中華人民共和國國家計量檢定規程

JJG989—2004

光柵式測微儀

GratingMicrometers

2004-09-21發布2004-12-21實施

國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中華人民共和國

國家計量檢定規程

光柵式測微儀

JJG989—2004

國家質量監督檢驗檢疫總局發布

*

中國質檢出版社出版發行

北京市朝陽區和平里西街甲號

2(100013)

北京市西城區復外三里河北街號

16(100045)

網址

:

服務熱線

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年月第版

2004121

*

書號

:155026·J-1825

版權專有侵權必究

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本規程經國家質量監督檢驗檢疫總局于年月日批準并自

20040921,

年月日起施行

20041221。

歸口單位:全國幾何量工程參量計量技術委員會

主要起草單位:中國科學院光電技術研究所

參加起草單位:中國測試技術研究院

本規程委托全國幾何量工程參量計量技術委員會負責解釋

JJG989—2004

本規程主要起草人:

耿麗紅中國科學院光電技術研究所

()

匡龍中國科學院光電技術研究所

()

曹學東中國科學院光電技術研究所

()

范天泉中國科學院光電技術研究所

()

參加起草人:

李建民中國測試技術研究院

()

JJG989—2004

目錄

范圍……………………

1(1)

引用文獻………………

2(1)

概述……………………

3(1)

計量性能要求…………

4(2)

測力…………………

4.1(2)

測桿受徑向力引起的示值變化……………………

4.2(2)

重復性………………

4.3(2)

示值誤差……………

4.4(2)

漂移…………………

4.5(2)

通用技術要求…………

5(2)

外觀…………………

5.1(2)

各部分相互作用……………………

5.2(3)

抗干擾性……………

5.3(3)

計量器具控制…………

6(3)

檢定條件……………

6.1(3)

檢定項目……………

6.2(4)

檢定方法……………

6.3(4)

檢定結果的處理……………………

6.4(6)

檢定周期……………

6.5(6)

附錄測微儀示值誤差檢定計算實例量塊和測微儀檢定器組合法…………

A()(7)

附錄示值誤差測量結果不確定度激光測長裝置法…………

B()(8)

附錄示值誤差測量結果不確定度量塊和測微儀檢定器組合法……………

C()(12)

附錄檢定證書和檢定結果通知書內頁格式………

D(18)

JJG989—2004

光柵式測微儀檢定規程

1范圍

本規程適用于分辨力為測量范圍至的光柵式測微儀的首次

0.01μm~1μm,100mm

檢定后續檢定和使用中檢驗

、。

2引用文獻

本規程引用下列文獻

:

通用計量術語及定義

JJF1001—1998

測量不確定度評定與表示

JJF1059—1999

測量儀器特性評定

JJF1094—2002

光柵線位移傳感器

JB/T10080.2—2000

使用本規程時應注意使用上述引用文獻的現行有效版本

,。

3概述

光柵式測微儀以下簡稱測微儀是以光柵副作為測量元件將線位移量轉換為光

(),

電信號經電路處理并以數字顯示的一種長度精密測量儀器

,