ICS31-030

L90

中華人民共和國國家標準

GB/T25494—2010

代替

GB/T9506.3—1998,GB/T6626.2—1986,GB/T6625—1986

吸氣劑成分分析測試方法

Testmethodsforcompositionanalysisofgetters

2010-12-01發布2011-05-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T25494—2010

前言

本標準是將以下標準整合后進行修訂的

:

蒸散型鋇吸氣劑載料和膜中鋇量的測定

———GB/T9506.3—1988《》;

釋汞吸氣劑性能測試方法釋汞吸氣劑含汞量的測試方法

———GB/T6626.2—1986《》;

摻氮吸氣劑含氮量測試方法

———GB/T6625—1986《》。

本標準與原標準相比主要變化如下

:

在規范性引用文件中新增吸氣劑術語

———GB/T4314《》;

將原標準中非國際單位制的體積百分比濃度體積比濃度當量濃度等修訂為國際單位制

———、、;

取消了原蒸散型鋇吸氣劑載料和膜中鋇量的測定中對測試儀器的產

———GB/T9506.3—1988《》

地型號的限制并將相應的操作步驟進行了修訂

、,;

修訂了原蒸散型鋇吸氣劑載料和膜中鋇量的測定中一些標準溶液配

———GB/T9506.3—1988《》

制的計算錯誤

;

增加蒸散型吸氣劑鎳含量測試原理測試方法

———、;

將各測試方法的內容結構調整為一致

———;

根據的要求進行格式修訂

———GB/T1.1—2000。

本標準代替下列標準

:

蒸散型鋇吸氣劑載料和膜中鋇量的測定

———GB/T9506.3—1988《》;

釋汞吸氣劑性能測試方法釋汞吸氣劑含汞量的測試方法

———GB/T6626.2—1986《》;

摻氮吸氣劑含氮量測試方法

———GB/T6625—1986《》。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

。

本標準起草單位南京華東賽斯真空材料有限公司工業和信息化部電子工業標準化研究所中國

:、、

電子科技集團公司第十二研究所

。

本標準主要起草人薛函迎郭衛斌張巨先劉筠

:、、、。

本標準所代替標準的歷次版本發布情況為

:

———GB/T9506.3—1988;

———GB/T6626.2—1986;

———GB/T6625—1986。

Ⅰ

GB/T25494—2010

吸氣劑成分分析測試方法

1范圍

本標準規定了蒸散型鋇吸氣劑載料和蒸散鋇膜中鋇量的測定方法釋汞吸氣劑含汞量的測試方法

、、

摻氮吸氣劑載料中含氮量的測試方法蒸散型吸氣劑鎳含量檢測方法

、。

本標準適用于真空器件用吸氣劑

。

2規范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款凡是注日期的引用文件其隨后所有

。,

的修改單不包括勘誤的內容或修訂版均不適用于本標準然而鼓勵根據本標準達成協議的各方研究

(),,

是否可使用這些文件的最新版本凡是不注日期的引用文件其最新版本適用于本標準

。,。

吸氣劑術語

GB/T4314

3術語

所確定的術語和定義適用于本標準

GB/T4314。

4蒸散型鋇吸氣劑載料和膜中鋇量的測定

41重量法

.

411適用范圍

..

重量法適用于吸氣劑載料中鋇的測定當蒸著鋇膜中的鋇量大于時也適用于蒸著鋇膜中

,20mg,

鋇的測定

。

412原理

..

將吸氣劑載料中的鋇或蒸著鋇膜中的鋇以硫酸鋇的形式沉淀沉淀物經過過濾灰化和灼燒后稱

,、

重換算成鋇量

,。

413試劑與材料

..

鹽酸溶液將分析純濃鹽酸和等體積的去離子水混勻

a)(21%):;

鹽酸溶液份分析純濃鹽酸和份去離子水混勻

b)(0.5%):187.5;

硫酸溶液份分析純濃硫酸與份去離子水混勻

c)(36%):13。

414設備與器皿

..

分析天平精度達到

a),0.1mg;

箱式電爐最高溫度

b),1000℃;

陶瓷坩堝

c);

三角燒杯

d);

容量瓶

e);

無灰過濾濾紙

f)。

415分析步驟

..

4151取一個或多個吸氣劑載料左右置于燒杯中對于蒸著鋇膜可將蒸在玻殼上

...0.5g,500mL(