ICS7104040

G04..

中華人民共和國國家標準

GB/T34002—2017/ISO293012010

:

微束分析透射電子顯微術用周期結

構標準物質校準圖像放大倍率的方法

Microbeamanalysis—Analyticaltransmissionelectronmicroscopy—

Methodsforcalibratingimagemagnificationbyusingreference

materialshavingperiodicstructures

(ISO29301:2010,IDT)

2017-07-12發布2018-06-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T34002—2017/ISO293012010

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語定義和縮寫

3、…………………………1

圖像放大倍率

4……………5

圖像放大倍率的定義

4.1………………5

放大倍率的表示

4.2……………………5

標準物質

5…………………6

總則

5.1…………………6

對的要求

5.2CRM/RM………………6

儲存與裝卸

5.3…………………………6

校準步驟

6…………………6

總則

6.1…………………6

安裝

6.2CRM/RM……………………6

設置校準的操作條件

6.3TEM………………………7

數字化圖像的獲得

6.4…………………8

照相底片圖像的數字化

6.5……………8

數字圖像上角度修正距離D的測量

6.6t………………9

校準像素尺寸的參考標尺的數字化

6.7………………12

圖像放大倍率的校準

6.8………………13

標尺的校準

6.9…………………………14

僅用光學底片測量長度的校準法

6.10………………14

圖像放大倍率的精度

7……………………15

測量結果的不確定度

8……………………15

校準報告

9…………………16

概述

9.1…………………16

校準報告的內容

9.2……………………16

附錄資料性附錄影響放大倍率的因素

A()TEM……………………18

附錄規范性附錄圖像放大倍率校準步驟流程圖

B()…………………19

附錄規范性附錄平均化線條數目的確定

C()…………20

確定線條數目以得到平滑輪廓線的方法

C.1…………20

實驗結果舉例

C.2………………………20

附錄資料性附錄校準放大倍率用的標準物質

D()……………………22

校準放大倍率標尺的標準物質

D.1(RM)……………22

Ⅰ

GB/T34002—2017/ISO293012010

:

校準像素尺寸的標準物質

D.2(RM)…………………22

一些純元素的晶面間距

D.3……………23

具有周期性結構的圖像示例

D.4………………………23

附錄資料性附錄放大倍率校準測試報告樣本

E()TEM……………24

參考文獻

……………………32

Ⅱ

GB/T34002—2017/ISO293012010

:

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準使用翻譯法等同采用微束分析透射電子顯微術用周期結構標準物質

ISO29301:2010《

校準圖像放大倍率的方法

》。

與本標準中規范性引用的國際文件有一致性對應關系的我國文件如下

:

檢測和校準實驗室能力的通用要求

———GB/T27025—2008(ISO/IEC17025:2005,IDT)

本標準對原文中的下列錯誤進行了修正

:

圖中數碼相機放大倍率MM修改為MM

———111s<gs<f;

中修改為

———6.6.2b)“SRM/RM”“CRM/RM”;

第行將修改為將N和L分別修改為N和L

———6.9.351nm1μm,u(nm)u(nm)u(μm)u(μm);

將第章引用的補充到規范性引用文件中

———7ISO5725-1:1994;

表中的銀修改為硅是硅的化學符號點陣常數為銀的化

———D.1(Si)(Si),Si(Silicon),0.543nm,

學符號是點陣常數為

Ag,0.409nm。

本標準由全國微束分析標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標準起草單位北京科技大學

:。

本標準主要起草人柳得櫓郜欣權茂華

:、、。

Ⅲ

GB/T34002—2017/ISO293012010

:

引言

透射電子顯微鏡廣泛地應用于一系列重要材料微納米結構的研究例如半導體金屬納米粒子

/,、、、

聚合物陶瓷玻璃食品以及生物材料本標準適用于圖像放大倍率的校準規范了應用具有周期結構

、、、。,

的有證參考物質或參考物質校準透射電鏡圖像放大倍率的要求

。

Ⅳ

GB/T34002—2017/ISO293012010

:

微束分析透射電子顯微術用周期結

構標準物質校準圖像放大倍率的方法

1范圍

本標準規定了透射電鏡在很大放大倍率范圍內所記錄的圖像的校準方法用于校準的標

(TEM)。

準物質具有周期性結構例如衍射光柵復型半導體的超點陣結構或射線分析的分光晶體以及碳金

,、X、

或硅的晶體晶格像

。

本標準適用于記錄在照相膠片上或成像板上或數字相機內置傳感器采集的圖像的放大倍

TEM

率本標準也可用于校準標尺但不適用于專用的臨界尺寸測長透射電鏡和掃描透射電鏡

。,(CD-TEM)

(STEM)。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

檢測和校準實驗室能力的通用要求

GB/T27025—2008(ISO/IEC17025:2005,IDT)

指南與參考物質相關的術語和定義

ISOGuide30:1992ISO30:1992(Termsanddefinitions

usedinconnectionwithreferencematerials)

指南參考物質制造者技能的一般要求

ISOGuide34:2000ISO34:2000(Generalrequirements

forthecompetenceofreferencematerialproducer)

指南參考物質認證的一般原則和統計原理

ISOGuide35:2006ISO35:2006