標準解讀
GB/T 14602-1993 是一項中華人民共和國國家標準,全稱為《電子工業用氣體 氯化氫》。該標準規定了電子工業中使用的氯化氫氣體的技術要求、試驗方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸和儲存要求,旨在確保氯化氫氣體的質量滿足電子工業生產中的特定需求。
標準內容概覽:
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范圍:明確了本標準適用于電子工業生產中作為原料或工藝氣體使用的氯化氫氣體。
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規范性引用文件:列出了實施本標準時所直接引用或參考的其他標準文件,這些文件對于理解和執行本標準的具體要求至關重要。
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術語和定義:對標準中涉及的專業術語進行了解釋,幫助讀者準確理解各項要求。
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技術要求:
- 純度:規定了氯化氫氣體的最低純度要求,以確保其在電子元件制造過程中的高純度應用。
- 雜質含量:詳細列出了可能存在的雜質元素及其最大允許含量,如水、氧、氮、砷、磷等,以防止這些雜質影響半導體材料的性能和成品率。
- 物理狀態:包括氣體的壓力、溫度條件下的物理狀態要求,確保氣體的穩定性和安全性。
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試驗方法:詳細描述了如何通過化學分析、氣相色譜等方法檢測氯化氫氣體的純度及雜質含量,確保測試結果的準確性和可重復性。
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檢驗規則:規定了產品出廠前的檢驗項目、抽樣方法、判定規則等,確保每批次產品的質量符合標準要求。
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包裝、標志、運輸和儲存:
- 包裝:要求使用耐腐蝕材料的容器進行密封包裝,以防止氣體泄漏和外界污染。
- 標志:需明確標注產品名稱、規格、批號、生產日期、有效期、生產廠家等信息,便于追溯和安全使用。
- 運輸:提供了運輸過程中應遵循的安全措施,以防泄漏和事故。
- 儲存:指明了儲存條件,如溫度、壓力限制及避光、干燥等環境要求,以保持氣體品質。
實施意義:
該標準的制定與執行,對提升我國電子工業用氯化氫氣體的質量控制水平、保障電子元器件的高性能生產、促進電子行業技術進步具有重要意義。它為生產商、用戶及檢測機構提供了一套統一的標準依據,有利于維護市場秩序和產品質量安全。
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文檔簡介
UDC661G86中華人民共和國國家標準GB/T14602-—93電子工業用氣體氯化氫Gasesforelectronicindustry-Hydrogenchloride1993-08-26發布1994-07-01實施國家技術監督局發布
中華人民共和國國家標準GB/r14602-93電子工業用氣體氯化氫Gasesforelectronicindustry-Hydrogenchloride主題內客與適用范圍本標準規定了氯化氫的技術要求、檢驗方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸、財存和安全要求。本標準適用于以氫、氯為原料合成的氯化氫和以工業氯化氫為原料經凈化制得的瓶裝液態氯化氫。氯化氫主要用于電子工業,在集成電路生產中用于蝕刻、鈍化、外延等工藝。也可用于金屬治煉、光導通訊和科學研究等領域。分子式:HCI相對分子質量:36.461(按1989年國際相對原子質量)2引用標準GB190危險貨物包裝標志GB4845氮氣檢驗方法GB7144氣瓶顏色標記GB7445氫氣氣體中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的測定GB8984氣相色譜法3技術要求氯化氫的質量應符合下表的技術要求。氯化氫純度,10-99.9944二氧化碳含量,10-復含量,10-氧+氬含量,10-經類含量,10-水合量,10-·S復含量,10-10:本指標系瓶裝產品的氣體質量指標,保證期6個月。表中純度和含量系體積分數.4檢驗方法4.1氯化氫純度
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