犐犆犛１７．１８０

犌０４

中華人民共和國國家標準

犌犅／犜２２４６２—２００８

鋼表面納米、亞微米尺度薄膜

元素深度分布的定量測定

輝光放電原子發射光譜法

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２００８１０３０發布２００９０６０１實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局

發布

中國國家標準化管理委員會

書

犌犅／犜２２４６２—２００８

目次

前言!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!Ⅲ

１范圍!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

２規范性引用文件!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

３術語和定義!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

４原理!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

５儀器!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!２

５．１概述!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!２

５．２儀器性能要求!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!２

６樣品制備!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!３

７分析步驟!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!３

７．１譜線的選擇!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!３

７．２優化輝光放電原子發射光譜儀的放電參數!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!３

７．３工作曲線!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!５

７．４工作曲線的確認!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!７

７．５漂移校正!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!８

７．６樣品分析!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!８

８分析結果的表示!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!８

８．１定量深度剖析的表示!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!８

８．２膜厚和鍍層質量（單位面積）的測定!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!９

９精密度!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!９

１０試驗報告!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!９

附錄Ａ（資料性附錄）推薦的元素特征譜線波長!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１０

附錄Ｂ（資料性附錄）常見的氧化物密度!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１１

附錄Ｃ（規范性附錄）共同實驗附加資料!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１２

Ⅰ

書

犌犅／犜２２４６２—２００８

前言

本標準的附錄Ａ、附錄Ｂ均為資料性附錄，附錄Ｃ為規范性附錄。

本標準由全國微束分析標準化技術委員會提出。

本標準由全國微束分析標準化技術委員會（ＳＡＣ／ＴＣ３８）歸口。

本標準負責起草單位：寶山鋼鐵股份有限公司、中國科學院物理研究所、中國科學院化學研究所、冶

金工業信息標準研究院。

本標準主要起草人：張毅、陳英穎、沈電洪、劉芬、何曉蕾、鄔君飛、欒燕。

Ⅲ

犌犅／犜２２４６２—２００８

鋼表面納米、亞微米尺度薄膜

元素深度分布的定量測定

輝光放電原子發射光譜法

１范圍

本標準采用輝光放電原子發射光譜法用于定量測定鋼表面納米、亞微米尺度薄膜（金屬鍍膜和氧化

膜）中膜厚、鍍層質量（單位面積）和薄膜中的元素深度分布。

本方法適用于測定３ｎｍ～１０００ｎｍ厚度的鋼表面薄膜，適用的元素包括：鐵、鉻、鎳、銅、鈦、錳、鋁、

碳、磷、氧、氮和硅。

２規范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內容）或修訂版本均不適用于本標準，然而，鼓勵根據本標準達成協議的各方研

究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。

ＧＢ／Ｔ６３７９．１測量方法與結果的準確度（正確度與精密度）第１部分：總則與定義

ＧＢ／Ｔ６３７９．２測量方法與結果的準確度（正確度與精密度）第２部分：確定標準測量方法重復

性和再現性的基本方法

ＧＢ／Ｔ１９５０２表面化學分析輝光放電發射光譜方法通則

ＧＢ／Ｔ２００６６鋼和鐵化學成分測定用試樣的取樣和制樣方法

ＧＢ／Ｔ２２４６１—２００８表面化學分析詞匯（ＩＳＯ１８１１５：２００１，ＩＤＴ）

ＩＳＯ５７２５３測量方法與結果的準確度（正確度與精確度）———第３部分：標準測量方法精密度的

中間度量（Ａｃｃｕｒａｃｙ（ｔｒｕｅｎｅｓｓａｎ