標準解讀

《YS/T 983-2014 多晶硅還原爐和氫化爐尾氣成分的測定方法》是一項針對多晶硅生產過程中產生的尾氣成分進行分析檢測的標準。該標準適用于采用化學氣相沉積法（CVD）制備多晶硅時，對還原爐及氫化爐排出氣體中主要成分如氯化氫、氫氣、三氯氫硅、四氯化硅等物質含量的測定。通過規定了具體的取樣方法、樣品處理流程以及使用色譜技術或其他適宜手段來進行定量分析的要求，旨在為行業內企業提供一個統一且科學的方法來監控生產過程中的廢氣排放情況，確保環境保護與安全生產。

根據此標準，首先需要按照指定步驟采集代表性樣本，這包括但不限于直接從排氣管道中抽取一定體積的氣體，并立即采取措施防止樣品污染或成分變化；隨后，在實驗室條件下，利用預處理設備去除可能干擾測試結果的雜質；最后，采用氣相色譜儀等精密儀器完成對目標組分的分離與測量工作。整個過程需嚴格遵守實驗操作規范，以保證數據準確性與可靠性。此外，對于不同類型的待測物，還應選擇合適的檢測條件和技術參數，比如柱溫、載氣流速等，以便獲得最佳分離效果。


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....

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  • 2014-10-14 頒布
  • 2015-04-01 實施
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文檔簡介

ICS77040

H17.

中華人民共和國有色金屬行業標準

YS/T983—2014

多晶硅還原爐和氫化爐尾氣成分的

測定方法

Testmethodformeasuringcompositionofpolysilicon

depositionreactorandTCStoSTCconverterventgas

2014-10-14發布2015-04-01實施

中華人民共和國工業和信息化部發布

中華人民共和國有色金屬

行業標準

多晶硅還原爐和氫化爐尾氣成分的

測定方法

YS/T983—2014

*

中國標準出版社出版發行

北京市朝陽區和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區三里河北街號

16(100045)

網址

:

服務熱線

:400-168-0010

年月第一版

20152

*

書號

:155066·2-28287

版權專有侵權必究

YS/T983—2014

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國有色金屬標準化技術委員會歸口

(SAC/TC243)。

本標準負責起草單位四川新光硅業科技有限責任公司

:。

本標準參加起草單位天威四川硅業有限責任公司樂山樂電天威硅業科技有限責任公司峨嵋半

:、、

導體材料研究所陜西天宏硅材料有限責任公司洛陽中硅高科技有限公司

、、。

本標準主要起草人敖細平王波梁洪劉暢張華端古行乾王阿麗

:、、、、、、。

Ⅰ

YS/T983—2014

多晶硅還原爐和氫化爐尾氣成分的

測定方法

1范圍

本標準規定了多晶硅還原爐和氫化爐尾氣成分的測定方法

。

本標準適用于改良西門子法工藝還原爐和氫化爐尾氣成分氫氣氯化氫三氯氫硅二氯二氫硅和

(、、、

四氯化硅的測定檢測范圍為體積分數

)。0.1%~100%。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

純氫高純氫和超純氫

GB/T7445、

純氮高純氮和超純氮

GB/T8979、

3方法提要

根據尾氣中各個組分的沸點極性及吸附性的差異利用氣相色譜將各個組分從色譜柱中分離采

、,,

用熱導檢測器檢測其含量

(TCD)。

4干擾因素

41樣品溫度應不低于否則樣品中部分氯硅烷組分會出現冷凝使分析結果失去代表性

.50℃,,。

42尾氣壓力應保持在合適的范圍太大不易操作且不安全太小容易導致樣品無法采集至取樣容

.,,

器內

。

43取樣容器應保持密閉性否則樣品泄漏會影響分析結果的準確性

.,,。

5試劑和材料

除非另有說明分析時均使用符合國家標準的試劑或材料

,。

51高純氫氣應符合的規定

.,GB/T7445。

52高純氮氣應符合的規定

.,GB/T8979。

6儀器和設備

61氣相色譜儀具備熱導檢測器

.:。

62進樣器氣密玻璃注射器

.:1mL。

63采樣容器容積約

.:250mL。

64色譜柱長內徑內填充

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