EJA-智能變送器技術交流會感謝各位領導專家光臨李龍恩重慶橫河川儀有限公司（CYS）廣州環境投資有限公司EJA—新時代智能變送器品質卓越始終如一重慶橫河川儀有限公司（CYS）重慶橫河川儀有限公司［CYS］創立1995年09月27日資本金總資本US＄1420萬元出資比例日本橫河電機株式會社60%

中國重慶川儀自動化股份有限公司40%從業人員420人、其中日本長駐人員3人

(總經理、付總經理、總工程師)所在地重慶本部重慶市北部新區黃山大道中段61號川儀工業園

上海營業本部

上海市天山西路568號鱷魚大廈D區3層

北京分公司北京市東城區金寶街89號金寶大廈9層廣州分公司廣州市環市東路362號好世界廣場35層主營業務內容DPharpEJA全智能變送器制造、銷售和售后服務EJA年銷售量28萬臺；產值9億行業地位中國高端品牌銷量第一位制造方式CYS＝YHQ(NYPS)

制造設備CYS＝YHQ品質管理ISO9002＋5M(ManMachineMaterialMethodMeasurement)同一品質EJA

全球同一技術（同步）、同一品質、同一管理和同一商標EJA變送器生產基地日本(橫河電機甲府工場)中國［橫河川儀有限公司］美國【美國橫河公司】生產基地製造：日本最新設備的引入

橫河川儀ＥJA-生產場地A線C線AMP線浄化間

機加場EJA變送器品質/質量管理體系品質保証活動ＩＳＯ９００２

GB/TI9002-1(ISO9002-1)97年12月31日取得質量改善活動QA會議(質量分析會)制販會(產/質/技/銷)客戶/生產質量分析

質保體系有機化學物質削減ISO14000環境認証2000年12月取得！節約資源、能源，預防污染

加強廢棄物管理全員參與，持續改進保護生態環境

我們只有一個地球遵守環境保護法律、法規

CYS環境方針環境保護活動電力削減節約水紙再利用排水噪音管理環保購買橫河川儀有限公司

◆EJA變送器的原理

全球最先進壓力傳感器技術單晶硅諧振式數字化差分傳感器采用微電子精密加工技術Si諧振傳感器制作工藝P++P+P++

N+④封注外延及退火

振動子(100)N型SiSio2(600nm)①切除氧化膜及HCL煤氣腐蝕②選擇性外延及去除氧化膜③選擇性腐蝕

傳感器硅片電子顕微鏡寫真受壓部份構造

振動子勵振端子検出端子ダイアフラムチップ真空室シェルダイアフラムチップ振動子中心膜片（マル鋼）傳感器SUS316ＬＬ側BODＹＳＵＳ３１６鍛造ＲＩＮＧ驅動板傳感器ＡＳＳＹシリコーンオイル封入液信號SUS316LＬ鍛造Ｈ側BODY18Cr-12Ni-2.5Mo-低C密封膜片哈氏合金Ｃ-276）Ni=BAL60%Cr=15.5%Mo=16%W=3.5%Fe=5.5%ets

3.在無壓力時諧振頻率為

90kHz

2.涂附在硅層上的H形諧振梁

1.硅層諧振式傳感器單晶硅諧振式壓力傳感器的構成

4.壓力引起硅層發生應變

5.來自硅層的應變線性地改變諧振梁的頻率輸出壓力單晶硅諧振傳感器結構2個單晶硅諧振傳感器H型

諧振器H

型硅諧振器硅片

傳感器的構造原理力磁界力磁界電流電壓法拉第左手原理法拉第右手原理硅片振子永久磁石NS硅諧振傳感器起振原理永久磁鐵激勵電路電磁力方向頻率輸出硅H型諧振傳感器硅片磁場硅傳感器壓縮

擴張諧振式傳感器單晶硅諧振式傳感器的原理

2.作用在硅層上的壓力

1.兩塊頻率為

90kHz的共振被固定在硅層上

3.由于位置和深度的變化一塊被擴張而另一塊被壓縮

4.壓力使得被擴張的諧振梁頻率由90到110kHz而被壓縮的一塊由90到70kHz變化

5.而微處理器只需簡單的對頻率計數1109070深度kHz壓縮拉伸過程壓力隔離墊片H型諧振器基體硅諧振傳感器壓力轉換傳感器

40kHz

被壓縮的諧振梁頻率降低

被拉伸的諧振梁頻率升高諧振式傳感器諧振式傳感器的頻率輸出壓力頻率壓力諧振式傳感器變送器成品的精度上下行程比例輸出電容式EJA系列緊湊&輕量

易于安裝19.8cm3.9kgEJA110差壓變送器玻璃層芯片頭部高壓側流動

壓力低壓側流動壓力膜盒體高壓低壓熱孤立的傳感器結構與過程壓力分開

1.傳感器被分離置于膜盒體頸部隔離膜片

2.高低壓力通過內部硅油以液體壓力的方式作用于傳感器

與現場溫度隔離

與現場震動隔離數字精度的本地調節

零點/量程的數字微調

0.01%改變分辨率易于調整

無模擬電位器

溫度穩定

傳統變送器的便利手動自由調節

滿度上升/抑制承受力

工程單位

4.5位

范圍設置開關（零點/量程）

輸出改變方向指示增強的LCD顯示交替式

交替

(每3秒.)或固定

14種可選工程單位

錯誤代碼信息

本地零點/量程開關

可旋轉安裝

改良的規格特性為所有應用的經濟而設計零點/量程數碼調節

0.01%調整精度數字

LCD哈氏C-276隔離膜片側面排氣螺釘傳統托架配置不銹鋼螺釘不銹鋼容室法蘭不銹鋼位號牌多國防爆認證EJA—外特性低銅鑄鋁SCS14ASUS316L(本體)接液膜片哈氏合金C-276高/低壓側可互換表頭/上部差壓下的諧振頻率變化1101009080705,00010,000

差壓

(mmH2O)頻率

(kHz)傳感器HARP現場總線傳感器工作站

分散式控制系統對

現場控制系統工作站控制器現場總線接口將來的現場控制系統

(FCS)4-20mA今日傳感器方案其它現場設備現場總線消除了所需的I/O數字傳感器方案DPharp

消除了所需的

A/DA/D現場總線D/A微處理器A/DA/D傳感器微處理器A/DA/D傳感器現場總線接口微處理器A/D傳感器模擬傳感器方案硅諧振傳感器的復合傳感特性R..f1f2f1

-f2 =與差壓成正比f1

+f2

=與靜壓成正比

R

=與溫度成正比傳感器傳感技術比較一覽表原理結構優點電容式壓阻式單晶硅諧振式結構簡單歷史悠久滯后小復合傳感滯后小溫度影響小靜壓影響小復合傳感

差壓靜壓溫度缺點滯后大重復性差溫度誤差大(未補償前)電極中心膜片傳感器硅諧振傳感器與電容式傳感器的比較諧振器基片壓力真空罩y磁場固定電極可動電極固定電極DD初始間距d位移C1C2電容

C1=電容

C2=SD+dSD-dC1-C2C1+C2計算公式c=dD=電極位移初始間距()感應膜片位移最大值

mm(100μm)

微小位移就能導致誤差

1μm形變=1%誤差感器組件硅油中心膜片接液膜片低壓側高壓側接液膜片沖灌液感應膜片膜盒體f

L傳感器硅諧振傳感器與壓阻式傳感器的比較差壓引起的信號變化壓阻式傳感器溫度變化所引起的信號變化0.25%/50oC靜壓所引起的信號變化0.1%/100kgfcm24%15%硅諧振傳感器0.01%4倍靈敏度高高精度量程寬環境變化影響小長期穩定性0.03%傳感器單晶硅諧振傳感器特性靈敏度高量程比高滯后小高精度抗環境變化能力強溫度影響小長期穩定性靜壓影響小復合傳感器高精度

差壓靈活多用

靜壓性價比高

溫度

現場運行總誤差現場運行總精度穩定性輸入/輸出特性(標準狀態下

)溫度影響(現場工作狀態下)靜壓影響(現場工作狀態下)過壓影響(現場工作狀態下)

輸入/輸出特性型號

:EJA110-M量程

:10000mmH20型號:EJA110-H量程

:5kgf/cm223(oC)No.223(oC)No.10.10.050-0.05-0.1誤差

(%)23(oC)輸入(%)

-100

0

50

100-50No.20.10.050-0.05-0.1誤差

(%)輸入

(%)No.10.10.050-0.05-0.1誤差

(%)-100050100-50輸入

(%)-100050100-5023(oC)0.10.050-0.05-0.1誤差(%)輸入

(%)-100050100-50EJA變送器溫度影響型號

:EJA110-M量程

:10000mmH20型號

:EJA110-H量程

:5kgf/cm2No.2SPANZEROSPANZERONo.1No.2SPANZERO-0.20.2

0.1

0-0.1誤差

(%)No.1溫度

0C-50050100SPANZERO0.2

0.1

0-0.1誤差

(%)-0.20.2

0.1

0-0.1誤差

(%)-0.2溫度0C-50050100溫度

0C-50050100溫度

0C-500501000.2

0.1

0-0.1誤差

(%)-0.2EJA變送器性能對比溫度變化［零點漂移］溫度影響諧振頻率

輸入壓力室溫

fc室溫fr高溫fr1

高溫fc1

Iout(0):室溫時輸出

Iout(p):高溫時輸出

Iout(0)=fr-fc

Iout(p)=(fr-fr)-(fc-fc)=(fr-fc)-(fr-fc)=Iout(0)-(fr-fc)∵fr=fc

∴Iout(p)=Iout(0)故：溫度對輸出沒有影響EJA變送器靜壓影響S.Pkg/cm2050100150-0.1

0.10.050-0.05零點誤差

%No.1No.2No.2No.1型號:EJA110A-XM量程

:10000mmH20型號:EJA110A-XH量程

:5kgf/cm2-0.1

0.10.050-0.05零點誤差

%-0.1

0.10.050-0.05零點誤差

%S.Pkg/cm20501001５0S.Pkg/cm2050100150-0.1

0.10.050-0.05零點誤差

%S.Pkg/cm2050100150EJA變送器性能對比EJAvs.其它智能式變送器0.80.60.40.20-0.2-0.4-0.6-0.8誤差(%)03570105140靜壓(Kgf/cm2)1.21.00.80.60.40.20-0.2誤差(%)03570105140靜壓(Kgf/cm2)

EJA110A-XM

量程：0～1000mmH2O其它智能式變送器

量程：0～1000mmH2O靜壓變化［零點漂移］性能對比EJAvs.其它智能式變送器

靜壓變化［零點漂移］誤差(%)靜壓(Kgf/cm2)3051c智能式變送器1/100量程比(100mmH2O)0204060801001201401050-5

-10誤差(%)0204060801001201401050-5

-10靜壓(Kgf/cm2)EJA110A-XM1/100量程比(100mmH2O)靜壓影響諧振頻率輸入壓力大氣壓fc大氣壓fr高靜壓fr1

高靜壓fc1

Iout(0):大氣壓時輸出

Iout(p):高靜壓時輸出

Iout(0)=fr-fc

Iout(p)=(fr-fr)-(fc-fc)=(fr-fc)-(fr-fc)=Iout(0)-(fr-fc)∵fr=fc

∴Iout(p)=Iout(0)

故：靜壓對輸出沒有響EJA變送器過壓影響型號:EJA110A-XM量程:1000mmH20(1/10ofMaxSpan)壓力:1６0kgf/cm2型號:EJA110A-XM量程

:1000mmH20(1/10ofMaxSpan)壓力

:1６0kgf/cm2過壓長期穩定性Error(%)+0.1-0.1過壓零點漂移LLLLHHHHError(%)+0.1-0.120406080100120x1000TimesEJA變送器

出色的過壓性能

EJA系列vs.電容式電容式EJA系列零點漂移上下行程比例輸出性能對比EJAvs.其它智能式變送器2.01.51.00.50-0.5-1.0-1.5-2.0誤差(%)03570105140過壓(Kgf/cm2)2.01.51.00.50-0.5-1.0-1.5-2.0誤差(%)03570105140過壓(Kgf/cm2)EJA110A-XM量程：0～1000mmH2O其它智能式變送器

量程：0～1000mmH2O過壓滯后性性能對比EJAvs.其它智能式變送器2.01.51.00.50-0.5-1.0-1.5-2.0誤差(%)03570105140過壓(Kgf/cm2)0.50-0.5-1.0-1.5-2.0-2.5-3.0-3.5誤差(%)03570105140過壓(Kgf/cm2)EJA110A-XM

量程：0～1000mmH2O

3051c智能式變送器

量程：0～1000mmH2O過壓滯后性無3閥組安裝方式常規安裝方式

EJA

其他無3閥組安裝方式

用戶為何需要3閥組？1.單向過壓損壞變送器2.單向過壓的零點飄移3.靜壓下的零點漂移4.長期零點漂移EJA變送器無3閥組安裝方式［安全性］3閥組其他常規安裝

EJA無3閥組安裝密封點（7處）NoPossibilityofLeakagefrom3ValveManifold無3閥組無操作危險區維護/維修減少EJA變送器無三閥組安裝方式［低成本］常規安裝EJA無3閥組安裝安裝成本降低1)無需購買3閥組2)引壓管直接安裝維護/維修成本低1)無需維護3閥組2)泄漏檢查點減小3閥組其他EJA變送器

無3閥組安裝方式無需3閥組安裝1.靜壓下的零點調整靜壓影響→小投運前的零點調整2.運行中的零點檢測長期零點漂移→小 停機時檢測零點3.過壓后的零點調整過壓滯后→小過壓后無須零點調整

用戶為何需要3閥組非特殊運用，無需3閥組210-1-2210-1-2誤差(%)誤差(%)1/1001/501/201/101/51/1

量程變化比1/1001/501/201/101/51/1

量程變化比

No.1零點No.2零點No.1量程No.2量程EJA3051c智能式變送器性能對比遠程設定［零點/量程漂移］EJA硅諧振傳感器的長期穩定性第1年第2年第3年第4年第5年第6年+0.1誤差

(%)-0.10

狀態:未補償溫度：室溫量程：最大量程Si傳感器

長期穩定性測試型號：EJA110－□M

量程：0～5000mmH2O介質：水(60oC、0.5kgf/cm2)

現場：日本東京電力

周期：94.12.16～2004.2.14123456789101112Month0.20.10