江蘇武進漢能光伏有限公司簡介

非晶硅鍺薄膜太陽能電池

生產工藝流程簡介工藝部：楊成志一、太陽能電池的應用二、太陽能電池的分類三、太陽能電池市場及發展趨勢四、太陽能電池的結構五、我公司工藝路線及優勢目錄一.太陽能電池的應用

太陽能電池可以直接把太陽能轉化為電能，是一種具有永久性、清潔性、靈活性的新能源。隨著全球化石能源的日漸枯竭和人類環保意識的增強，以光伏為核心的太陽能發電事業近年來有了飛速的發展，其應用領域得到迅速擴大。產品應用

晶體硅電池薄膜電池聚光電池新技術單晶硅電池多晶硅電池硅帶非晶/微晶硅電池多晶硅薄膜碲化鎘銅銦鎵硒硒化鎵磷化銦其他染料敏化電池有機結構電池其他其他太陽能電池二.太陽能電池的分類市場上主要的太陽能電池對比非晶太陽能電池優勢1、弱光效應好、溫度系數小效率光強模組溫度模組效率變化資料來源：EPIA2、較多的發電量不同類型電池相同裝機額年發電量對比每年總發電量資料來源：EPIA單晶硅

多晶硅

非晶硅薄膜

3、較短的能源回收期產能（MW/年）

能量回收時間（年）多晶硅薄膜非晶硅資料來源：EPIA

資料來源：國海證券研究所三.太陽能電池市場及發展趨勢數據來源：iSuppli全球光伏安裝市場預測CIGSCdTe非晶硅薄膜晶體硅電池數據來源：SolarEnergyMaterials&SolarCells95(2011)1509–1517數據來源：GMTresearch2012年薄膜電池產能結構預測各種薄膜電池成本下降趨勢明顯數據來源：DBAnalysis薄膜產業未來發展趨勢規模化生產非晶硅薄膜電池優勢累積產能模組成本在高產能前提下，非晶硅薄膜電池具有更加明顯的成本優勢，與我司的大規模生產非晶硅薄膜電池非常契合。source：FrancescoBiccari–MasterIngegneriadelFotovoltaico2011/2012玻璃接線盒a-SiAZO+AlEVA背板玻璃FTO玻璃接線盒a-SiAZO+AlEVA背板玻璃FTO前電極+背電極-

a-Si:Ha-Si:Ha-Si:Ha-Si:Ha-Si:Ha-Si:Ha-Si:Ha-Si:Ha-SiGe:Ha-Si:Ha-Si:Hμ-Si:Ha-Si:Ha-SiGe:Ha-SiGe:Ha-Si:Ha-SiGe:Hμ-Si:H太陽能電池的結構電池結構01.清洗一玻璃02.激光刻劃P103.清洗二04.PECVD沉積05.激光刻劃P206.PVD鍍背電極07.激光刻劃P308.反壓09.激光掃邊10.清洗11.滾焊12.鋪設EVA13.鋪設背板玻璃層壓14.裝接線盒FTOa-SiAZO+Al鋁帶EVA背板玻璃接線盒15.測試江蘇武進漢能工藝流程磨邊一次清洗一次激光二次清洗預熱PECVD冷卻二次激光PVD三次激光激光掃邊刻透光率刻絕緣線退火敷設匯流引流合片輥壓高壓釜修邊測試包裝芯片組件五.我公司工藝流程及優勢反壓芯片清洗退火層壓PECVD主要工藝設備PVD清洗激光預熱測試我公司薄膜電池產線布局-磨邊1）用于磨削來料玻璃的平邊和棱角，防止其因邊緣應力較大而破裂2）避免透明導電玻璃因邊緣鋒銳造成接觸設備的磨損3）方便后續操作人員及作業人員的安全TCO玻璃厚度為3.2mm清洗目的：清潔表面，滿足后端工藝要求清洗不干凈可能造成的后果：影響外觀激光刻線刻不斷3.影響膜層質量4.層壓受力不均導致玻璃破裂5.影響設備正常使用壽命清洗一次激光:刻劃導電玻璃TCO薄膜，分成39個同規格的小電池。二次激光:刻劃PECVD過程產生的硅膜；三次激光:刻劃PVD過程產生的金屬層；激光掃邊：在絕緣處理的過程中使用高能量的激光進行清邊處理。激光作用等效電路薄膜電池生產過程中需要經過三次激光刻劃。激光預熱爐PECVD工件架PECVD:是通過外加射頻能量電離氣體產生等離體，從而在較低溫度下沉積薄膜的工藝方式。→player:SiH4+TMB+CH4+H2→ilayer:a-Si:H→SiH4+H2、a-SiGe:H→SiH4+GeH4+H2→nlayer：SiH4+PH3+H2PECVD沉積PVD在真空條件下利用輝光放電過程中形成的荷能粒子轟擊靶材表面，使被轟擊出的粒子在基片上形成薄膜。1）沉積電池芯片的背電極，有效收集光電載流子。2）減少出射光，有效提高光在非晶硅薄膜中的吸收利用率。3）填充激光凹槽，作為連接電池正負電極的內連導線。PVD對電池單元施加反向電壓，利用焦耳熱現象，消除激光在劃刻道內殘留的金屬膜屑造成的短路，以及激光未切斷的金屬膜造成的子電池短路﹢-玻璃基板TCO膜層PECVD背電極芯片測試測試是通過太陽模擬器（模擬太陽光譜）進行光伏組件室內測試的過程。主要測試電池的電性參數。反壓測試反壓修補通過物理擠壓并加熱的方式對組件中的PVB（聚乙烯醇縮丁醛）實現初步交聯。輥壓步驟：上料——預熱（100℃）——輥壓——加熱（180℃）——加熱（180℃）——加熱（180℃）——輥壓——輥壓——出料輥壓機組件在進入高壓釜后可分為三個階段：升溫升壓，恒溫恒壓，降溫降壓。在高壓釜整個過程中最高溫度215℃，最大壓強1.25mPa。在這個過程中使PVB薄膜充分交聯達到最高粘性和透明度。高壓釜通過對PVB材料進行加熱加壓使其實現最優程度的固化，并防止移位和氣泡的將芯片與背板玻璃粘合在一起，以提高電池組件性能及外觀要求。層壓層壓機過程分為三個階段：上下同抽，下抽上放，下放上抽。標準組件產品電池規格為1245mm，寬

635mm，厚

7.5mm，重14.4kg組件成品包裝高壓釜修邊Low—E除膜清洗鋁框折彎機分子篩灌裝涂丁基膠合片中空線工藝測試包裝我公司工藝的優勢1.設備投資成本低

是國外同類型薄膜設備投資額的一半不到；2.

動力消耗少廠房設備布局緊湊，與國外相同類型薄膜工廠產能相比，主廠房占地面積僅為1/2左右，減少管道輸送能量損失，節約能耗；單位產品（MWp）的電耗量不到傳統太陽能電池制造業的五分之一3.產能高單室一次沉積72片電池，自動化高，適合規模化集約化生產，與其他技術生產相比生產效率提高50%以上；4.