒng)性能與西門子等公司同類產品性能相當；2.2.12具有操作權限分級功能；2.2.13設備設計要滿足我實驗室現有超凈間安裝空間要求，設備尺寸：長度1300±100mm，寬度1100±100mm，高度1650±100mm，并滿足高層樓板承重需求，成套設備重量控制在1200±50Kg，；2.2.14設備顏色要滿足主要設備整體美觀要求；2.3擴片模塊：2.3.1采用雙氣缸上下控制；2.3.2恒溫設計，膜片周邊擴張均勻適度；2.3.3加熱，拉伸，擴晶，固膜一次完成；2.3.4加熱溫度，擴張時間，回程速度均勻可調；二、設備隨機配件1、標準工具1套2、專用工具1套3、專用夾具4、噴嘴2個5、金屬名片10片（調光使用）6、保護鏡片2片7、激光防護眼鏡1副（波長1064nm）三、交貨期：30個工作日；四、設備安裝：設備供應商提供的設備運輸、安裝、調試、驗收和培訓等的費用均包含在本次采購價格中；五、設備操作培訓1、設備培訓包括設備調試、工藝培訓等相關的操作、參數設定和數據編程，并提供各種典型工藝參數；2、整機設備的軟件控制操作、手動控制操作，圖形處理；3、常見故障原因及處理方法設備保修；六、設備質保1、提供壹年免費質保期，并提供終身維修服務；2、質保期內在4小時內提供電話響應，在24小時內提供現場響應。質保期后提供在8小時內電話響應，在48小時內提供現場響應；3、質保期后按成本價提供設備維修配件和服務；4、投標廠家在中國大陸設有完善的售后服務機構和備件庫，能夠迅速及時地處理售后服務問題和提供售后所需要的備品備件，并提供江蘇地區(qū)直屬服務網點的相關證明材料；七、其他要求1、投標廠商要求有兩年以內在大型研究所和大學公共實驗平臺有實際銷售業(yè)績;以上需提供相關證明材料；2、投標廠家為了能配合